| 研究概要 |
超精密旋盤で金属を切削して球面や非球面を加工し,レンズの金型や特殊なミラーを製作することができるようになってきている.このような加工面全体を計測するために,機上において形状測定が可能な干渉計を開発することと,高精度な解析法を開発することが本研究の目的である.以下に研究実績を報告する.
1.シアリング干渉のパラメータであるシア量の変化による積分誤差を明らかにした.さらに積分誤差によって生じる系統的な誤差を取り除いて高精度に形状誤差を解析する理論を構築した.これらの成果を踏まえて,得られた干渉縞からより精密に形状誤差を測定できる解析プログラムを構築した.
2.光学素子およびそれらの配置の誤差などの系統的な誤差を取り除く方法とそのプログラムを構築した.
3.加工によって生じやすい同心円状の形状誤差を持つ測定対象をシアリング干渉計で測定した場合に生じる誤差について解析した.
4.ラテラルシアリング干渉計の設計と製作を行い,その干渉計によって旋盤上で形状計測を行った.
5.超精密旋盤の刃物台を取り除かずに測定できるような小型ラテラルシアリング干渉計の設計と製作を行った.
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