| 研究課題/領域番号 |
10875140
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| 研究種目 |
萌芽的研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
材料加工・処理
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)
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| 研究期間 (年度) |
1998
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| 研究課題ステータス |
完了 (1998年度)
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| 配分額 *注記 |
2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
1998年度: 2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
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| キーワード | プラズマ環境 / SPM / AFM / プラズマプロセス |
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| 研究概要 |
本研究では、世界に先駆け、
(1) プラズマ環境中で作動する原子間力顕微鏡(AFM)の開発。
(2) 上記装置を用い、シリコン(Si)およびSrTiO_3のプラズマ・エッチング/ポリッシングナノスケールその観察および制御を通じて、固体-プラズマ界面構造の原子オーダー制御への応用。を試み、従来,成しえなかった"固体-プラズマ界面構造の原子オーダー計測/制御"を目指したものである。
今年度の研究経過は以下のようである。
(A) プラズマ環境中で作動する原子間力顕微鏡(AFM)の開発
世界初のプラズマ環境中で作動する原子間力顕微鏡(プラズマAFM)の開発を試みた。主な要素技術のうち、
(1)AFMプローブ部。(2)プラズマ発生部。の完成はみたものの、(3)AFM本体のアセンブリーは今年度中には終了しなかった。
(B) プラズマエッチング/ポリシングのナノスケールその観察/制御
装置開発は完成には至らなかったため、ex-situでプラズマスパッタリングで作製したcBN膜のAFMによる微細組織蜆察、微小領域での力学測定を行った。測定法の標準化に計る提案を行った。
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