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高結合横波弾性表面波を利用したWDM光通信用波長可変光フィルタの開発

研究課題

研究課題/領域番号 10555109
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 電子デバイス・機器工学
研究機関東北大学

研究代表者

中村 僖良  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (00005365)

研究分担者 戸叶 裕一  株式会社 トーキン, 商品開発研究所, 研究員
本郷 哲  宮城工業高等専門学校, 情報デザイン学科, 講師 (80271881)
山田 顕  東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (80134021)
研究期間 (年度) 1998 – 1999
研究課題ステータス 完了 (1999年度)
配分額 *注記
11,600千円 (直接経費: 11,600千円)
1999年度: 4,900千円 (直接経費: 4,900千円)
1998年度: 6,700千円 (直接経費: 6,700千円)
キーワードSH型弾性表面波 / KNbO_3 / 波長可変フィルタ / LiNbO_3 / ZnO薄膜 / 光導波路 / 音響光学効果 / KNbO_3結晶 / WDM光通信用波長可変フィルタ / Y-X LiNbO_3結晶 / Ti拡散
研究概要

本研究の目的は、純粋な横波表面波である高結合SH型弾性表面波を光波と相互作用させ、弾性表面波の周波数を変えることにより特定の波長の光信号のみを選択的に取り出すことが可能な高効率WDM光通信用波長可変フィルタを開発することにある。本研究で得られた主な成果、知見を以下に要約する。
1.KNbO_3結晶のZ軸シリンダ・カットの短絡表面には純粋な横波のBGS表面波が存在し、その電気機械結合係数K^2が53%と極めて大きいことを明らかにした。また自由表面の場合にはBGS波はXおよびYカットの近傍にのみ存在することを明らかにした。
2.KNbO_3結晶のZ-軸シリンダ・カットにおいてBGS波と光波の相互作用により生ずる屈折率変化の解析を行い、従来のレーリイ波を用いた場合よりも1桁以上大きな音響光学効果が得られることを明らかにした。
3.Y-XLiNbO_3基板に存在する擬似弾性表面波を、表面に横波速度の遅いZnO膜を付けることにより減衰のないSH型弾性表面波に変えることができ、そのK^2はZnO膜厚が0.1λ付近で21.4%と非常に大きいことを明らかにした。また実験によりこれを実証した。
4.ZnO/Y-XLiNbO_3構造のSH型表面波による屈折率変化の理論解析を行い、レーリイ波の場合より表面付近での屈折率変化が大きいことを示した。また光導波モードの解析をし、モード結合理論により100%TE-TMモード変換の結合長を求め、従来のレーリイ波を用いた場合に比べ結合長は約1/2.5にできることを明らかにした。
5.ZnO/Y-XLiNbO_3構造の音響光学波長可変フィルタを設計、製作した。現在SH型弾性表面波によるTE光からTM光へのモード変換動作を実験的に調べている。

報告書

(3件)
  • 1999 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1998 実績報告書
  • 研究成果

    (24件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (24件)

  • [文献書誌] K.Nakamura: "SH-mode SAW and its acousto-optic interaction in KNbO_3"Proc. 1998 IEEE Ultrasonics Symposium. 1305-1308 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.-B.Kang: "Growth of ZnO Thin Films on LiNbO3 Substrates by Electron Cyclotron Resonance-Assisted Molecular Beam Epitaxy"Jpn. J. Appl. Phys.. 37. 5220-5223 (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Nakamura: "Shear Horizontal-Mode Surface Acoustic Waves and Their Collinear Interaction with Light Waves"ACTA Physica Sinica. 8. S178-S184 (1999)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Nakamura: "Optical TE-TM Mode Conversion Using SH-SAW in ZnO/Y-XLiNbO_3"Proc. 1999 IEEE Ultrasonics Symposium. (1999)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Nakamura: "Electromechanical Coupling Factor of KNbO_3 Single Crystal"Proc. 1999 IEEE Ultrasonics Symposium. S178-S184 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Kitazume: "Collinear Interaction between the SH-SAW and Optical Waves in ZnO/Y-XLiNbO_3"Tech. rep. IEICE. 99US99-51. 53-58 (1999)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Nakamura, M. Oshiki, and H. Kitazume: "SH-mode SAW and its acousto-optic interaction in KNbOィイD23ィエD2"Proc. 1998 IEEE Ultrasonics Symposium. 1305-1308 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.-B. Kang, K. Yoshida, and K. Nakamura: "Growth of ZnO Thin Films on LiNbOィイD23ィエD2 Substrates by Electron Cyclotron Resonance-Assisted Molecular Beam Epitaxy"Jpn. J. Appl. Phys.. 37. 5220-5223 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Nakamura: "Shear Horizontal-Mode Surface Acoustic Waves and Their Collinear Interaction with Light Waves"ACTA Physica Sinica. 8. S178-S184 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Nakamura, H. Kitazume, and Y. Kawamura: "Optical TE-TM Mode Conversion Using SH-SAW in ZnO/Y-X LiNbOィイD23ィエD2"Proc. 1999 IEEE Ultrasonics symposium. (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N. Nakamura, Y. Kawamura and H. Kitazume: "Electromechanical Coupling Factor of KNbOィイD23ィエD2 Single Crystal"Proc. 1999 IEEE Ultrasonics symposium. S178-S184 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Kitaxume, K. Nakamura, and Y. Kawamura: "Collinear Interaction between the SH-SAW and Optical Waves in ZnO/Y-X LiNbOィイD23ィエD2"Tech. Rep. IEICE. 99 US 99-51. 53-58 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Nakamura: "Optical TE-TM Mode Conversion Using SH-SAW in ZnO/Y-X LiNbO_3"Proc.1999 IEEE Ultrasonics symposium. (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] K.Nakamura: "Electromechanical Coupling Factor of KNbO_3 Single Crystal"Proc.1999 IEEE Ultrasonics symposium. (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 北爪秀憲: "ZnO/Y-XLiNbO_3構造におけるSH型弾性表面波の理論解析"電子情報通信学会 基礎・環境ソサエティ大会. A-11-6. 139 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 北爪秀憲: "ZnO/Y-XLiNbO_3構造におけるSH型弾性表面波と光波のコリニア相互作用"電子情報通信学会技術報告. US99-51. (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] K.Nakamura: "SHEAR HORIZONTAL-MODE SURFACE ACOUSTIC WAVES AND THEIR COLLINEAR INTERACTION WITH LIGHT WAVES"ACTA PHYSICA SINICA. 8. S178-S184 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 北爪秀憲: "ZnO/Y-XLiNbO_3構造におけるSH-SAW 伝搬特性の測定"電子情報通信学会総合大会. (2000)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] K.Nakamura: "Sh-mode SAW and its acousto-optic interaction in KNbO_3" Proc.1998 IEEE Ultrasonics Symposium. (未発行). (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 押木光博: "KNbO_3結晶におけるBGS波の解析" 日本学術振興会弾性表面波素子第150委員会第56回研究会資料. 17-20 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 押木光博: "SH型弾性表面波を用いた音響光学可変フィルタの理論的検討" 日本音響学会講演論文集. 959-960 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 押木光博: "KNbO_3薄膜/基板構造におけるSH型弾性表面波の伝搬特性" 日本音響学会講演論文集. 957-958 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.Nakamura: "SH-mode surface acoustic waves and their collinear interaction with light waves" Proc.7th international workshop on modern acoustics-ultrasonics. (未発行). (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 中村僖良: "ECR-MBE法によるLiNbO_3回転Yカット基板上へのZnO圧電膜の成長" 日本音響学会講演論文集. (発表予定). (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書

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公開日: 1998-04-01   更新日: 2016-04-21  

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