| 研究課題/領域番号 |
10680456
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
プラズマ理工学
|
|---|
| 研究機関 | 静岡大学 |
|---|
研究代表者 |
三重野 哲 静岡大学, 理学部・物理学科, 教授 (50173993)
|
|---|
| 研究分担者 |
櫻井 厚 静岡大学, 理学部, 教授 (70021938)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
1998 – 1999
|
| 研究課題ステータス |
完了 (1999年度)
|
| 配分額 *注記 |
2,500千円 (直接経費: 2,500千円)
1999年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
1998年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
|
|---|
| キーワード | フラーレン誘導体 / 反応性プラズマ / RF放電 / フッ素化フラーレン / プラズマ プロセッシング / 光電素子 / 酸素吸臓 / 太陽電池 / プラズマプロセッシング / 光導電素子 / 酸素吸蔵 / フラーレン薄膜 / 水素化フラーレン / フッ化炭素ガス / フラーレンポリマー |
|---|
| 研究概要 |
1 小型ガラス容器を用いた平衡平板型RFプラズマ反応装置(13.56MHz、500W)を用いて、フラーレン膜をプラズマ反応させることができた。
2 CF_4ガスプラズマによりC_<60>膜をフッ素化した。適切な圧力と入力パワー及び基板の冷却により、C_<60>F_<60>を含むフッ素化フラーレンを合成できた。C_<60>F_<60>の合成はこれまで例が無い。このフッ素化物は、C_<60>F_<30>-C_<60>F_<46>辺りに強いピークを持つ。また、プラズマダメージによる膜の劣化が起きうるので、合成条件の調節が必要。
3 酸素ガスプラズマによりC_<60>膜を酸化することができた。酸素は分子間空隙に良くトラップし、弱いイオン結合性を示す。
4 フラーレン膜を酸素プラズマ処理し、電極ではさんで光導電作用を測定すると、3000Lux程度の光で、導電性が1000倍程度上昇することを見い出した。酸素吸着状態は安定であり、光電スイッチへの応用が期待できる。
5 シリコンウエハー上に酸素吸蔵フラーレン膜を合成し、その光作用を調べると、光発電作用(太陽電池)が有ることを見い出した。量子効率は1%程度である。透明電極の利用やフラーレン膜厚の制御により、量子効率の増加や電力効率の上昇を試みている。
6 C_<60>膜のレーザー蒸発法によりC_<60>重合体(m[C_<60-2n>]、m=2-6)の合成に成功した。さらに重合の進んだ膜の合成を検討している。
|
