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高品質シリサイド半導体のエピタキシャル成長とバンドエンジニアリングの検証

研究課題

研究課題/領域番号 10J00775
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
研究分野 応用物性・結晶工学
研究機関大阪大学

研究代表者

野田 慶一  大阪大学, 大学院・工学研究科, 特別研究員(DC1)

研究期間 (年度) 2010 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
2012年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
2011年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
2010年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
キーワード鉄シリサイド / ひずみバンドエンジニアリング / シリコン系発光材料 / バンドエンジニアリング
研究概要

半導体ベータ鉄シリサイド(β-FeSi_2)はバンドギャップ付近の状態密度がFeの3d電子に支配されているため、ひずみとバンド構造に強い相関が存在するという特徴を有している。これまでに、第一原理計算により、ひずみがないバルク単結晶は間接遷移型半導体であるのに対し、Si基板上β-FeSi_2薄膜は、Si基板とβ-FeSi_2のヘテロ界面で生じるひずみによりバンド構造が変化し、直接遷移化する可能性が示唆されている。しかし、実験的にはSi基板上β-FeSi_2の遷移型は明らかにされておらず、ひずみによるバンド構造変化も実証されていない。本研究は、β-FeSi_2におけるひずみによるバンド構造制御を検証することを目的とし、実験および理論的視点からそのひずみ制御の実現可能性について検討したものである。
本年度は、昨年度から引き続き、β-FeSi_2のバンド構造変化に影響を及ぼす要素の検討を第一原理計算により行った。昨年度までに実験的に明らかになった格子変形の値を用いて、実際の試料に即した条件で第一原理計算を行い、β-FeSi_2のバンド構造に対するひずみの効果の更なる検証を行った。その結果、a軸とb軸の伸長が直接遷移エネルギーの減少に寄与すること、また、Fe-Fe原子間距離の伸長が直接遷移エネルギーの減少に寄与する可能性を明らかにした。
また、Si基板上β-FeSi_2エピタキシャル膜に対して第三元素添加によりひずみ制御を行うことを目指した。AlとGeについて、β-FeSi_2エピタキシャル膜へ添加可能なこと、また、添加により格子定数が増加することを実証でき、今後のβ-FeSi_2エピタキシャル膜ひずみ制御技術の確立に向けて重要な指針が得られた。
以上の実験結果は、β-FeSi_2エピタキシャル膜のバンド構造を任意に変化させることが可能である事実を示しており、さらなる研究によりSi基板上発光源実現が可能になると考えられる。

報告書

(3件)
  • 2012 実績報告書
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書
  • 研究成果

    (41件)

すべて 2013 2012 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 (12件) (うち査読あり 8件) 学会発表 (26件) 備考 (3件)

  • [雑誌論文] Growth condition dependence of Ge-doped β-FeSi2 epitaxial film by molecular beam epitaxy2013

    • 著者名/発表者名
      K. Noda
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: (印刷中) ページ: 376-380

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2012.11.010

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of residual impurities on transport properties of β-FeSi2 epitaxial films grown by molecular beam epitaxy2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Terai, K. Noda
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 112 号: 1 ページ: 0137021-5

    • DOI

      10.1063/1.4731246

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth condition dependence of direct bandgap in β-FeSi_2 epitaxial films grown by molecular beam epitaxy2012

    • 著者名/発表者名
      K.Noda
    • 雑誌名

      Physics Procedia

      巻: 23 ページ: 5-8

    • DOI

      10.1016/j.phpro.2012.01.002

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Band gap modifications of β-FeSi_2 epitaxial films by lattice deformations2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Terai, K.Noda
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 519 号: 24 ページ: 8468-8472

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2011.05.021

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth condition dependence of direct bandgap in β-FeSi2 epitaxial films grown by molecular beam epitaxy2011

    • 著者名/発表者名
      K.Noda
    • 雑誌名

      Proceeding of Asian School-Conference on Physics and Technology of Nanostructured Materials (ASCO-NANOMAT 2011)

      ページ: 117-118

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [雑誌論文] Photoreflectance and time-resolved photoluminescence studies in ion-beam synthesized β-FeSi_22011

    • 著者名/発表者名
      Y.Terai, K.Noda
    • 雑誌名

      Proceeding of Asian School-Conference on Physics and Technology of Nanostructured Materials (ASCO-NANOMAT 2011)

      ページ: 115-116

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [雑誌論文] nvestigation of direct bandgap energies of β-FeSi_2 epitaxial films by photoreflectance2011

    • 著者名/発表者名
      K.Noda
    • 雑誌名

      Proceeding of ECO-MATES 2011

      巻: 2 ページ: 87-88

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [雑誌論文] Temperature dependence of direct transition energies in β-FeSi_2 epitaxial films on Si(111) substrate2011

    • 著者名/発表者名
      K.Noda
    • 雑誌名

      Physics Procedia

      巻: 11 ページ: 181-184

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Photoluminescence and photoreflectance studies in Si/β-FeSi_2/Si(001) double heterostructure2011

    • 著者名/発表者名
      K.Yoneda, K.Noda
    • 雑誌名

      Physics Procedia

      巻: 11 ページ: 185-188

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Photoluminescence properties of Er-doped β-FeSi_2 grown by ion implantation2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Terai, K.Noda
    • 雑誌名

      Physcia E

      巻: 42 ページ: 2846-2848

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Investigation of band gap structure in β-FeSi_2 epitaxial films on Si substrate2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Terai, K.Noda
    • 雑誌名

      Proceeding in The Forum on the Science and Technology of Silicon Materials 2010

      ページ: 321-325

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [雑誌論文] Band gap modifications of β-FeSi_2 epitaxial films by lattice deformations

    • 著者名/発表者名
      Y.Terai, K.Noda
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 印刷中

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Hall effect and resistivity of n-type β-FeSi_2 epitaxial film grown by molecular beam epitaxy2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Terai and K. Noda
    • 学会等名
      The 17th International conference on Molecular Beam Epitaxy (MBE2013)
    • 発表場所
      Nara Prefectural New Public Hall, Nara, Japan
    • 年月日
      2012-09-28
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Growth condition dependence of Ge-dopedβ-FeSi_2 epitaxial film by molecular beam epitaxy2012

    • 著者名/発表者名
      K. Noda
    • 学会等名
      The 17th International conference on Molecular Beam Epitaxy (MBE2012)
    • 発表場所
      Nara Prefectural New Public Hall, Nara, Japan
    • 年月日
      2012-09-24
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Si(III)基板上へのGe添加β-FeSi_2エピタキシシャル膜の作製2012

    • 著者名/発表者名
      野田慶一
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス、松山市
    • 年月日
      2012-09-13
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] β-FeSi_2/Si DH構造における直接遷移エネルギーとヘテロ界面との相関2012

    • 著者名/発表者名
      寺井慶和、野田慶一
    • 学会等名
      第74回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス、松山市
    • 年月日
      2012-09-13
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 第一原理計算を用いたβ-FeSi_2 直接遷移エネルギー減少の検証2012

    • 著者名/発表者名
      野田慶一
    • 学会等名
      第14回シリサイド系半導体・夏の学校
    • 発表場所
      マホロバマインズ三浦、神奈川県三浦市
    • 年月日
      2012-07-29
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Growth condition dependence of Ge doping into β-FeSi_2 epitaxial film by MBE method2012

    • 著者名/発表者名
      K. Noda
    • 学会等名
      31st Electronic Materials Symposium (EMS-31)
    • 発表場所
      ラフォーレ修善寺、伊豆市
    • 年月日
      2012-07-11
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 第一原理計算によるβ-FeSi_2直接遷移端変化の検証2012

    • 著者名/発表者名
      野田慶一
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学、東京都新宿区
    • 年月日
      2012-03-16
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 低残留キャリア濃度β-FeSi_2エピタキシャル膜における磁気抵抗の温度依存性2012

    • 著者名/発表者名
      寺井慶和、野田慶一
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学、東京都新宿区
    • 年月日
      2012-03-16
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Investigation of direct bandgap energies of β-FeSi_2 epitaxial films by photoreflectance2011

    • 著者名/発表者名
      K.Noda
    • 学会等名
      International Symposium on Materials Science and Innovation for Sustainable Society
    • 発表場所
      Hotel Hankyu Expo-park, Japan
    • 年月日
      2011-11-28
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Dependence of direct bandgap energies on growth condition in β-FeSi_2 epitaxial films on Si(001) substrate2011

    • 著者名/発表者名
      K.Noda
    • 学会等名
      7^<th> Handai Nanoscience and Nanotechnology International Symposium
    • 発表場所
      Osaka University, Japan
    • 年月日
      2011-11-11
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] β-FeSi_2エピタキシャル膜における直接遷移エネルギーの成長条件依存性2011

    • 著者名/発表者名
      野田慶一
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学、山形市
    • 年月日
      2011-09-01
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 低残留キャリア濃度β-FeSi_2エピタキシャル膜における電気特性の温度依存性2011

    • 著者名/発表者名
      寺井慶和、野田慶一
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学、山形市
    • 年月日
      2011-09-01
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] IBS β-FeSi_2における1.5μm発光の寿命評価2011

    • 著者名/発表者名
      寺井慶和、野田慶一
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学、山形市
    • 年月日
      2011-09-01
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Si(001)基板上β-FeSi_2エピタキシャル膜におけるPRスペクトルの成長条件依存性2011

    • 著者名/発表者名
      野田慶一
    • 学会等名
      第13回シリサイド系半導体・夏の学校
    • 発表場所
      関西セミナーハウス、京都市
    • 年月日
      2011-07-20
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Growth condition dependence of direct bandgap energies in β-FeSi_2 epitaxial films grown by molecular beam epitaxy2011

    • 著者名/発表者名
      K.Noda
    • 学会等名
      30th Electronic Materials Symposium
    • 発表場所
      ラフォーレ琵琶湖、草津市
    • 年月日
      2011-07-04
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Si(001)基板上β-FeSi_2エピタキシャル膜におけるPRスペクトルの成長条件依存性2011

    • 著者名/発表者名
      野田慶一
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学、厚木市
    • 年月日
      2011-03-26
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] β-FeSi_2における光励起キャリアの緩和過程の検証2011

    • 著者名/発表者名
      寺井慶和、野田慶一
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学、厚木市
    • 年月日
      2011-03-26
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] β-FeSi_2薄膜における残留キャリア濃度の熱処理温度依存性2011

    • 著者名/発表者名
      米田圭佑、野田慶一
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学、厚木市
    • 年月日
      2011-03-26
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Growth condition dependence of direct bandgap in β-FeSi_2 epitaxial films grown by molecular beam epitaxy2011

    • 著者名/発表者名
      K.Noda
    • 学会等名
      Asian School-Conference on Physics and Technology of Nanostructured Materials (ASCO-NANOMAT 2011)
    • 発表場所
      Vladivostok, Russia
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Photoreflectance and time-resolved photoluminescence studies in ion-beam synthesized β-FeSi_22011

    • 著者名/発表者名
      Y.Terai, K.Noda
    • 学会等名
      Asian School-Conference on Physics and Technology of Nanostructured Materials (ASCO-NANOMAT 2011)
    • 発表場所
      Vladivostok, Russia
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] β-FeSi_2エピタキシャル膜における光伝導スペクトルの評価2010

    • 著者名/発表者名
      寺井慶和、野田慶一
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学、長崎市
    • 年月日
      2010-09-17
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] SOI基板上に成長したβ-FeSi_2エピタキシャル膜における残留キャリア濃度の評価2010

    • 著者名/発表者名
      米田圭佑、野田慶一
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学、長崎市
    • 年月日
      2010-09-17
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Temperature dependence of direct transition energies in β-FeSi_2 epitaxial films on Si(111) substrate2010

    • 著者名/発表者名
      K.Noda
    • 学会等名
      Asia-Pacific Conference on Semiconducting Silicides and Related Materials Science and Technology Towards Sustainable Optoelectronics (APAC-Silicide2010)
    • 発表場所
      Tsukuba, Ibaraki, Japan
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Band-gap Modifications of β-FeSi_2 Epitaxial Films by Lattice Deformations2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Terai, K.Noda
    • 学会等名
      Asia-Pacific Conference on Semiconducting Silicides and Related Materials Science and Technology Towards Sustainable Optoelectronics (APAC-Silicide2010)
    • 発表場所
      Tsukuba, Ibaraki, Japan
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Photoluminescence and photoreflectance studies in Si/β-FeSi_2/Si(001) double heterostructure2010

    • 著者名/発表者名
      K.Yoneda, K.Noda
    • 学会等名
      Asia-Pacific Conference on Semiconducting Silicides and Related Materials Science and Technology Towards Sustainable Optoelectronics (APAC-Silicide2010)
    • 発表場所
      Tsukuba, Ibaraki, Japan
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Investigation of band gap structure in β-FeSi_2 epitaxial films on Si substrate2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Terai, K.Noda
    • 学会等名
      The Forum on the Science and Technology of Silicon Materials 2010
    • 発表場所
      Okayama, Japan
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.mat.eng.osaka-u.ac.jp/mseo/index.html

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.mat.eng.osaka-u.ac.jp/mse6/index.html

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.mat.eng.osaka-u.ac.jp/mse6/index.html

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書

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公開日: 2010-12-03   更新日: 2024-03-26  

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