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超高結合弾性表面波デバイスと高度情報通信システムへの応用

研究課題

研究課題/領域番号 10555111
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 電子デバイス・機器工学
研究機関東北工業大学 (1999)
東北大学 (1998)

研究代表者

山之内 和彦  東北工業大学, 工学部, 教授 (00006230)

研究分担者 小田川 裕之  東北大学, 電気通信研究所, 助手 (00250845)
高野 剛 (高野 剛浩)  東北工業大学, 工学部, 教授 (50085411)
目黒 敏靖  東北大学, 電気通信研究所, 助手 (50182150)
長 康雄  東北大学, 電気通信研究所, 助教授 (40179966)
研究期間 (年度) 1998 – 1999
研究課題ステータス 完了 (1999年度)
配分額 *注記
13,100千円 (直接経費: 13,100千円)
1999年度: 2,400千円 (直接経費: 2,400千円)
1998年度: 10,700千円 (直接経費: 10,700千円)
キーワード弾性表面波 / KNbO_3単結晶 / 零温度特性基板 / 弾性表面波コンボルバー / 単結晶育成 / 広帯域フィルタ / スペクトル拡散通信 / 非線形誘電率顕微鏡 / KNbO3単結晶 / 零温度係数基板 / 超高結合材料 / 弾性表面波コンボルバ / KNbO_3 / 圧電薄膜
研究概要

弾性表面波機能素子は高性能・超小型の電子・情報・通信の機能素子、特に移動体通信のキーデバイスとして盛んに研究が行われているが、更に21世紀の高度情報通信に対応するためには、その基礎である材料の研究開発と機能素子への応用、及びそれに適したシステムの開発が是非必要である。このような要求を満たす材料として、超高結合のKNbO_3単結晶基板、即ち、これまでレイリー波モードで、最も大きな電気機械結合係数をもつLiNbO_3基板の約10倍の値をもつKNbO_3基板を見いだしたことを元に、この基板の特性と応用について研究を本科学研究費の基に行い、以下のような研究成果を得た。
(1)大型KNbO_3単結晶の育成
高性能基板の実用化に当たっては、大型の単結晶基板を得ることが必要である。本研究では、60mmφの大型の白金ルツボを用い、融液面下で育成を行う方法を用いて、50mm角で長さ15mmと大型のKNbO_3単結晶の育成に成功した[1]。また、非線形誘電率顕微鏡[2]を用いて、分極軸について検討し、弾性表面波デバイスに応用可能な単結晶基板を得た。
(2)零温度特性基板の発見
回転Y板-X伝搬のKNbO_3基板の周波数温度特性を測定し、60度カット角付近の基板が室温付近で零温度特性[4]をもつことを見いだした。この成果は、今後の通信システムでの周波数有効利用と高速信号伝送のキーデバイスとして実用化が期待される。
(3)広帯域フィルタの研究
低損失の弾性表面波フィルタとして、弾性表面波共振器をラダー型に構成したフィルタが実用化されているが、KNbO_3基板を用いたフィルタを作製し[4]、従来の約3倍の17%の帯域幅をもつフィルタを得た。
(4)高効率エラスティックコンボルバーの研究
KNbO_3単結晶の非線形定数を測定し[3]、大きな値をもつことを見出とともに、弾性表面波エラスティックコンボルバを作製、これまで最も大きな効率であるLiNbO_3より約15dB大きな高効率のコンボルバ[5]を得た。これは、スペクトル拡散通信のキーデバイスとして今後の発展が期待される。
以上の研究成果を元に高密度・高速・高性能通信システム対応する、更にはシステムに変革をもたらすデバイスの研究開発[6]を進める。

報告書

(3件)
  • 1999 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1998 実績報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (18件)

  • [文献書誌] 山之内和彦: "KNbO_3単結晶基板とSAWデバイスへの応用"2000年記念電子情報通信学会先端技術シンポシウム. Vol.1. 133-138 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Cho, K.Matasuura, S.Kazuta, H.Odagawa and K.Yamanouchi: "Observation of Ultra-thin Single-Domain Layers Formed on LiTaO_3 and LiNbO_3 Surfaces Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscope with Submicron Resolution"Jpn.J.Appl.Phys.. Vol.38,No.5B. 3279-3282 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Cho, N.Oota, H.Odagawa and K.Yamanouchi: "Quantitative study on the nonlinear piezoelectric effect in KNbO_3 single crystals for a highly efficient surface acoustic wave elastic convlover"Journal of Applied Physics. Vol.87,No.7.1. 3457-3461 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Yamanouchi and H.Odagawa: "Super High Electromechanical Coupling and Zero Temperature Coefficient Surface Acoustic Wave Substrates in KNbO_3 Single Crystal"IEEE Trans.Ultrason.Ferroelect.Freq.Contr.. Vol.46,No.3. 700-705 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Yamanouchi, H.Odagawa, K.Morozumi and Y.Cho: "A Surface Acoustic Wave Elastic Convolver Using a KNbO_3 Single Crystal Substrate"Jpn.J.Appl.Phys.. Vol.37,No.5B. 2933-2935 (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 山之内和彦: "弾性表面波デバイス"電子情報通信学会論文誌. J82-C-I,No.12(招待論文). 689-696 (1999)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Kazuhiko Yamanouchi: "The Growth of KNbO_3 Single Crystal and Application for Mobile Communication"Year Memorial Advanced Symposium of IEICE. Vol.1. 133-138 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Cho, K.Matasuura, S.Kazuta, H.Odagawa and K.Yamanouchi: "Observation of Ultra-thin Single-Domain Layers Formed on LiTaO_3 and LiNbO_3 Surfaces Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscope with Submicron Resolution"Jpn.J.Appl.Phys.. Vol.38, No.5B. 3279-3282 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Cho, N.Oota, H.Odagawa and K.Yamanouchi: "Quantitative study on the nonlinear piezoelectric effect in KNbO_3 single crystals for a highly efficient surface acoustic wave elastic convlover"Journal of Applied Physics. Vol.87, No.7.1. 3457-3461 (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Yamanouchi and H.Odagawa: "Super High Electromechanical Coupling and Zero Temperature Coefficient Surface Acoustic Wave Substrates in KNbO_3 Single Crystal"IEEE Trans.Ultrason.Ferroelect.Freq.Contr.. Vol.46, No.3. 700-705 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Yamanouchi, H.Odagawa, K.Morozumi and Y.Cho: "A Surface Acoustic Wave Elastic Convolver Using a KNbO_3 Single Crystal Substrate"Jpn.J.Appl.Phys.. Vol.37, No.5B. 2933-2935 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Kazuhioko Yamnanouchi: "Acoustic Surface Devices (Invited Paper)"Transaction of IEIEE C-1. J82-C-1, No.12. 689-696 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 山之内 和彦: "ニオブ酸カリウム結晶のSAWデバイスへの応用"超音波TECHNO. Vol.11.No.4. 78-82 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] K,YAMANOUCHi 他4: "10 GHz-Range Surface Acoustic Wave Low Loss Filter Measured at Low Temperate"Jpn.J Appl.Phys.. Vol.38 Part 1 No5B. 3270-3274 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 山之内和彦 他4: "半導体/圧電基盤構造を用いたSAWデバイスの開発"電情通学技報. Vol99.No422. 15-22 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Kazuhiko Yamanouchi: "Piezoelectric KNbO_3 films for SAW device applications" Electronics Letters. 34・7. 702-703 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Kazuhiko Yamanouchi: "A Surface Acoustic Wave Elastic Convolver Using KNbO_3 Single Crystal Substrate" Jpn.J.Appl.Phys.37・5B. 2933-2935 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Kazuhiko Yamanouchi: "Super High Electromechanical Coupling and Zero Temperature Coefficient Surface Acoustic Wave Substrates in KNbO_3 Single Crystal" IEEE Trans.Ultrason.,Ferrcelec.,Freg.Contr.((to be published))

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書

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公開日: 1998-04-01   更新日: 2016-04-21  

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