• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

Alの陽極酸化皮膜をレジストとする磁気繊毛の微細加工と繊毛運動マイクロ搬送機構

研究課題

研究課題/領域番号 10450126
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関九州工業大学

研究代表者

山崎 二郎  九州工業大学, 工学部, 教授 (40108668)

研究分担者 太屋岡 篤憲  北九州工業高等専門学校, 助手 (60236768)
本田 崇  九州工業大学, 工学部, 助教授 (70295004)
研究期間 (年度) 1998 – 1999
研究課題ステータス 完了 (1999年度)
配分額 *注記
9,400千円 (直接経費: 9,400千円)
1999年度: 3,100千円 (直接経費: 3,100千円)
1998年度: 6,300千円 (直接経費: 6,300千円)
キーワードマイクロマシン / 微細加工 / 磁気繊毛 / 陽極酸化 / 搬送機構 / マイクロモータ / 摩擦駆動 / 高アスペクト比 / 陽極酸化法 / 磁気アクチュエータ / 酸極酸化法
研究概要

半導体集積回路の微細加工技術をベースにしたマイクロマシーニングにより、マイクロサージェリー、マイクロ分析、マイクロメンテナンスなどの新技術の実現を目指して、種々のマイクロマシンが作成されている。マイクロマシンの駆動力としては静電力や圧電力が多用されるが、電磁力の利用は他に比較して大きな変位と力を同時に実現できるという特長を有している。電磁力の特長を活かしたマイクロマシンを実現するためには磁性体の高アスペクト比の微細加工技術が不可欠である。高アスペクト比の微細加工にはLIGAプロセスが利用されるが、放射光を利用する特殊設備が必要であり高コストになることが欠点である。本研究は安価で簡単な磁性体の高アスペクト比微細加工法を開発し、磁気マイクロマシンの製作を目指したものである。
Alを陽極酸化すれば厚み方向に微細孔を有するポーラスナなアルミナ皮膜が得られる。この皮膜は化学エッチングに関して厚み方向に形状異方性を有するのでフォトファブリケイションのレジストとして利用することができる。200μm厚みのアルミナ皮膜を作製しアスペクト比40の磁性体の微細加工法を開発した。これを利用して新規のマイクロ磁気アクチュエータを作製した。直径5μm、長さ200μmの磁気繊毛群の交流磁界中での繊毛運動を利用したアクチュエータはマイクロファクトリーへの応用が期待される。また、回転子径100μmのジャイロ磁気効果マイクロモータはジャイロセンサーへの応用が期待される。

報告書

(3件)
  • 1999 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1998 実績報告書
  • 研究成果

    (11件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (11件)

  • [文献書誌] 杉野友啓、本田崇、山崎二郎: "巨大ジャイロ磁気効果マイクロモータ"日本応用磁気学会誌. 24・4-2. 983-987 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 丸野聡明、本田崇、山崎二郎: "摩擦駆動型電磁マイクロモータの特性改善"日本応用磁気学会誌. 24・4-2. 979-983 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 丸野聡明、本田崇、山崎二郎: "摩擦駆動を利用した電磁マイクロモータの基礎特性と高トルク化"電気学会論文誌A. 120-A. 289-294 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Honda, N.Miyazaki, J.Yamasaki: "Development of Magnetic Linear Motor Based on Friction Drive"IEEE Trans. Magn.. 35・5. 4004-4006 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Sugino, T.Honda, J.Yamasaki: "Giant Gyromagnetic micro motor (in Japanese)"J. Magnetics Society of Japan. 24, No.4-2. 983 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Maruno, T.Honda, J.Yamasaki: "Improved Characteristics of an Electromagnetic Friction-Drive Micro-motor (in Japanese)"J. Magnetics Society of Japan. 24, No.4-2. 979 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Maruno, T.Honda, J.Yamasaki: "Torque and Fundamental Properties of Electromagnetic Friction-drive Micro Motor (in Japanese)"Trans. IEE Japan. 120-A. 289 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Honda, N.Miyazaki, J.Yamasaki: "Development of a Magnetic Linear Motor based on Friction Drive"IEEE Trans. Magn.. 35, No.5. 4004 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Honda,N.Miyazaki J.Yamasaki: "Development of a magnetic linear motor based on friction drive"IEEE Trans.on Magnetics. 35・7. 4004-4006 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 丸野聡明,本田崇,山崎二郎: "摩擦駆動を利用した電磁マイクロモータの基礎特性と高トルク化に関する研究"電気学会論文誌A. 120-A(印刷中). (2000)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 杉野友啓,本田崇,山崎二郎: "ジャイロ磁気効果マイクロモーター"日本応用磁気学会誌. (印刷中). (2000)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書

URL: 

公開日: 1998-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi