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大気低温プラズマ重合装置の開発と高分子表面処理への応用

研究課題

研究課題/領域番号 10555324
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 高分子合成
研究機関東京工業大学

研究代表者

鯉沼 秀臣  東京工業大学, 応用セラミックス研究所, 教授 (70011187)

研究分担者 吉田 泰彦 (吉田 康彦)  東洋大学, 工学部, 教授 (80134500)
加藤 信子  株式会社ブリジストン, 研究開発本部・研究部・1部, ユニットリーダー(研究職)
研究期間 (年度) 1998 – 1999
研究課題ステータス 完了 (1999年度)
配分額 *注記
4,400千円 (直接経費: 4,400千円)
1999年度: 4,400千円 (直接経費: 4,400千円)
キーワード大気圧プラズマ / コンビナトリアルプラズマプロセス / プラズマ表面処理 / プラズマ重合 / プラズマC0_22固定 / プラズマCO_2固定
研究概要

1.大気圧低温シャワー型プラズマ発生装置の改良
高分子フィルキを両サイドに設置したローラーでアノードに接しながらステッピングモーターにより巻き取りつつプラズマ処理を行う過程で、フィルムの送りに同期してRF(13.56MH_z)パワー、反応ガスの種類や流量などのプラズマパラメーターをコンピューター制御するコンビナトリアル処理機構を開発した。また、アルミニウム製のカソードの形状を従来の円形から四角形としたことで、均一な処理が可能となった。電源についても、プラズマのさらなる低温化と反応増進・制御を目的として、RFパワーを短時間にオン・オラするパルス機能を導入した。パルスの効果でプラズマガス温度がさらに低くなることが確認され、熱の影響を受けやすい高分フィルムに対してもダメージを与えることなく、より安定にプラズマ処理を行えるようになった。プラズマはガス温度が80℃程度の超低温(ソフト)プラズマである。
2.大気圧低温プラズマを用いたプラズマ重合薄膜中へのC0_2固定
上記シャワー型装置で発生するソフトプラズマを大気中に放出させ、二酸化炭素と有機化合物とのプラズマ反応によるC0_2固定有機薄膜の作製を試みた。有機化合物はメタン、プタジエン、ベンゼン、キシレン、スチレンを用いた。ガスはHeガスにモノマーガスおよび、C0_2はガスを混合し装置に導入した。実験の結果、すべての有機モノマーから薄膜が形成された。また、C0_2ガスを添付した薄膜のには1330cm^<-1>付近に明確なカルボニル基の吸収を示し、C0_2はエステルまたはカルボン酸として取り込まれていることが確認できた。連続プラズマではCO_2の完全な分解が進行するのに大使、パルス化によりC=0が保存されたCO_2固定を実現した。

報告書

(3件)
  • 1999 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1998 実績報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (18件)

  • [文献書誌] M. Koide et al: "A Novel Low Temperature Plasma Generator with Alumina Coated Electrode for Open Air Material Processing"Thin Solid Films. 316. 65-67 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Koinuma: "『高気圧低温プラズマの発生と応用』"日本学術振興会プラズマ材料科学153委員会 第41回研究会資料. 316. 1-6 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Koinuma et al: "New application of soft rf plasma generated under atmospheric pressure"Proc. Japan-China Bilaterial Symp. Adv. Mat.. 99-103 (1999)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Nakamura et al: "Plasma polymerization of cobalt tetraphenylporphyrin and the functionalities of the thin films produced"Thin Solid Films. 345・1. 99-103 (1999)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H'NG Gail Teong et al: "Deposition of ZnO films by using an Atomospheric Pressure Cold plasma Generator"Proc. 9_<th> Int'l Conf. Production Englineering. (in press).

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Koinuma et al: "Combinatorial Solid State Material Science and technology"Sci. Tech. Adv. Mat. (in press).

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M. Koide: "A novel Low Temperature Plasma Generator with Alumina Coated Electrode for Open Air Material Processing"Thin Solid films. 316. 65-67 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Koinuma: "High pressure cold plasma processing and application"JSPS committee 153 (Plasma Materials Science), 41th research society. 1-6 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Koinuma: "New application of soft rf plasma generated under atmospheric pressure"Proc. Japan-Chaina Bilateral Synp. Adv. Mat. Eng.. 46-49 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Nakamura: "Plasma polymerization of cobalt tertraphenylporphyrin and the functionalities of the thin films produced"Thin Solid films. 345[1]. 99-103 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H'NG Gail Teong: "Deposition of ZnO films by using an Atmospheric Pressure Cold Plasma Generator"Proc. 9th Int'l Conf. Production Engineering. (in press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Koinuma: "Combinatorial Solid State Material Science and Technology"Sci. Tech. Adv. Mat.. (in press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H'NG Gail Teong: "Deposition of ZnO films by Using an Atmospheric Pressure Cold Plasma Generator"Proc.9^<th>ICPE.

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] H.Koinuma: "New application of soft rf plasma generated under atmospheric pressure"Proc.China-Japan Symp.Adv.Mat.Eng.. 46 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] H'NG Gail Teong: "Proc 9th ICPE"Deposition of ZnO fims by Using an Atmospheric Pressure Cold Plasma Generator.

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] H. Koinuma: "Proc. China-Japan Symp. Adv. Mat. Eng."New application of soft rf plasma generated under amospheric pressure. 46 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 鯉沼秀臣: "高気圧プラズマの発生と応用" プラズマ153委員会第41回研究会資料. 1. 1-6 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 鯉沼秀臣 小出美幸・平岩実: "大気圧ソフトRFプラズマの発生と新しい応用" 日中先端科学技術シンポジウムプロシーディングス. 1. 46-49 (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書

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公開日: 1999-04-01   更新日: 2016-04-21  

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