| 研究課題/領域番号 |
10555010
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 展開研究 |
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| 研究分野 |
表面界面物性
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| 研究機関 | 豊田工業大学 |
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研究代表者 |
上田 一之 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, 教授 (60029212)
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| 研究分担者 |
木村 啓子(小粥 啓子) (木村 啓子 / 小粥 啓子) 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, PD研究員 (60262862)
吉村 雅満 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (40220743)
小野 泉 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, PD (70288562)
石川 憲一 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, PD (90288556)
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| 研究期間 (年度) |
1998 – 1999
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| 研究課題ステータス |
完了 (1999年度)
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| 配分額 *注記 |
11,100千円 (直接経費: 11,100千円)
1999年度: 5,600千円 (直接経費: 5,600千円)
1998年度: 5,500千円 (直接経費: 5,500千円)
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| キーワード | 水素 / TOF-ESD / 電子励起イオン脱離 / 2次元分布 / イメージング / プロチウム / 電子励起脱離 / TOF / ESD / 水素検知 / 電子励起 / イオン脱離 / 飛行時間 / 走査型 / シリコン / 水素終端 |
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| 研究概要 |
初期の目的は走査型水素検出顕微鏡の空間分解能05μmまで向上させ、水素分布の定量性評価を目的とすることであった。1)電子銃の改良して安定な微細ビームを得る、2)空間分布能向上の証明としてLSI技術で作成されたデバイスで2次元水素分析を行う。3)試料表面に既知量の水素をイオン銃により、入射エネルギーを変化させて打ち込み、表面と内部に分布する水素の量をTOF-ESDと昇温脱離法でTOF-ESDの定量性を確認することであった。
以上の目的達成のため、2年間の集中的な研究結果はほぼ70%を達成したと云える。
1)電子銃を熱電界放出型にして分解能0.7μmの水素マップの描画の研究を実施した。安定なビームを高密度に得るためのエミッターとして目的を達した。
2)低エネルギー電子による水素検出の空間分解能を調べるために、Line-&-spaceの素子に水素を吸着させ、このライン上の水素を検出することで分解能の評価を行った。この他にもマイクロチャンネルプレートが12μmのPbOのパイプからできているので、これをサンプルにして水素像を描かせると、(x 1000倍、128 x 128の画素)0.7μmの分解能を得た。更に細かく検知すると分解能は向上するが、描画に長時間を要し現時点で実用的ではない。
定量性に関する研究は低速イオン散乱との同時測定の研究が遅れたために実施できなかった。しかし、酸素像も鮮明に得られ、散乱の状況から水素像よりも高分解能像が得られることが判った。
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