| 研究概要 |
本研究は従来の干渉計では計測することが困難であった粗面物体である加工物やマイクロマシンなどの表面形状の評価のため,斜入射干渉計による非接触でかつ高速にナノメートルオーダの高精度3次元形状計測法を確立した.ここでは測定物体を斜めから照射することによって粗面であってもシーン現象により正反射を高めることができるため良好な干渉縞を得ることができた.
本年度は前年度のマクロな領域での縞解析法の確立と脆性材料のポアソン比解析法の確立という成果を踏まえ,ミクロな領域の計測を可能とするために斜入射干渉顕微鏡の確立に重点を置いた.まず,斜入射干渉顕微鏡を光学設計および機械設計し試作した.この際,将来的にインコヒーレントな光源の利用も視野に入れて,参照光と測定光の光路差を等しくできる新たな斜入射方式とした.この中で,粗面形状計測に顕著に見られる計測時に回折の影響による実際形状から誤差の解析およびこの除去法について検討し,斜入射干渉における回折の影響を理論解析した.これを踏まえて実際に実験において測定サンプルへの入射角やフォーカスなどのパラメータを実験的に検討した.さらに,このシステムの上でマイクロ領域の脆性材料のポアソン比計測をも可能とした.
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