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超LSI製造用ガスフローメーターステンレス細管内壁の超精密研磨

研究課題

研究課題/領域番号 10650110
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 機械工作・生産工学
研究機関金沢大学

研究代表者

黒部 利次  金沢大学, 工学部, 教授 (60019742)

研究期間 (年度) 1998 – 2000
研究課題ステータス 完了 (2000年度)
配分額 *注記
3,400千円 (直接経費: 3,400千円)
2000年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
1999年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
1998年度: 2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
キーワード極細管 / スラリー / 高速流動研磨 / 内壁面研磨 / 壁面粗さ / 差圧測定
研究概要

内径1mm以下の極細ステンレス鋼管の内壁面を精密に研磨するために,スラリー高速流動法による研磨法を創案し,本研磨法について実験,理論の両面から検討を行なった.製作した研磨装置は,長尺の極細管の内壁研磨に対応でき,かつ,管の左右端に対してスラリーを往復動させることが可能な構造となっている.
管径の異なるステンレス鋼管細管(内径0.28,0.4,0.6mm)の内壁面の研磨を試み,砥粒濃度,砥粒径,細管内径,スラリー注送圧力の影響などの検討を行い,本研磨法の有効性を明らかした.素管内壁の面粗さは,パス回数(スラリーの管内通過数)の増加とともに次第に低減し,その低減の度合は数パス回数の所で大きく,その後漸減状態となって飽和する.細粒よりも粗粒の方が面粗さの低減に効果がある.粗粒による研磨において粗さが飽和した時点で,スラリーを細粒のものに交換し,継続して研磨を行うこと(二段階研磨)によって,さらに粗さを低減できる.SEM観察の結果,素管内壁面に見られるテクスチャー(微細な凹凸模様)はパス回数とともに次第に消滅していく.
研磨メカニズムに関して解析的に検討を行った.スラリーの平均流速を測定してレイノルズ数を求めた結果,管内のスラリーの流れは乱流であると考えられるので,スラリーの流速分布に乱流における1/7乗則を用い,細管内壁面の突起高さを考慮して,粗さの低減過程をシミュレーションできることを示した.
研磨後の細管に一定流量の窒素ガスを流した時の差圧(大気圧と管内を流れるガス圧力との差)を測定した.差圧に及ぼす管径の違いの影響を補正することで,壁面の粗さと差圧との間に成立する普遍的な実験式が見いだされ,仕上げの程度を差圧測定によって評価できることが分かった.

報告書

(4件)
  • 2000 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1999 実績報告書
  • 1998 実績報告書
  • 研究成果

    (19件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (19件)

  • [文献書誌] Toshiji KUROBE: "Development of High Speed Slurry Flow Finishing of Inner Wall of Stainless Steel Capillary"Proc.Int.Symposium on Advances in Abrasive Technology. 179-182 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 黒部利次 他: "極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨-表面粗さ低減における二段階研磨の効果-"砥粒加工学会誌. 43. 32-37 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.KUROBE et al.: "High Speed Slurry Flow Finishing of Inner Wall of Stainless Steel Capillary-Effects of Slurry Injection Pressure on Polishing Performance-"Int.J.Japan Soc.Prec.Eng.. 33. 333-334 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 黒部利次 他: "スラリー高速流動法による細管内壁面の精密研磨"金沢大学自然科学研究科システム創成科学専攻紀要. 1. 72-79 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.KUROBE et al.: "Development of High Speed Slurry Flow Finishing of Inner Wall of Stainless Steel Capillary-Polishing and gas flow characteristics of various size of capillaries-"J.Int.Soc.Prec.Eng.& Nanotechnology. (In Press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Toshiji KUROBE et al.: "Development of High Speed Slurry Flow Finishing of Inner Wall of Stainless Steel Capillary"Proc.Int.Symposium on Advances in Abrasive Technology. 179-182 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Toshiji KUROBE et al.: "High Speed Slurry Flow Finishing Inner Wall of Stainless Steel Capillary -Effect of Two Step Polishing on Diminution of Surface Roughness-"J.Soc.Grinding Engineers. Vol.43, No.4. 32-37 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Toshiji KUROBE et al.: "High Speed Slurry Flow Finishing of Inner Wall of Stainless Steel Capillaryy -Effects of Slurry Injection Pressure on Polishing Performance-"Int.J.Japan Soc.Prec.Eng.. Vol.33, No.4. 333-334 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Toshiji KUROBE et al.: "High Speed Slurry Flow Finishing of Inner Wall of Stainless Steel Capillary"Memories of Division of Innovative Technology and Science, Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Toshiji KUROBE et al.: "Development of High Speed Slurry Flow Finishing of Inner Wall of Stainless Steel Capillary -Polishing and gas flow characteristics of various size of capillaries-"J.Int.Soc.Prec.Eng.& Nanotechnology. (In Press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Toshiji KUROBE: "Development of High Speed Slurry Flow Finishing of Inner Wall of Stainless Steel Capillary"Proc.Int.Symposium on Advances in Abrasive Technology. 179-182 (1998)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 黒部利次 他: "極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨-表面粗さ低減における二段階研磨の効果"砥粒加工学会誌. 43・4. 32-37 (1999)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] T.KUROBE et al.: "High Speed Slurry Flow Finishing of Inner Wall of Stainless Steel Capillary-Effects of Slurry Injection Pressure on Polishing Performance"Int.J.Japan Soc.Prec.Eng.. 33・4. 333-334 (1999)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 黒部利次 他: "スラリー高速流動法による細管内壁面の精密研磨"金沢大学自然科学研究科システム創成科学専攻紀要. 1. 72-79 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] T.KUROBE et al.: "Development of High Speed Slurry Flow Finishing of Inner Wall of Stainless Steel Capillary-Polishing and gas flow characteristics of various size of ca pillaries-"J.Int.Soc.Prec.Eng.& Nanotechnology. (In Press).

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Toshiji KUROBE: "Development of High Speed Slurry Flow Finishing of Inner Wall of Stainless Steel Capillary"Proc. Int. Symposium on Advances in Abrasive Technology. 179-182 (1998)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 黒部利次 他: "極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨 -表面粗さ低減における二段階研磨の効果-"砥粒加工学会誌. 43・4. 32-37 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] T. KUROBE et al.: "High Speed Slurry Flow Finishing of Inner Wall of Stainless Steel Capillary-Effects of Slurry Injection Pressure on Polishing Performance"Int. J. Japan Soc. Prec. Eng.. 33・4. (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Toshiji KUROBE: "Development of High Speed Slurry Flow Finishing of Inner Wall of Stainless Steel Capillary" Proc.Int.Symposium on Advances in Abrasive Technology. 179-182 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書

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公開日: 1998-04-01   更新日: 2016-04-21  

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