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電子顕微鏡内マイクロプロセス・マイクロファブリケーションシステム構築と実験

研究課題

研究課題/領域番号 10305012
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 機械工作・生産工学
研究機関茨城大学

研究代表者

江田 弘  茨城大学, 工学部, 教授 (60007995)

研究分担者 馬 書根  茨城大学, 工学部, 助教授 (20250988)
中野 博民  茨城大学, 工学部, 講師 (90257329)
山本 佳男  東海大学, 工学部, 助教授 (20272114)
稲垣 正寿  日立製作所, 日立研究所, 主任研究員
清水 淳  茨城大学, 工学部, 助教授 (40292479)
稲村 正寿  日立製作所, 日立研究所, 主任研究員
研究期間 (年度) 1998 – 2001
研究課題ステータス 完了 (2001年度)
配分額 *注記
39,020千円 (直接経費: 38,900千円、間接経費: 120千円)
2001年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円)
2000年度: 1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
1999年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
1998年度: 35,000千円 (直接経費: 35,000千円)
キーワード電子顕微鏡 / マイクロマシニング / マイクロマニファクチャリング / マイクロファブリケーション / マニピュレータ / マン-マシン-インターフェイス / 画像処理 / アクチュエータ / マンーマシンインターフェイス / マン-マシンインターフェイス
研究概要

工学,医学,生物等各分野からの微細加工への要望に伴い,SEM内において10^<-8>〜10^<-4>mの物体を対象に観察と作業を一元的に行なうことができる微細作業用マイクロ・マニピュレーションシステムの研究・開発を行なった.これは,技能未熟者にとっても操作性が高く,作業目的によって容易にカスタマイズでき,軟らかさの異なる生物から硬い無機物までを熟練を要せず扱えるという特性を備えている.平成10〜14年度に得られた成果を以下にまとめる.
1.作業の要望を精査し,顕微鏡下における微細作業用マイクロ・マニピュレーションシステムのコンセプトと構成を明らかにした上で,(1)マンマシンインターフェース部,(2)制御処理部,(3)動作機構部から成るシステムを開発した.
2.顕微鏡下における対象物の三次元情報を視覚および力覚から得,それを適宜処理し作業者に返すことで微細作業を容易にする機能として,(1)ビジュアルフィードバックシステムと(2)フォースフイードバツクシステムを組込みんだ.評価実験によりその有効性を確認した.
3.ビジュアルフィードバックシステムの機能を自動微細作業システムに発展させた.評価実験により自動微細作業が問題なく効率よく行なえることを実証した.
4.力覚情報から対象物の"かたさ""やわらかさ""親和性"を判断するにあたってのそれぞれによる信号の違いを明らかにした.実微細作業実験から,実験工具先端形状および工具への振動付加の有無が加工形態に及ぼす影響を明らかにした.
5.応用として,未経験者でも容易に,肉体的・精神的疲労を伴わず,除核や注入などの細胞操作を行なえる自動マイクロ・マニピュレーションシステムのコンセプトと内容を明らかにした.
6.研究成果の部を諸学会誌,国際会議,口頭発表論文として公表し,最後に研究成果報告書としてまとめた.

報告書

(5件)
  • 2001 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2000 実績報告書
  • 1999 実績報告書
  • 1998 実績報告書
  • 研究成果

    (116件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (116件)

  • [文献書誌] 江田 弘, L.Chouanine, 清水 淳: "ガラス引っかき過程の延性発現の検証-鋭利なダイヤモンド圧子を用いた場合-"精密工学会誌. 64・4. 613-617 (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] L.Chouaninc, H.Eda, J.Shimizu: "Development of Key-Technology on the State-of-the Art Machine Tool and Generalization of Grinding Forces under Ductile Mode Grinding Experiments"Int.J.JSPE(Japan Society for Precision Engineering). 32・2. 98-103 (1998)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.Shimizu, H.Eda, M.Yoritsune, E.Ohmura: "Molecular Dynamics Simulation of Friction on the Atomic Scale"Nanotechnology. 9・2. 118-123 (1998)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江田 弘, 山本佳男: "超磁歪アクチュエータ・センサ"計測と制御. 38・3. 197-201 (1999)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江田 弘: "感性と科学・技術の水際線-砥粒加工とトライボロジ(第1部)"砥粒加工学会誌. 43・4. 151-155 (1999)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江田 弘: "セレンディピティと科学・技術の水際線-砥粒加工とトライボロジ(第2部)"砥粒加工学会誌. 43・6. 254-257 (1999)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江田 弘: "科学技術とフィランスロピー-砥粒加工とトライボロジ(第3部)"砥粒加工学会誌. 43・8. 360-363 (1999)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江田 弘: "生体・生命と宇宙フロンティからの帰納システム-砥粒加工とトライボロジ(第4部)"砥粒加工学会誌. 43・10. 425-428 (1999)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 清水 淳, 江田 弘, 大村悦二: "宇宙環境下における飛しょう体鏡面劣化現象のシミュレーション(第1報)-損傷過程の原子挙動と損傷に及ぼす表面性状の影響-"精密工学会誌. 66・4. 624-629 (2000)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Eda, L.Zhou, Y.Yamamoto, T.Ishikawa, T.Kawakami, J.Shimizu: "Development of Micro-manipulation for Operation in Scanning Electron Microscope"Int.J.Manufacturing Science &Technology. 2・2. 107-113 (2000)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Eda, T.Mori, Y.Okada, L.Zhou, J.Shimizu: "Powder Metallurgic Giant Magnetostriction Materials and Application in Space Structure"Int.J.Manufacturing Science &Technology. 2・2. 127-133 (2000)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Ii, H.Eda, T.Imai, M.Nishimura, T.Kawasaki, J.Shimizu, T.Yamamoto, L.Zhou: "Development of High Water-Content Cutting Fluid with a New Concept Fire Prevention and Environmental Protection"Precision Engineering. 24・3. 624-629 (2000)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江田 弘, 清水 淳: "分子動力学による固体の摩擦・摩耗現象の解析"トライボロジスト. 45・9. 661-666 (2000)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] L.Zhou, H.Huang, J.Shimizu, H.Eda: "Automated Robotic System of Jet Engine Overhaul-Process Development and Enhancement for Honeycomb Repair-"精密工学会誌. 66・12. 1895-1900 (2000)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江田 弘, 周 立波: "超磁歪材料の動向"機械の研究. 52・11. 1142-1128 (2000)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江田 弘, 周 立波, 守屋光永, 川上辰男, 石川友彦, 山本佳男: "電子顕微鏡内マイクロファブリケーションデバイスの技術開発"精密工学会誌. 67・8. 1284-1288 (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Eda, L.Zhou, H.Nakano, R.Kondo, J.Shimizu: "Development of Single Step Grinding System for Large Scale φ300 Si Wafer : A Total Integrated Fixed-Abrasive Solution"Annals of the CIRP. 50・1. 225-228 (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江田 弘, 周 立波, 中野博民, 近藤良, 清水 淳, 田島琢二: "大口径φ300mmSiウエハ用超加工機械の開発"精密工学会誌. 67・10. 1693-1697 (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 周 立波, 江田 弘, 清水 淳, 西村雅也, 佐川克雄: "電子・磁気・光学基板の脆性-延性モード統合仕上げ加工"砥粒加工学会誌. 45・6. 304-309 (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 佐川克雄, 江田 弘, 周 立波, 清水 淳: "φ300Siウエハ超加工機械創作用仕上げ面粗さシミュレーション"砥粒加工学会誌. 45・12. 574-579 (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 周 立波, 篠原 宏, 清水 淳, 江田 弘: "大口径シリコンウエハ研削加工における幾何と運動"砥粒加工学会誌. 68・1. 125-129 (2002)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Eda Y.Yamamoto, Y.Tomita, J.Shimizu: "Giant Magnetostriction Composite Materials and Its Applications to an Actuator"Proc.Int.Conf.ECCM-8, Italy. 365-372 (1998)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Eda Y.Yamamoto, J.Shimizu: "Applications of Giant Magnetostriction Composite Materials in Actuators and Sensors"Proc.Int.Conf.ICCE-5, USA. 1029-1030 (1998)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Eda, J.Shimizu, L.Zhou: "Development of State-of-Art Devices on the Sub-nanometer Grinding Machine Tool for Optical Glasses"Proc.Int.Conf.ICOSN'99, Yokohama. 344-347 (1999)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Eda, J.Shimizu, L.Zhou: "Study on Ultra-Precision Machining of Ceramics for Optical Components"Proc.Int.Conf.ICOSN'99, Yokohama. 420-423 (1999)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Eda, L.Chouanine, J.Shimizu, L.Zhou: "Development of System and Key-Components for Ductile Mode Grinding"Proc.Int.Conf.EUSPEN'99. 222-225 (1999)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Eda, J.Shimizu, L.Zhou, Y.Takimoto, A.Muroya: "Giant Magnetostrictive Positioner for Single Diamond Turning of Silicon Substrate"Proc.Int.Conf.ICPE-9,Osaka. 187-192 (1999)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Eda, T.Mori, L.Zhou, K.Kubota, J.SHimizu: "Powder Metallurgic Giant Magnetostrictive Material and its Applications in Micro-actuator and Micro-sensors"Proc.Int.Conf.Materials and Device Characterization in Micromachining II, SPIE, USA. 114-123 (1999)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Eda, L.Zhou, J.Shimizu: "Development of Powder Metallurgic Giant Magnetostrictive Materials and Their Applications"Proc.Int.Conf.AMSMA2000, China. 117-120 (2000)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Nakano, M.Kosuge, H.Eda, L.Zhou, J.Shimizu, Y.Tomita: "Novel positioning system usinga giant magnetostriction actuator for ultra precision and high power applications"Proc.Int.Conf.ICEM 2000, Finland. 462-466 (2000)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Eda, L.Zhou, J.Shimizu, T.Mori: "PM Technology in Giant Magnetostrictive Materials Manufacturing and Application Development"Proc.Int.Conf.PM2000, Kyoto. 1356-1359 (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Sagawa, H.Eda, L.Zhou, J.Shimizu: "Simulation on High Integrity Surface Generation of φ300 Si Wafer with Fixed-abrasive Solution"Proc.Int.Conf.ICPE-1O, Yokohama. 441-445 (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.Shimizu, H.Eda, L.Zhou: "Molecular Dynamics Simulation on Dependence of Atomic-Scale Stick-Slip Phenomenon upon Probe Tip Shape"Proc.Int.Conf.ICPE-1O, Yokohama. 759-763 (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda: "Simulation Analysis of Contact Process in AFM Surface Observation"Proc.2nd World Tribology Congress, WTC2001, Austria. M-12-22-1 57-SHIMIZU. pdf (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.Shimizu, L.Zhou, A.Muroya, H.Eda: "Simulation and Experimental Analysis of Abrasive Wear in Ultra High-Speed Grinding"Proc.2nd World Tribology Congress, WTC2001, Austria. M-14-04-1 56-SHIMIZU. pdf (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Eda, L.Zhou, J.Shimizu, M Ii: "Development of Newly Conceptualized High Water-Content Lubrication Coolant"Proc.2nd World Tribology Congress, WTC2001, Austria. M-66-03-064-EDA.pdf (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.Shimizu, H.Eda, L.Zhou: "Molecular Dynamics Simulation of Solid Surface Image by Atomic Force Microscope"Proc.Int.Workshop TIWSS'2001, Tokyo. 70-74 (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda: "Molecular Dynamics Simulation of Superspeed Grinding of Ductile Material"Proc.Int.Workshop TIWSS'2001, Tokyo. 75-79 (2001)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Kawai, L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda: "Research on CMG (Chemo-Mechanical Grinding)"Proc.Int.Conf.ISAAT2001, Korea (Advances in Abrasive Technology IV). 305-308 (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Fukuda, L.Zhou, J.Shimizu, H.Eda: "Improvement of Insert Tool Performance with Electrical/Magnetic Treatment"Proc.Int.Conf.ISAAT2001, Korea (Advances in Abrasive Technology IV). 437-440 (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.Shimizu, H.Eda, L.Zhou, T.Asano, Y.Nakazawa: "Microscopic Analysis of Friction Phenomena in Surface Observation by Atomic Force Microscope"Proc.Int.Conf.ITC2000, Nagasaki. 687-692 (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.Shimizu, H.Eda, L.Zhou, A.Muroya, Y.Nakazawa: "Microscopic Analysis of Material Deformation in Ultra High-Speed Grinding Process"Proc.Int.Conf.ITC2000, Nagasaki. 769-774 (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江田 弘他多数: "「改訂6版 金属便覧」(日本金属学会編)"丸善. 1182 (2000)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江田 弘, 周 立波: "ナノ・マイクロマシン技術総覧(分担)"(株)産業技術開発センター(掲載待ち). (2002)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Eda, L.Chouanine and J.Shimizu: "Verification of Ductile-Regime Generation on Scratching Process of Glasses - In Case of Using Sharply Pointed Tip Diamond Indenter -"J. JSPE. 64-4(in Japanese). 613-617 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] L. Chouanine, H. Eda and J. Shimizu: "Development of Key-Technology on the State-of-the-Art Machine Tool and Generalization of Grinding Forces under Ductile Mode Grinding Experiments"Int. J. JSPE. 32-2. 98-103 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J. Shimizu, H. Eda, M. Yoritsune and E. Ohmura: "Molecular Dynamics Simulation of Friction on the Atomic Scale"Nonotechnology. 9-2. 118-123 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Eda and Y. Yamamoto: "Giant Magnetostrictive Actuator and Sensor"Measurement and control. 38-3(in Japanese). 197-201 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Eda, H. Hamada, Y. Tomita and Y. Yamamoto: "Study on Super-Fine Diamond Cluster with Application to Ultra-Precision Surface Generation"J. of the Balkan Tribological Association. 5-2. 94-104 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J. Shimizu, H. Eda and E. Ohmura: "Computer Simulation of Degradation for Spacecraft Mirror Surface in Space Environment (1st Report) -Atomic Behavior in Degradation Process and Influence of Surface Profile on Degradation-"J. JSPE. 66-4(in Japanese). 624-629 (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Eda, L. Zhou, Y. Yamamoto, T. Ishikawa, T. Kawakami and J. Shimizu: "Development of Micro-manipulation for Operation in Scanning Electron Microscope"Int. J. Manufacturing Science & Technology. 2-2. 107-113 (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Eda, T. Mori, Y. Okada, L. Zhou and J. Shimizu: "Powder Metallurgic Giant Magnetostriction Materials and Application in Space Structure"Int. J. Manufacturing Science & Technology. 2-2. 127-133 (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Ii, H.Eda, T.Imai, M. Nishimura, T. Kawasaki, J. Shimizu, T. Yamamoto and L. Zhou: "Development of High Water-Content Cutting Fluid with a New Concept Fire Prevention and Environmental Protection"Precision Engineering. 24-3. 624-629 (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Eda and J. Shimizu: "Analysis of Friction and Wear Phenomenon of Solid"J. JAST. 45-9(in Japanese). 661-666 (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] L. Zhou, H. Huang, J. Shimizu and H. Eda: "Automated Robotic System for Jet Engine Overhaul Process Development and Enhancement for Honeycomb Repair"Int. J. JSPE. 66-12. 1895-1900 (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Eda and L. Zhou: "The Trend of the Giant Magnetostrictive Materials"Science of Machine. 52-11(in Japanese). 1124-1128 (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Eda, L. Zhou, M. Mitsunaga, T. Kawakami, T. Ishikawa and Y. Yamamoto: "Development of Micro Fabrication Device for Scanning Electron Microscope"J. JSPE. 67-8(in Japanese). 1284-1288 (2001)

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  • [文献書誌] H. Eda, L. Zhou, H. Nakano, R. Kondo and J. Shimizu: "Development of Single Step Grinding System for Large Scale φ300 Si Wafer: A Total Integrated Fixed-Abrasive Solution"Annals of the CIRP. 50-1. 225-228 (2001)

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  • [文献書誌] H. Eda, L. Zhou, H. Nakano, R. Kondo, J. Shimizu and T. Tajima: "Development of One-stop Manufacturing System for Large-Sized φ 300 mm Si Wafer"J. JSPE. 67-10(in Japanese). 1693-1697 (2001)

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  • [文献書誌] L. Zhou, H. Eda, J. Shimizu, M. Nishimura and K. Sagawa: "One-stop Mirror Finishing System for Electronic, Magnetic and Optical Substrates"J. JSGE. 45-6(in Japanese). 304-309 (2001)

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  • [文献書誌] K. Sagawa, H. Eda, L. Zhou and J. Shimizu: "Grinding Simulation to Develop Processing Machine for φ300 Si Wafer"J. JSGE. 45-12(in Japanese). 574-579 (2001)

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  • [文献書誌] L. Zhou, K. Shinohara, J. Shimizu and H. Eda: "Kinematics of Ultra Precision Grinding for Large Scale Si Wafer"J. JSPE. 68-1(in Japanese). 125-129 (2001)

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  • [文献書誌] H.Eda, Y. Yamamoto, Y. Tomita and J. Shimizu: "Giant Magnetostriction Composite Materials and Its Applications to an Actuator"Proc. Int. Conf. ECCM-8, Italy. 3. 365-372 (1998)

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  • [文献書誌] H. Eda, Y. Yamamoto and J. Shimizu: "Applications of Giant Magnetostriction Composite Materials in Actuators and Sensors"Proc. Int. Conf. ICCE-5, USA. 1029-1030 (1998)

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  • [文献書誌] H.Eda, L. Chouanine, J. Shimizu and L. Zhou: "Development of State-of-Art Devices on the Sub-nanometer Grinding Machine Tool for Optical Glasses"Proc. Int. Conf. ICOSN'99, Yokohama. 344-347 (1999)

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  • [文献書誌] H. Eda, J. Shimizu and L. Zhou: "Study on Ultra-Precision Machining of Ceramics for Optical Components"Proc. Int. Conf. ICOSN'99, Yokohama. 420-423 (1999)

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  • [文献書誌] H.Eda, L. Chouanine, J. Shimizu and L. Zhou: "Development of System and Key-Components for Ductile Mode Grinding"Proc. Int. Conf. EUSPEN'99, Germany. 222-225 (1999)

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  • [文献書誌] H. Eda, J. Shimizu and L. Zhou: "Computer Assisted Modeling and Simulation for Grinding Process"Proc. Int. Conf. EUSPEN'99, Germany. 226-229 (1999)

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  • [文献書誌] H. Eda, J. Shimizu, L. Zhou, Y. Takimoto and A. Muroya: "Giant Magnetostrictive Positioner for Single Diamond Turning of Silicon Substrate"Proc. Int. Conf. ICPE-9, Osaka. 187-192 (1999)

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  • [文献書誌] H. Eda, T. Mori, L. Zhou, K. Kubota, and J. Shimizu: "Powder Metallurgic Giant Magnetostrictive Material and its Applications in Micro-actuator and Micro-sensors"Proc. Int. Conf. Materials and Device Characterization in Micromachining II, SPIE, USA. 114-123 (1999)

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  • [文献書誌] H. Eda, L. Zhou and J. Shimizu: "Development of Powder Metallurgic Giant Magnetostrictive Materials and Their Applications"Proc. Int. Conf. AMSMA2000, China. 117-120 (2000)

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  • [文献書誌] H.Nakano, M. Kosuge, H. Eda, L. Zhou, J. Shimizu and Y. Tomita: "Novel positioning system using a giant magnetostriction actuator for ultra precision and high power applications"Proc. Int. Conf. ICEM 2000, Finland. 462-466 (2000)

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  • [文献書誌] L.Z,hou, H.Eda, K. Watanabe, H. Nakano, R. Kondo and J. Shimizu: "Development of One-Stop Machining System for 300mm Silicon Wafer"Proc. 15th ASPE Annual Meeting, USA. 140-143 (2000)

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  • [文献書誌] H. Eda, L. Zhou, J. Shimizu and T. Mori: "PM Technology in Giant Magnetostrictive Materials Manufacturing and Application Development"Proc. Int. Conf. PM2000, Kyoto. 1356-1359 (2001)

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  • [文献書誌] K. Sagawa, H. Eda, L. Zhou and J. Shimizu: "Simulation on High Integrity Surface Generation of φ300 Si Wafer with Fixed-abrasive Solution"Proc. Int. Conf. ICPE-10, Yokohama. 441-445 (2001)

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  • [文献書誌] J. Shimizu, H. Eda and L. Zhou: "Molecular Dynamics Simulation on Dependence of Atomic-Scale Stick-Slip Phenomenon upon Probe Tip Shape"Proc. Int. Conf. ICPE-10, Yokohama. 759-763 (2001)

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  • [文献書誌] J. Shimizu, L. Zhou and H. Eda: "Simulation Analysis of Contact Process in AFM Surface Observation"Proc. 2nd World Tribology Congress, Austria, WTC2001, M-12-22-157-SHIMIZU.pdf.. (2001)

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  • [文献書誌] J. Shimizu, L. Zhou, A. Muroya and H. Eda: "Simulation and Experimental Analysis of Abrasive Wear in Ultra High-Speed Grinding"Proc. 2nd World Tribologh Congress Austria, WTC2001, M-14-04-156-SHIMIZU.pdf.. (2001)

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  • [文献書誌] H. Eda, L. Zhou, J. Shimizu and M. Ii: "Development of Newly Conceptualized High Water-Content Lubrication Coolant"Proc. 2nd World Tribologh Congress Austria, WTC2001, M-66-03-064-EDA.pdf. (2001)

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  • [文献書誌] J. Shimizu, H. Eda and L. Zhou: "Molecular Dynamics Simulation of Solid Surface Image by Atomic Force Microscope"Proc. Int. Workshop TIWSS'2001, Tokyo. 70-74 (2001)

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  • [文献書誌] J. Shimizu, L. Zhou and H. Eda: "Molecular Dynamics Simulation of Superspeed Grinding of Ductile Material"Proc. Int. Workshop TIWSS'2001, Tokyo. 75-79 (2001)

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  • [文献書誌] S. Kawai, L. Zhou, J. Shimizu and H. Eda: "Research on CMG (Chemo-Mechanical Grinding)"Proc. Int. Conf. ISAAT2001, Korea (Advances in Anrasive Technology IV). 305-308 (2001)

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  • [文献書誌] T. Fukuda, L. Zhou, J. Shimizu and H. Eda: "Improvement of Insert Tool Performance witn Electrical/Magnetic Treatment"Proc. Int. Conf. ISAAT2001, Korea (Advances in Abrasive Techonology IV). 437-440 (2001)

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  • [文献書誌] J. Shimizu, H. Eda, L. Zhou, T. Asano and Y. Nakazawa: "Microscopic Analysis of Friction Phenomena in Surface Observation by Atomic Force Microscope"Proc. Int. Conf. ITC2000, Nagasaki. 687-692 (2001)

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  • [文献書誌] J. Shimizu, H. Eda, L. Zhou, A. Muroya and Y. Nakazawa: "Microscopic Analysis of Material Deformation in Ultra High-Speed Grinding Process"Proc. Int. Conf. ITC2000, Nagasaki. 769-774 (2001)

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  • [文献書誌] H. Eda, et. al.: "6th Edition, Metal Handbook"Maruzen Co., Ltd.. 1182 (2000)

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  • [文献書誌] H. Eda lid L. Zhou, et. al.: "Nano/Micromachine Technology Overview"Industrial Technology Development Center, Co., Ltd.. (To be published) (2002)

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  • [文献書誌] 江田 弘, 周 立波, 守屋光永, 川上辰男, 石川友彦, 山本佳男: "電子顕微鏡内マイクロファブリケーションデバイスの技術開発"精密工学会誌. 67・8. 1284-1288 (2001)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] H. Eda, L. Zhou, H. Nakano, R. Kondo, J. Shimizu: "Development of Single Step Grinding System for Large Scale φ300 Si Wafer : A Total Integrated Fixed-Abrasive Solution"Annals of the CIRP. 50・1. 225-228 (2001)

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  • [文献書誌] 江田 弘, 周 立波, 中野博民, 近藤 良, 清水 淳, 田島琢二: "大口径φ300mmSiウエハ用超加工機械の開発"精密工学会誌. 67・10. 1693-1697 (2001)

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  • [文献書誌] 周 立波, 江田 弘, 清水 淳, 西村雅也, 佐川克雄: "電子・磁気・光学基板の脆性-延性モード統合仕上げ加工"砥粒加工学会誌. 45・6. 304-309 (2001)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 佐川克雄, 江田 弘, 周 立波, 清水 淳: "φ300Siウエハ超加工機械創作用仕上げ面粗さシミュレーション"砥粒加工学会誌. 45・12. 574-579 (2001)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 周 立波, 篠原一宏, 清水 淳, 江田 弘: "大口径シリコンウエハ研削加工における幾何と運動"精密工学会誌. 68・1. 125-129 (2002)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 江田 弘, 周 立波: "ナノ・マイクロマシン技術総覧(分担)"(株)産業技術開発センター(掲載待ち). (2002)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 江田弘,周立波,守屋光永,川上辰男,石川友彦,山本佳男: "電子顕微鏡内マイクロファブリケーションデバイスの技術開発"精密工学会誌. (掲載待ち). (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] H.Eda,L.Zhou,H.Nakano,R.Kondo,J.Shimizu: "Development of Single step Grinding System for Large Scale f300 Si Wafer, A Total Integrated Fixed-abrasive Solution"CIRP Annals. Vol.50, No.1(accepted). (2001)

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      2000 実績報告書
  • [文献書誌] H.Eda,L.Zhou,Y.Yamamoto,T.Ishikawa,T.Kawakami and J.Shimizu: "Development of Micro-manipulation System for Operation in Scanning Electron Microscope"Int'l Journal for Manufacturing Science and Technology. Vol.2,No.2. 107-113 (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] H.Eda,T.Mori,L.Zhou,J.Shimizu,H.Nakano,R.Kondo and K.Watanabe: "PM Technology in Giant magnetostrictive Materials Manufacturing and Application Development"Proceedings of 2000 Powder Metallurgy World Conference. +1-+4 (2000)

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      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Jun Shimizu,Hiroshi Eda and Libo Zhou,T.Asano and Y.Nakazawa: "Microscopic Analysis of friction Phenomena in Surface Observation by Atomic Force Microscope"Proc.of Synopses of Int'l Tribology Conference. 454 (2000)

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      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Hiroshi Eda,Libo zhou and Jun Shimizu: "Development of One-Stop Machining System for φ300 Silicon Wafer"Proceedings of ASPE 2000 Annual Meeting. 140-143 (2000)

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      2000 実績報告書
  • [文献書誌] H.Nakano,M.Kosugi,H.Eda, L.Zhou,J.Shimizu and Y.Tomita: "Novel positioning system using a giant magnetostriction actuator for ultra precision and high power applications"Proceedings.of ICEM'2000. 462-466 (2000)

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      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Hiroshi Eda and Libo Zhou: "Giant Magnetostrictive Material, Encyclopedia of Smart Material"John Wiley & Sons Inc.(掲載待ち). (2001)

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      2000 実績報告書
  • [文献書誌] H.Eda,Y.Yamamoto,T.Ishikawa,L.Zhou and T.Kawakami: "Design Concept and System Development of Machining Under a Scanning Electron Microscope"Proc.Miniaturized Systems with Micro-Optics and MEMS,Santa Clara. 310-318 (1999)

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      1999 実績報告書
  • [文献書誌] H.Eda,L.Zhou and J.Shimizu: "Computer Assisted Modeling and Simulation for Grinding Process"Proceedings of Int.Conf.Proc.EUSPEN'99,Germany. 226-229 (1999)

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      1999 実績報告書
  • [文献書誌] H.Eda,L.Chouanine,J.Shimizu and L.Zhou: "Development of State-of-Art Devices on the Sub-nanometer Grinding Machine Tool for Optical Glasses"Proceedings of Int.Conf.ICOSN'99,Yokohama. 344-347 (1999)

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      1999 実績報告書
  • [文献書誌] H.Eda,J.Shimizu and L.Zhou: "Study on Ultra-Precision Machining of Ceramics for Optical Components"Proceedings of Int.Conf.ICOSN'99,Yokohama. 420-423 (1999)

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      1999 実績報告書
  • [文献書誌] J.Shimizu,H.Eda,L.Zhou and M.Jo: "Molecular Dynamics Simulation of friction and wear process with a simple model on tool stiffness effect"Proceedings of Int.Conf.ICPE-9,Osaka. 1013-1018 (1999)

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      1999 実績報告書
  • [文献書誌] H.Eda,H.Hamada,Y.Tomita and Y.Yamamoto: "Study on Super-Fine Diamond Cluster with Application to Ultra-Precision Surface Generation"Journal of the Balkan Tribological Association. 5・2. 94-104 (1999)

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      1999 実績報告書
  • [文献書誌] J.Shimizu,H.Eda,M.Yoritsune and E.Ohmura: "Molecular Dynamics Simulation of Friction on the Atomic Scale" Nanotechnology. 9・2. 118-123 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 江田 弘,L.Chouanine,清水 淳: "ガラス引っかき過程の延性発現の検証-鋭利なダイヤモンド圧子を用いた場合-" 精密工学会誌. 64・4. 613-617 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 飯井基彦,江田 弘,今井尭一: "塩素フリー水溶性研削油剤の開発-地球に優しい水溶性研削油剤の開発-" 精密工学会誌. 64・6. 918-922 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] L.Chouanine,H.Eda and J.Shimizu: "Development of Key-Technology on the State-of-the-Art Machine Tool and Generalization of Grinding Forces under Ductile Mode Grinding Experiments" Journal of Japan Society of Precision Engineering. 32・2. 98-103 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] H.Eda,J.Shimizu and Y.Tomita: "Experiment and Simulation Study on Combined Mechanism of Micro World Scratching" Proceedings of 1st Int.Conf.on Tribology,ASIATRIB'98. 283-287 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] H.Eda,J.Shimizu and Y.Tomita: "Sliding Friction Mechanism on Ultra Precision Surface in Atomic Scale" Proceedings of 1st Int.Conf.on Tribology,ASIATRIB'98. 314-318 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 江田 弘(兼編集)他多数: "生産加工の原理" 日本機械学会編(日刊工業新聞社), 369 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 江田 弘(研究代表者): "広帯域ダイナミカルシステム適用の超磁歪材料の創成に関する研究" 科学研究費基盤研究(C)(2)(08650126),研究成果報告書, 120 (1998)

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      1998 実績報告書

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公開日: 1998-04-01   更新日: 2016-04-21  

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