| 研究課題/領域番号 |
10450137
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・機器工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
藤岡 弘 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (40029228)
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| 研究分担者 |
三浦 克介 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助手 (30263221)
中前 幸治 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (40155809)
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| 研究期間 (年度) |
1998 – 2000
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| 研究課題ステータス |
完了 (2000年度)
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| 配分額 *注記 |
9,500千円 (直接経費: 9,500千円)
2000年度: 2,300千円 (直接経費: 2,300千円)
1999年度: 2,400千円 (直接経費: 2,400千円)
1998年度: 4,800千円 (直接経費: 4,800千円)
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| キーワード | テスティング容易化設計 / 多層構造VLSI / 電圧テストポイント / 電流テスティング / 電流テストポイント / 故障局所化 / EBテスタビリティ / VLSI / パーティクル |
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| 研究概要 |
次世代の多層構造超高密度集積回路(VLSI)のテスティングを容易化させるため、電圧テストポイントおよび電流テストポイントの設計手法並びにCADツールへの導入手法の確立を行うことを目的として、以下の成果を得た。
(1)電圧テストポイント
電圧テストポイントを標準セルとして設計した。設計したセルの配置位置は、次のように決定した。1)テストポイント導入予定数以上のダミーセルを予めレイアウト上に準備する。この際、できるだけレイアウト上で均一に分布するようにダミーセルを配置する。2)故障位置絞込み範囲を指定し、その範囲内に収まるようにテストポイント位置及びその数を決める。その手順は、a)全ての不可観測配線にテストポイントを配置する、b)順次、配置したテストポイントを削除した場合の故障絞込み範囲を計算し、そのポイントを削除しても指定した故障絞り込み範囲であれば、それを削除する、である。この手法により、遺伝的アルゴリズムを用いた準最適解と同等の結果が、約1/7の時間で得られた。これにより、ツール化が可能となった。電圧テストポイントを導入した場合としない場合のチップを実際に試作し、LSIテストシステムとEBテストシステムの統合化した環境下でテストし、電圧テストポイント導入の評価を行った。その結果、チップ面積および信号遅延の増加は十分無視でき、EBテストシステムによる可観測性は配線ネット数で約1/3に向上しその有効性が明らかになった。
(2)電流テストポイント
電流テストポイントは、テストモード時に規定した電流を流すセルである。テスト時に全電流が、規定した電流値の和になっているかどうかでテストデバイスの不良を検知する。製造プロセスの揺らぎをも考慮した、電流テストポイント設計法を確立した。残された課題は、電流テストポイントの有効性の実証である。
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