| 研究課題/領域番号 |
10450231
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
金属物性
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・新領域創成科学研究科, 助教授 (30176911)
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| 研究期間 (年度) |
1998 – 1999
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| 研究課題ステータス |
完了 (1999年度)
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| 配分額 *注記 |
13,600千円 (直接経費: 13,600千円)
1999年度: 6,500千円 (直接経費: 6,500千円)
1998年度: 7,100千円 (直接経費: 7,100千円)
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| キーワード | プラズマ / プラズマ-固体界面 / SPM / STM / プラズマエッチング反応 / ナノスコピック構造 / プラズマ環境 / 固体-プラズマ界面 / HOPG |
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| 研究概要 |
(A)プラズマ環境中で作動する走査式トンネル顕微鏡/分光装置の開発
従来の装置を踏まえ、物性研究用のプラズマ環境中で作動する走査式トンネル顕微鏡/分光(プラズマSTM/STS)の開発を行った。特に、STS測定モードを新たに付け加えるため、プラズマからのプラズマポテンシャル、電流ノイズ対策もかねた、耐高圧低ノイズ用計測回路への変更を行うとともに、プラズマによるピエゾ系への影響(経時変化)の低減を目指し、ピエゾパートの構造を新たに設計した。その結果、プラズマ密度10^9/cm^3程度の平均的なプロセスプラズマにおいて吸時間オーダーで安定的(ノイズレベル0.1nA以下)にSTM動作可能な装置の開発に成功した。一方、同環境内でのプローブ位置安定性はプラズマなしの場合よりも1桁ほど悪く(1nm程度)、プラズマ環境でのSTS測定可能なレベルには残念ながら至っていない。
(B)プラズマ-材料固体表面ナノスケールその場観察
上記のプラズマSTM/STSを用い、HOPGおよびSrTiO_3の動的・静的ナノ構造解析/電子状態計測を行い、世界に先駆けてHOPG上でナノメーター構造のエッチング過程のその場観察に初めて成功した。この成功は従来ブラックボックスに近かった固体-プラズマ・ナノスケール界面研究に新たな扉を開くものである。
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