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レーザマイクロマニピュレーションと光造形法によるレーザ駆動マイクロマシンの製作

研究課題

研究課題/領域番号 10555083
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 知能機械学・機械システム
研究機関岐阜工業高等専門学校

研究代表者

稲葉 成基  岐阜工業高等専門学校, 電気情報工学科, 教授 (30110183)

研究分担者 羽根 一博  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50164893)
熊崎 裕教  岐阜工業高等専門学校, 電気情報工学科, 助教授 (70270262)
研究期間 (年度) 1998 – 2001
研究課題ステータス 完了 (2001年度)
配分額 *注記
7,800千円 (直接経費: 7,800千円)
2001年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
2000年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
1999年度: 1,400千円 (直接経費: 1,400千円)
1998年度: 4,400千円 (直接経費: 4,400千円)
キーワード光トラップ / レーザマイクロマニピュレーション / 光造形法 / レーザ駆動 / マイクロマシン / レーザマイクロマニビュレーション
研究概要

光トラップ法と光造形法を用いたマイクロ構造物の製作方法を確立するための基礎的な研究を行い、製作した構造物のレーザ駆動を試みた。研究経過および成果は4段階に分割できる。
1.光トラップと光造形を共有する光学系の構築
光トラップには2台のYAGレーザ(波長1064nm,500mW)を、光造形にはHe-Cdレーザ(波長325nm,20mW)を用いる光学系を構築した。二本の手のように自由にマイクロ構造物を運搬・固定することができ、また、任意の点で光造形することができる。顕微鏡下で操作し、ディジタルカメラに記録することができる。
2.紫外線硬化樹脂液上での光トラップ
紫外線硬化樹脂液上に微小球を載せ、光トラップすることにより以下のマイクロ構造物を製作した。
(1)スライドグラス上に鉛直に伸びた円柱へ微小球を固定することができた。球レンズのマイクロ光学系の構築に有効である。
(2)光ファイバ先端へ微小球を固定することができた。光ファイバへの光の入射効率をあげることに有効である。
3.紫外線硬化樹脂の液滴の光トラップ
微小な紫外線硬化樹脂の液滴そのものを光トラップすることに成功し、マイクロ構造物の接合にこれを接着剤として使用する手法を検証した。紫外線硬化樹脂を光トラップで固定し、これをポリスチレンラテックス球ではさむように光トラップで運搬・固定した。この状態で紫外線を照射し、ポリスチレンラテックス球同士を接着固定した。同様の手法で次々と連続してポリスチレンラテックス球を数珠玉状につなぐことができることを確認した。
4.レーザ駆動
連結したポリスチレンラテックス球を光トラップによりレーザ駆動できることを確認した。片持ち梁上に固定されたポリスチレンラテックス球を光熱効果によりレーザ駆動できることを確認した。シングルモード光ファイバ端の片持ち梁は光強度が弱く、駆動できなかった。
光トラップが二次元であるために、構造物の製作に制限があった。今後は、三次元トラップができる光学系を構築し、立体的な構造物を構築するシステムを確立したい。

報告書

(5件)
  • 2001 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2000 実績報告書
  • 1999 実績報告書
  • 1998 実績報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (4件)

  • [文献書誌] 稲葉 成基: "光トラップ法と光造形法を用いたマイクロ構造物の製作"塑性と加工(日本塑性加工学会誌). 40巻・466号. 12-16 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.INABA, H.KUMAZAKI AND K.HANE: "FABRICATION OF MICRO STRUCTURE OBJECTS USING OPTICAL TRAP AND LASEER BEAM LITHOGRAPHY"Journal of the Japan Society for Technology of plasticity. Vol.40, No.466. 12-16 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 稲葉成基: "光トラップ法と光造形法を用いたマイクロ構造物の製作"塑性と加工(日本塑性加工学会誌). 40巻466号. 12-16 (1999)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 稲葉成基: "光トラップ法と光造形法を用いたマイクロ構造物の製作"塑性と加工(日本塑性加工学会誌). 40・466. 12-16 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書

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公開日: 1998-04-01   更新日: 2016-04-21  

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