研究課題/領域番号 |
10650113
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研究種目 |
基盤研究(C)
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配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
機械工作・生産工学
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研究機関 | 名古屋工業大学 |
研究代表者 |
稲村 豊四郎 名古屋工業大学, 工学部, 教授 (60107539)
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研究分担者 |
武澤 伸浩 名古屋工業大学, 工学部, 助手 (50236452)
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研究期間 (年度) |
1998 – 1999
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研究課題ステータス |
完了 (1999年度)
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配分額 *注記 |
3,500千円 (直接経費: 3,500千円)
1999年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
1998年度: 2,600千円 (直接経費: 2,600千円)
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キーワード | 繰り込み群 / 分子動力学 / 脆性 / 切削 / シミュレーション / 欠陥 / 加工 / 延性 |
研究概要 |
本研究で開発した逆繰り込み変換MDを使って、切り込み1ミクロンでシリコン単結晶を切削する時の工具逃げ面下部をズーミングシミュレーションした。その結果、切削中、この部分に微き裂が生成される事が判明した。更に詳細に調べた結果、微き裂が生成される前に、この部分でミクロのせん断すべりが起きると、これによってこの部分に筋状のアモルファス領域が出来、其の後、ここをAE波が通過する時に、波に伴う動的引張り応力により、このアモルファス領域が引きちぎられて、微き裂が生成される事が分かった。また、一旦できた微き裂はそのまま残存する事が判明した。出来た微き裂の上は、AE波が最早通過できない為である。しかしこのように微き裂が出来ても、現実とは違って、それが進展してクラックにはならない。なぜなら逆RMDはRMDの結果を基にしており、もとになるRMDでクラックが発生しないからである。ここで改めて2つの可能性が浮かび上がった。1つは、出来た微き裂に雰囲気分子が侵入し、RMDにおけるクラスター間相互作用が変化する可能性である。事実、これにより相互作用が弱くなるとしてRMDを行うと、脆性モードになる事は、確認されている。2つめは、微き裂の生成自身によって、雰囲気分子が無くてもクラスター間相互作用が変化する可能性である。この場合にも、相互作用が弱くなる形に変化すれば、前述のようにクラックが進展する。目下、第2の可能性について理論的検討を行っており、これについては、申請中の課題で研究を進める予定である。
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