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多価イオンを用いたナノ構造の創成

研究課題

研究課題/領域番号 10554017
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 物理学一般
研究機関神戸大学 (1999-2000)
岡崎国立共同研究機構 (1998)

研究代表者

櫻井 誠 (桜井 誠)  神戸大学, 理学部, 助教授 (90170646)

研究分担者 フレデリック カレル  電気通信大学, レーザー極限技術研究センター, 講師 (40262365)
研究期間 (年度) 1998 – 2000
研究課題ステータス 完了 (2000年度)
配分額 *注記
13,200千円 (直接経費: 13,200千円)
2000年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
1999年度: 2,400千円 (直接経費: 2,400千円)
1998年度: 9,700千円 (直接経費: 9,700千円)
キーワード多価イオン / 電子ビームイオン源 / ナノ構造 / 表面・界面 / 同時計測 / 表面科学
研究概要

運動エネルギーが小さく(≦1keV)電離が極端に進んだ超多価イオンは、固体表面に入射させた際、表面近傍のナノメートル領域での構造変化・改質効果をもたらすことから、固体表面における原子分子操作技術、超微細加工技術開発への展開が期待される。本研究では、超多価イオン照射による原子レベルでの表面層構造変化の観測とその微視的機構の解析から、多価イオンを用いたナノテクノロジーの可能性を明らかにすることを最終的な目的とし、以下に述べる具体的研究課題に取り組んだ。
1.多価イオン輸送系の改善
2.プローブ法による多価イオン生成法の開発
3.多価イオン照射による2次電子放出率計測に関する装置の開発
これらの研究課題は、多価イオンを使って固体表面を改質・加工するための製造装置を開発するために、重要な要素技術課題である。今回の基盤研究の研究期間内では、多価イオンが実際に表面を修飾するための良い手段であることを示すまでには至らなかった。しかしながら、この研究は将来のナノデバイス技術に向けて、非常に研究価値のあるものと考えられ、今後の継続的な研究のための予算確保が望まれる。

報告書

(4件)
  • 2000 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1999 実績報告書
  • 1998 実績報告書
  • 研究成果

    (27件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (27件)

  • [文献書誌] M.Sakurai: "Surface science station of the infrared beamline at SPring-8"Nuclear Instrum.Meth.. (発表予定). (2001)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Kimura: "infrared beamline BL43IR at SPring-8 : design and commissioning"Nuclear Instrum.Meth.. (発表予定). (2001)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Hirayama: "Desorption of an excimer from the surface of solid Ne by low energy electron and photon impact"Phys.Rev.B. (発表予定). (2001)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] I.Arakawa: "Absolute measurement of total photo desorption yield of solid Ne in vacuum ultraviolet range"Surface Sci.. 451. 136-142 (2000)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Kuramoto: "High energy operation of the Tokyo-electron beam ion trap"Rev.Sci.Instrum.. 71. 687-689 (2000)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Shimizu: "Characteristics of the beam line at an electron beam ion trap"Rev.Sci.Instrum.. 71. 681-683 (2000)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Sakurai: "Surface science station of the infrared beamline at SPring-8"Nucl. Instrum. Meth.. (to be published). (2001)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Kimura: "Infrared beamline BL43IR at SPring-8 : design and commissioning"Nucl. Instrum. Meth.. (to be published). (2001)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Hirayama: "Desorption of an excimer from the surface of solid Ne by low energy electron and photon impact"Phys. Rev. B. (to be published). (2001)

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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] I.Arakawa: "Absolute measurement of total photo desorption yield of solid Ne in vacuum ultraviolet range"Surface Sci.. 451. 136 (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Kuramoto: "High energy operation of the Tokyo-electron beam ion trap"Rev. Sci. Instrum.. 71. 687-689 (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Shimizu: "Characteristics of the beam line at an electron beam ion trap"Rev. Sci. Instrum.. 71. 681-683 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Sakurai: "Surface science station of the infrared beamline at SPring-8"Nuclear Instrum.Meth.. (発表予定). (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kimura: "Infrared beamline BL43IR at SPring-8 : design and commissioning"Nuclear Instrum.Meth.. (発表予定). (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] T.Hirayama: "Desorption of an excimer from the surface of solid Ne by low energy electron and photon impact"Phys.Rev.B. (発表予定). (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] I.Arakawa: "Absolute measurement of total photo desorption yield of solid Ne in vacuum ultraviolet range"Surface Sci.. 451. 136 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kuramoto: "High energy operation of the Tokyo-electron beam ion trap "Rev.Sci.Instrum.. 71. 687-689 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] H.Shimizu: "Characteristics of the beam line at an electron beam ion trap"Rev.Sci.Instrum.. 71. 681-683 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] I.Yamada: "Electron capture cross sections in slow highly charged ion-atom and -mdecule collisions"Proc.21th Int.Conf.on Phys.of Electronic and Atomic Collisions. 553 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] T.Hirayama: "Electronic excitation induced desorption of excited atoms and excimers from the surface of solid Ne"Proc.21th Int.Conf.on Phys.of Electronic and Atomic Collisions. 718 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kuramoto: "High energy operation of the Tokyo-electron beam ion trap"Rev.Sci.Instrum. (発表予定).

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] M.Sakurai: "Upgraded Infrared Beamline at UUSOR" J.Synchrotron Red.5. 578-580 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] N.Nakamura: "The present status of the Tokyo electron beam ion trap" Rev.Sci.Instrum.69. 694-696 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] E.V.Savchenko: "Long life-time emission of the excited species ejected from the surface of solid Ne" Surface Sci.390. 261-264 (1997)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] T.Hirayama: "Absolute desorption yield of metastable atoms from the surface of solid rare gases induced by exiton creation" Surface Sci.390. 266-271 (1997)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] H.Watanabe: "Characteristics of the Tokyo electron-beam ion trap" J.Phys.Soc.Jpn.66. 3795-3800 (1997)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.Hosaka: "Multiple electron capture processes between highly charged ions and molecules" Physica Scripta. T73. 273-275 (1997)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書

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公開日: 1998-04-01   更新日: 2016-04-21  

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