| 研究課題/領域番号 |
10680207
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
科学教育
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| 研究機関 | 鈴鹿工業高等専門学校 |
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研究代表者 |
船戸 康幸 鈴鹿工業高等専門学校, 電子情報工学科, 教授 (10005358)
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| 研究分担者 |
平野 武範 鈴鹿工業高等専門学校, 電子情報工学科, 講師 (80249804)
長嶋 孝好 鈴鹿工業高等専門学校, 電子情報工学科, 助教授 (30237515)
桑原 裕史 鈴鹿工業高等専門学校, 電子情報工学科, 教授 (30043326)
川口 元一 三重大学, 教育学部, 教授 (40023171)
伊藤 明 鈴鹿工業高等専門学校, 電子情報工学科, 講師 (40259883)
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| 研究期間 (年度) |
1998 – 1999
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| 研究課題ステータス |
完了 (1999年度)
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| 配分額 *注記 |
1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
1999年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
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| キーワード | 電磁気学 / 工学実験・卒業研究 / 電磁場計測 / グロー放電プラズマ / 実践教育 / 特別研究 / 国際学会 / 国際協力 / 電離気体現象 / 靜伝プローブ測定 / TiNコーテイング |
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| 研究概要 |
工業高等専門学校の専門基礎科目「電磁気学」「電気回路」などの実践的教授,工学実験、卒業研究さらに専攻科における特別研究の新しい教育、研究システムの構築とその実施を目的とした実験装置の開発及びその実験を遂行した。そのシステムとして、グロー放電プラズマを用いた「電磁場総合実験装置」を設計し、既設装置との連結、計算機システムとの組み合わせにより、良好な教育効果、研究成果を得た。装置の構成はプラズマの生成、測定部およびデータ処理のための計算機システムより成る。プラズマは直流と高周波電力の併用により、平行平板電極と内部誘導コイルによって生成する。グロー放電プラズマの電圧・電流特性の測定を実施し、「電磁気学」「電気回路」に関する実践的理解の知見を得た。プラズマの空間構造を知るために、プラズマパラメータを静電プローグにより測定した。特に電子密度、電子温度、空間電位の空間分布測定を行い、ガス圧力、放電電流、電極条件、等との相関を追求した。これより、電離気体現象の体験的理解を求め、実践教育の効果が得られた。高周波電力とプラズマ柱のエネルギー整合条件の改善、結合回路における損失低減、プラズマインピーダンスの等価回路的扱い、高密度プラズマ生成条件を調べた。直流と高周波合成プラズマによるスパッタ実験を卒業研究課題として実施した。酸素との結合が顕著なボロン(硼素)のスパッタリング特性の測定、ターゲットに六ホウ化ランタンLaB6を用いたスパッタ放電の特性の解明。以上の成果をアメリカ物理学会発表、教育効果について中国科学技術大学、清華大学において講演、議論し、評価を得た。
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