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超精密工作機械の熱変形制御に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 10450060
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 機械工作・生産工学
研究機関神戸大学

研究代表者

森脇 俊道  神戸大学, 工学部, 教授 (00031104)

研究分担者 樋野 励  神戸大学, 工学部, 助手 (80273762)
柴坂 敏郎  神戸大学, 大学院・自然科学研究科, 助教授 (80094530)
社本 英二  神戸大学, 工学部, 助教授 (20216146)
研究期間 (年度) 1998 – 1999
研究課題ステータス 完了 (1999年度)
配分額 *注記
9,600千円 (直接経費: 9,600千円)
1999年度: 4,600千円 (直接経費: 4,600千円)
1998年度: 5,000千円 (直接経費: 5,000千円)
キーワード超精密工作機械 / 熱変形 / 超精密切削加工 / 空気静圧軸受 / 高精度化 / 伝達関数 / たたみこみ積分 / 周囲温度 / 超精密工作機 / 周囲気温 / ダイヤモンド切削加工 / インプロセス補正制御 / 誤差推定
研究概要

本研究では、超精密工作機械のさらなる加工精度の向上を目的として、種々の熱源に起因する工作機械の熱変形に対する補正を行い、加工精度を補償するための方法論の確立を目的とする。提案する方法論は、基本的な正面旋削加工機に対して実験により検証する。
本研究により得られた成果は以下の通りである。
超精密工作機械の主軸に用いられる空気静圧主軸の熱的な挙動について、実験的に検討を行った。ここでは、主軸の回転と周囲気温の変動に起因して発生する熱の影響について考察を加えた。その結果、主軸の回転数の増加に伴って、周囲気温の変化による熱的な工作機械の変形量も増加することが明らかになった。これは主軸の回転により熱伝達の特性が変化することが理由と考えられる。
この実験結果に基づき、超精密工作機械の熱変形を補正するための手法を提案した。具体的には、主軸回転数と工作機械の熱変形量との間の伝達関数、および周囲気温と熱変機の間の伝達関数をそれぞれ別々に求めておき、実験により得られた伝達関数と畳み込み積分の手法により、熱変形の推定と補正を簡単に行うための手法を提案した。提案する手法により、加工誤差は15%以下に減少させることができることを実験により確認した。

報告書

(3件)
  • 1999 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1998 実績報告書
  • 研究成果

    (44件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (44件)

  • [文献書誌] Eiji Shamoto: "Ultraprecision 6-Axis Table Driven by Means of Walking Drive"Annals of the CIRP. Vol. 49/1. to be published (2000)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 社本 英二: "超音波楕円振動切削加工法による超精密微細金型加工"1999年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 182 (1999)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Eiji Shamoto: "Ultraprecision Diamond Cutting of Hardened Steel by Applying Elliptical Vibration Cutting"Annals of the CIRP. Vol. 48/1. 441-444 (1999)

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  • [文献書誌] Eiji Shamoto: "Ultraprecision Dutile Cutting of Glass by Applying Ultrasonic elliptical Vibration Cutting"Proc. of 1st EUSPEN. 408-411 (1999)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 社本 英二: "楕円振動切削加工法(第3報)-三次元切削への適用と実用的諸効果の検討-"精密工学会誌. Vol.65. 586-591 (1999)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 社本 英二: "鋼の超精密楕円振動切削加工"日本機械学会[No.99-2]第1回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集. 179-180 (1999)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] C. Ma: "Regenerative Chater Suppressionin Turning by Applying Ultrasonic Elliptical Vibration"Memoirs of Graduate School of Science & Technology, Kobe Univ.. No. 17-A. 47-62 (1999)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 社本 英二: "楕円振動切削加工法(第2報)-振動条件の影響に関する検討-"精密工学会誌. Vol.65. 411-417 (1999)

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  • [文献書誌] 社本 英二: "Walking Driveを用いた超精密XYθテーブルの開発(第1報)-3本足駆動のアルゴリズムと装置-"1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 110 (1999)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 社本 英二: "Walking Driveを用いた超精密XYθテーブルの開発(第2報)-2本足駆動のアルゴリズムと装置-"1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 111 (1999)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 社本 英二: "主軸回転数変動によるエンドミル加工時の再生型びびり振動の抑制"1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 207 (1999)

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  • [文献書誌] Toshimichi Moriwaki: "Intelligent Tool Condition Monitoring for Milling"Manufacturing Systems. Vol. 27. 327-332 (1998)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 社本 英二: "ガラスの延性モード超音波楕円振動切削加工-臨界切込み量に関する検討-"1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 305 (1998)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 社本 英二: "超音波楕円振動切削加工法による鋼の微細形状加工"1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 220 (1998)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 社本 英二: "電磁誘導作用を利用した面内3自由度位置センサの開発"1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 525 (1998)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Toshimichi Moriwaki: "Analysis of Thermal Deformation of an Ultraprecision Air Spindle System"Annals of the CIRP. Vol. 47/1. 315-319 (1998)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Eiji Shamoto, Hirokazu Murase and Toshimichi Moriwaki: "Ultraprecision 6-Axis Table Driven by Means of Walking Drive"Annals of the CIRP. Vol.49/1(to be published). (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Eiji Shamoto and Toshimichi Moriwaki: "Ultraprecision Diamond Cutting of Hardened Steel by Applying Elliptical Vibration Cutting"Annals of the CIRP. Vol.48/1. 441-444 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Eiji Shamoto, Chun-Xiang Ma and Toshimichi Moriwaki: "Ultraprecision Ductile Cutting of Glassby Applying Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting"Proc. of 1st EUSPEN. 408-411 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Eiji Shamoto, Chun-Xiang Ma and Toshimichi Moriwaki: "Elliptical Vibration Cutting (3rd Report, Application to Three Dimensional Cutting and Investigation of Practical Effects)"JSPE. Vol.65, No.4. 586-591 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Eiji Shamoto, Yoshiyuki Morimoto and Toshimichi Moriwaki: "Elliptical Vibration Cutting (2nd report, Study on Effects of Vibration Conditions)"JSPE. Vol.65, No.3. 411-417 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] C.Ma, E.Shamoto, B.Sattayawuthiphong, T.Moriwaki: "Regenerative Chatter Suppression in Turning by Applying Ultrasonic Elliptical Vibration"Memoirs of Graduate School of Science & Technology, Kobe Univ.. No.17-A. 47-62 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Toshimichi Moriwaki and Eiji Shamoto: "Analysis of Thermal Deformation of an Ultraprecision Air Spindle System"Annals of the CIRP. Vol.47/1. 315-319 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Toshimichi Moriwaki and Eiji Shamoto: "Intelligent Tool Condition Monitoring for Milling"Manufacturing Systems. Vol.27, No.3. 327-332 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Eiji Shamoto, Toshimichi Moriwaki, Atsushi Ura, Makoto Matsuo, Michio Osada and Masaaki Seigo: "Ultraprecision Micro Machining of Die Steel by Applying Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting"Reprint of 1999 JSPE Autumn Conf.. 182 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Eiji Shamoto, Hirotsugu Sugawara, Akio Tsuji and Toshimichi Moriwaki: "Ultraprecision Elliptical Vibration Cuttingof Steel"Reprint of JSME Conf. [No.99/2]. 179-180 (1999)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Eiji Shamoto, Hidetaka Matsuo and Toshimichi Moriwaki: "Development of ultraprecision XYθ table by means of walking drive (1ィイD1stィエD1 report) Algorithm and device of table driven by 2 sets of actuators"Reprint of 1999 JSPE Spring Conf.. 111 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Eiji Shamoto, Yuichi Murase and Toshimichi Moriwaki: "Development of ultraprecision XYθ table by means of walking drive (1ィイD1stィエD1 report) Algorithm and device of table driven by 3 sets of actuators"Reprint of 1999 JSPE Spring Conf.. 110 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Eiji Shamoto, Toshimichi Moriwaki, Makoto Matsuo and Michio Osada: "Micro Machining of Steel by Applying Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting"Reprint of 1998 JSPE Autumn Conf.. 220 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Eiji Shamoto, Chun-Xiang Ma and Toshimichi Moriwaki: "Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting of Glass-Investigation of Critical Depth of Cut"Reprint of 1998 JSPE Autumn Conf.. 305 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 社本英二: "楕円振動切削加工法(第2法)-振動条件の影響に関する検討-"精密工学会誌. Vol.65,No.3. 411-417 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 社本英二: "楕円振動切削加工法(第3法)-三次元切削への適用と実用的諸効果の検討"精密工学会誌. Vol.65,No.4. 586-591 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Eiji Shamoto: "Ultraprecision Ductile Cutting of Glass by Applying Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting"Proc.of 1st EUSPEN. 408-411 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Eiji Shamoto: "Ultraprecision Diamond Cutting of Hardened Steel by Applying Elliptical Vibration Cutting"Annals of the CIRP. Vol.48/1. 441-444 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Eiji Shamoto: "Ultraprecision 6-Axis Table Driven by Means of Walking Drive"Annals of the CIRP. Vol.49/1(to be published). (2000)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 社本英二: "Walking Driveを用いた超精密XYθテーブルの開発(第1報)-3本足駆動のアルゴリズムと装置-"1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 110 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 社本英二: "Walking Driveを用いた超精密XYθテーブルの開発(第2報)-2本足駆動のアルゴリズムと装置-"1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 111 (1999)

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      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 社本英二: "主軸回転数変動によるエンドミル加工時の再生型びびり振動の抑制"1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 207 (1999)

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      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 社本英二: "鋼の超精密楕円振動切削加工"日本機械学会[No.99-2]第1回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集. 179-180 (1999)

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      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 社本英二: "超音波楕円振動切削加工法による超精密微細金型加工"1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 182 (1999)

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      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Toshimichi Moriwaki: "Analysis of Thermal Deformation of an Ultraprecision Air Spindle System" Annals of the CIRP. 47・1. 315-319 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 社本 英二: "ガラスの延性モード超音波楕円振動切削加工-臨界切込み量に関する検討" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 305 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 社本 英二: "超音波楕円振動切削加工法による鋼の微細形状加工" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 220 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 社本 英二: "電磁誘導作用を利用した面内3自由度位置センサの開発" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 525 (1998)

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      1998 実績報告書

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公開日: 1998-04-01   更新日: 2016-04-21  

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