| 研究課題/領域番号 |
10650034
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
応用光学・量子光工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
波岡 武 東北大学, 名誉教授 (90015743)
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| 研究分担者 |
小池 雅人 日本原子力研究所, 関西研究所, 主任研究員
木下 博雄 姫路工業大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (50285334)
柳原 美広 東北大学, 科学計測研究所, 助教授 (40174552)
増井 新 住友重機械工業株式会社, 総合技術研究所, 研究員
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| 研究期間 (年度) |
1998 – 1999
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| 研究課題ステータス |
完了 (1999年度)
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| 配分額 *注記 |
3,400千円 (直接経費: 3,400千円)
1999年度: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
1998年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
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| キーワード | マイクロフォーカス / 2素子光学系 / シュバルツシルト光学系 / テレセントリック光学系 / 光線追跡 / 収差解析 / スポットダイアグラム / EUVL / シャバルツシルト光学系 |
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| 研究概要 |
マイクロフォーカス及び分光の両光学系に適用可能な2素子光学系のスポットダイアグラムと3次収差の解析的表式を確立した。これらの表式は、3次元の広がりを持つ光源と2枚の楕円面回折格子からなる光学系に対するもので、スポットの分散や各収差毎の収差曲線が解析的に算出できる。この解析的手法は、漸化式を用いることで、多素子光学系へ拡張できることを示した。また、鏡軸の傾きと鏡の曲率中心間距離の関数としてシュバルツシルト光学系の収差の解析的表式を導出した。この系については更に、空間分解能に及ぼす各種因子の影響を光線追跡法によって詳しく検討し、拡大率50倍、開口数0.25、物点と像点間距離が約1mの系について配置パラメーターの最適化を行った。その結果、従来の共心配置に比べ、曲率中心間距離を0.69mmとすることで、中心軸上で30mmの高い空間分解能が得られる可能性を示した。また、この結果は2素子光学系の理論で得られる結果とも良く一致した。光学素子の表面形状誤差・熱変形・実用的な分解能等を考慮した多素子光学系用光線追跡プログラムを開発し、実験データとの比較からその有効性を確認した。格子面中心での垂線の回りに回転させて波長走査する1〜2keV用不等間隔溝平面回折格子分光器の設計理論を開発した。非球面鏡3枚からなる軟X線リソグラフィ用テレセントリック光学系の設計と鏡軸合せ誤差が波面収差に及ぼす影響の検討を行った後、EUVL用露光装置の製作・組立・調整を行った。フィゾー干渉計で計測した露光波面の収差値から光線追跡プログラムにより鏡軸変位調整量を求め、それを繰返しフィードバックすることで3nm RMS以下の高精度の鏡軸合せが実現できた。放射光を使ってこの光学系の性能確認実験を行い、56nmの回折限界性能を得た。
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