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ディープサブミクロン配線のタイミング特性の研究

研究課題

研究課題/領域番号 10555118
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 電子デバイス・機器工学
研究機関東京大学

研究代表者

櫻井 貴康  東京大学, 国際・産学共同研究センター, 教授 (90282590)

研究分担者 平本 俊郎  東京大学, 大規模集積システム設計教育研究センター, 助教授 (20192718)
研究期間 (年度) 1998 – 2000
研究課題ステータス 完了 (2000年度)
配分額 *注記
12,600千円 (直接経費: 12,600千円)
2000年度: 3,100千円 (直接経費: 3,100千円)
1999年度: 5,600千円 (直接経費: 5,600千円)
1998年度: 3,900千円 (直接経費: 3,900千円)
キーワードLSI / 微細化 / 配線遅延 / リピータ / Simulated diffusion / Super Connect / simulated diffusion
研究概要

近年、LSI中のトランジスタの微細化に伴い配線も微細化され、配線の寄生抵抗・寄生容量による配線遅延の増大が問題となってきている。スケーリングによってゲート遅延は減少する一方、配線遅延が増加するため回路全体の高速化が難しくなり、配線遅延増加のための対策が必要となる。
配線における重要な技術の一つにリピータ挿入という配線長とともに2乗で増加する配線遅延を緩和するが方法ある。長い配線にリピータを挿入することにより分割し、配線遅延の増加を線形程度の増加に抑えることができる。本研究ではリピータ挿入のための遅延時間計算モデルを構築したのち、遅延時間最適化のための分岐を持つ配線へのリピータ挿入の方法についての検討を行った。低消費電力設計に向けたリピータ挿入の問題について、単一配線の場合での研究も行った。消費電力・遅延時間積(PD積)最適化設計のためのリピータ数、リピータサイズの最適値を示し、消費電力と遅延時間の関係についての考察を行った。
最適リピータ挿入法が明らかになるとリピータ挿入間隔はテクノロジーと配線長によって一義的に決まる。実際に利用される信号配線においてはこのリピータ挿入間隔分の長さを持ち、配線形状、間隔等はテクノロジーによって規定される。このことにより、テクノロジーごとに単一のケースの配線における挙動を調べればよいことがわかった。
近年、配線におけるインダクタンス成分の影響が声高に叫ばれているが、実際にリピータ挿入により分割された配線におけるインダクタンスが設計に影響を与えるかどうかは未だ調べられていない。本研究では実チップにおけるインダクタンスの影響を実測することにより設計の指導原理を得るべく研究中である。被測定チップ内に波形検出回路を設けた配線の試作回路を作り波形を読み取ることによりインダクタンスの影響を抽出する。
これらの要素をまとめ、スーパーコネクトの概念を提案した。スーパーコネクトとは従来のLSI技術とパッケージ技術の中間に位置する10um前後の製造・設計技術を指す。従来からのスケーリングの考えからでは増大しつつある配線の消費電力、遅延を抑えることができず、プロセス進化とともに巨大化する配線を提案している。この考え方により、配線の抵抗を軽減し、高速化、消費電力の影響を抑えることができ、配線層数を押さえることができるためチップコストの低減にもつながる。

報告書

(4件)
  • 2000 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1999 実績報告書
  • 1998 実績報告書
  • 研究成果

    (32件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (32件)

  • [文献書誌] Takayasu Sakurai: "Low Voltage, High-Speed VLSI Design"International Conference on Solid State Devices and Materials. 9. 3-30 (1999)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takayasu Sakurai: "LSIs in the Year 2010 and Beyond-From a Designer's Point of View-"JSAP international. 1. 15-21 (2001)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takayasu Sakurai: "Interconnection from Design Perspective"ADMETA 2000 : Asian Session. III-5. (2000)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 井高康人,桜井貴康: "ディープサブミクロン配線のリピータ挿入最適化"電子情報通信学会ソサイエティ大会. C-12-2. (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 井高康人,桜井貴康: "配線遅延近似精度のモーメントマッチング次数依存性"第59回応用物理学会学術講演会. 15p-P9. 781 (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 桜井貴康: "巨大配線でLSIの限界を打破"日径マイクロデバイス. 6. 72-75 (2000)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 桜井貴康: "システムLSI-アプリケーションと技術"サイエンスフォーラム. 1-427 (1999)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Sakurai: "Low Voltage, High-Speed VLSI Design"International Conference on Solid State Devices and Materials. 3-30 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takayasu Sakurai: "VLSIs in the Year 2010 and Beyond -From a Designer's Point of View-"JSAP international. 15-21 (2001)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takayasu Sakurai: "Interconnection from Design Perspective"ADMETA 2000 : Asian Session. III-5. 19-20 (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yasuhito Itaka and Takayasu Sakurai: "Optimum Repeater Insertion for Deep Submicron Interconnect"Society Conference of IEICE. C-12-2 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yasuhito Itaka and Takayasu Sakurai: "Dependency of Interconnect Delay Accuracy on the Order of Moment Matching"The Japan Society of Applied Physics, 5p-P9-/II pp. 781, The 59th Autumn Meeting. (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takayasu Sakurai: "Huge interconnection break down limit's of LSI"Nikkei Micro Device. No.180. 72-75 (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takayasu Sakurai: "System LSI - Application and Technique -"Science forum. 427 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takayasu Sakurai: "VLSIs in the Year 2010 and Beyond - From a Designer's Point of View-"JSAP international. 3. 15-21 (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Takayasu Sakurai: "Interconnection from Design Perspective"ADMETA 2000 : Asian Session. III-5. 15-16 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Kouichi Nose,: "VTH-Hopping Scheme for 82% Power Saving in Low - Voltage Processors"CICC 2001 (発表予定). (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 桜井貴康: "GSI配線の設計課題と解決策の模索"電子情報通信学会2000年ソサイエティ大会,PC-2-1. (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 桜井貴康: "スーパーコネクト技術とグローバルインテグレーション"応用物理学会分科会シリコンテクノロジー. 23. 70-75 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 桜井貴康: "巨大配線でLSIの限界を打破"日経マイクロデバイス6月1日号. 180. 72-75 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] K.Nose and T.Sakurai: "Micro IDDQ Test using Lorentz Force MOSFET's"Symp.on VLSI Circuits. June. 169-170 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] K.Kanda,K.Nose,H.Kawaguchi: "Design Impact of Positive Temperature Dependence of Drain Current in Sub ***"Custom Integrated Circuit Conference. May. 563-566 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] T.Sakurai: "Custom Circuit Techniques for High Performance And Low-Power ***"Custom Integrated Circuit Conference. May. 277-277 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] T.Sakurai: "Hardware is King,Software is Queen : Has Hardware Become a Second-Class ***?"IEEE International Solid-State Circuits Conference. Feb. 294-295 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] T.Sakurai: "Low Voltage,High-Speed VLSI Design"International Conference on Solid State Devices and Materials. Sep. 3-30 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Seongsoo Lee and T.Sakurai: "Run-time Power Control Scheme Using Software Feedback Loop for Low-Power ・・・・・"ASPDAC'00. A5.2. 381-386 (2000)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 桜井貴康: "システムLSI-アプリケーションと技術"サイエンスフォーラム. 427 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 井高 康仁,桜井 貴康: "配線遅延近似精度のモーメントマッチング次数依存性" 第59回応用物理学会学術講演会. 15p-P9. 781-781 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 井高 康仁,桜井 貴康: "ディープサブミクロン配線のリピータ挿入最適化" 電子情報通信学会ソサイエティ大会. C-12-2. 93-93 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.Nose and T.Sakurai: "Closed-Form Expressions for Short-Circuit Power of Short-Channel CMOS Gates and Its Scaling Characteristics" International Technical Conference on Circuit/Systems,Comouters and Communication. 1741-1744 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.Nose and T.Sakurai: "Integrated Current Sensing Device for Micro IDDQ Test" The Seventh Asian Test Symposium. 323-326 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] グェン・ドュック・ミン,能瀬 浩一,桜井 貴康: "低電源電圧depletion型CMOSの最低動作閾値電圧" 電子情報通信学会総合大会. (発表予定). (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書

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公開日: 1998-04-01   更新日: 2016-04-21  

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