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光照射走査トンネル顕微鏡による半導体ナノ構造材料の特性評価

研究課題

研究課題/領域番号 10J08541
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関東京大学

研究代表者

勝井 秀一  東京大学, 生産技術研究所, 特別研究員(PD)

研究期間 (年度) 2010 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
1,400千円 (直接経費: 1,400千円)
2011年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
2010年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
キーワード走査トンネル顕微鏡 / 半導体ナノ構造 / 光吸収特性評価 / 高空間分解能測定 / ナノ材料半導体 / 高空間分解能観測 / 二波長光照射 / フォトキャリア
研究概要

本研究では,高性能デバイスに向けて研究が盛んに行われている半導体ナノ構造を局所的に評価して,更なる高性能化へのフィードバックをすることを目的として走査トンネル顕微鏡(STM)を用いており,光照射下でのSTM観測により光吸収特性を局所的に評価できるようになります.本研究ではGaAs基板上に成長したInAs細線構造の試料を用いておりますが,観測する光誘起電流(PIC)信号にGaAsの影響が現れないようにするには,我々が提案した二波長光照射STM観測を行う必要があります.
STMによるスピン観測に関して,磁性体のNi探針を用いて円偏光状態の光照射下でSTM観測を行いました.右円偏光・左円偏光状態の励起光の照射によりそれぞれ生成されるスピンの向きが変化し,探針の磁化方向によって流れるSTM電流に違いが生じることが期待されますが,測定では明らかな違いは観測されませんでした.測定装置においては光を斜めからしか照射できないことが一因でSTM電流の変化が弱くなるものと考えられます.
フォトンエネルギー依存性からPIC信号スペクトルを観測しますとステップ状の変化が得られ,本手法により1つのナノ構造を選択的に観測して,InAsが量子細線としてではなく量子井戸として働いていることを明らかにできました.この研究内容については,学術論文Japanese Journal of Applied Physicsにて掲載していただきました.また,試料内で形成された井戸の厚さが異なる量子井戸のPIC信号スペクトルを観測しました,ここでは,3.2nm程度の厚さの井戸のPIC信号スペクトルも観測できていると考えております.(但し,STM像は一定電流像であり,直接の形状像ではございません.)最低でも厚さが1nm以上異なるInAs準量子井戸を観測し,PIC信号スペクトルにおいてステップの生じるエネルギー位置がそれぞれ異なることを観測しました.このステップでのエネルギー位置が井戸内の量子準位に対応していると考えております.

報告書

(2件)
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書
  • 研究成果

    (12件)

すべて 2012 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (9件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Photoabsorption Properties in InAs Wire Structures Investigated by Dual Light Illumination Method in Scanning Tunneling Microscopy2011

    • 著者名/発表者名
      Shuichi Katsui, Takuji Takahashi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 50 号: 8S3 ページ: 08LB08-08LB08

    • DOI

      10.1143/jjap.50.08lb08

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 二波長光照射STMにて観測したInAs準量子井戸の光誘起電流信号スペクトルの井戸幅依存性2012

    • 著者名/発表者名
      勝井秀一
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都)
    • 年月日
      2012-03-15
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Photoinduced Current Spectra on InAs Wires Observed by Dual Light Illumination Method in STM2011

    • 著者名/発表者名
      勝井秀一
    • 学会等名
      International Colloquium on Scanning Probe Microscopy
    • 発表場所
      洞爺湖(北海道)
    • 年月日
      2011-12-20
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Investigation of Photoabsorption Properties of Individual InAs Wire Structures through Scanning Tunneling Microscopy2011

    • 著者名/発表者名
      勝井秀一
    • 学会等名
      International Workshop on Quantum Nanostructures and Nanoelectronics 2011
    • 発表場所
      東京大学生産技術研究所(東京都)
    • 年月日
      2011-10-03
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Photoabsorption Properties in InAs Wires Characterized by Dual Light Illumination Method in Scanning Tunneling Microscopy2011

    • 著者名/発表者名
      勝井秀一
    • 学会等名
      Seeing at the Nanoscale
    • 発表場所
      UCSB (USA)
    • 年月日
      2011-09-20
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] InAs細線上での二波長光照射STMによる光誘起電流信号スペクトルに関する検討2011

    • 著者名/発表者名
      勝井秀一
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      山形大学(山形県)
    • 年月日
      2011-08-30
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Photon Energy Dependence of Photoinduced Current Signal Studied by Dual Light Illumination Method in STM2010

    • 著者名/発表者名
      勝井秀一
    • 学会等名
      17th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy
    • 発表場所
      熱川ハイツ(静岡県)
    • 年月日
      2010-12-10
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 光照射STMによるInAs細線の光吸収偏光依存性の観測2010

    • 著者名/発表者名
      勝井秀一
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      長崎大学(長崎県)
    • 年月日
      2010-09-16
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Dependence of photoabsorption property on incident light polarization investigated by STM on InAs wire structures2010

    • 著者名/発表者名
      勝井秀一
    • 学会等名
      18th International Vacuum Congress
    • 発表場所
      Beijing International Convention Center(北京・中国)
    • 年月日
      2010-08-24
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Photoinduced Current Signal Excited by Linearly Polarized Light Studied by STM on InAs Wire Structures2010

    • 著者名/発表者名
      勝井秀一
    • 学会等名
      The 12th International Scanning Probe Microscopy Conference
    • 発表場所
      京王プラザホテル札幌(北海道)
    • 年月日
      2010-05-10
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.spm.iis.u-tokyo.ac.jp/index-j.html

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.spm.iis.u-tokyo.ac.jp/index-j.html

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書

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公開日: 2010-12-03   更新日: 2024-03-26  

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