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半導体結晶中における金属相析出粒子の粗大化段階の研究

研究課題

研究課題/領域番号 11123210
研究種目

特定領域研究(A)

配分区分補助金
研究機関北陸先端科学技術大学院大学

研究代表者

大塚 信雄  北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 教授 (80111649)

研究期間 (年度) 1999
研究課題ステータス 完了 (1999年度)
配分額 *注記
800千円 (直接経費: 800千円)
1999年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
キーワードLT-GaAs / 過剰As点欠陥 / 化学量論的組成 / carrier濃度 / 励起子
研究概要

この特定研究では、超高速光スイッチヘのMBE低温成長層の応用を目指して、低温成長でフラックスを極力制御して化学量論的組成に近いLT-GaAs層を成長して、その電気的特性および光学的特性を調べた。SiあるいはBe不純物を注入したLT-GaAs層の電気的特性の測定から以下のような結果と、その意味するところが得られた。
(1)同一のフラックス条件下で、donor不純物であるSiあるいはacceptor不純物であるBeを注入すると、注入不純物の増加につれてtrapサイトとなる過剰As点欠陥の濃度が増加する。この結果は、成長層が化学量論的組成に近く、その結果伝導電子や正孔が存在しえるために、それらを過剰As点欠陥で捕獲し、Fermi準位をmidgapに近付けることにより系の自由エネルギーを低下させようとする基本的な傾向によって説明できる。
(2)一定の不純物注入濃度のもとで、trapされたcarrier濃度、言い替えればcarrierをトラップする過剰As点欠陥の濃度は、As/Gaフラックス比の1からのズレに比例して増加している。この比例関係は、先に我々によって提案された過剰As導入機構のLangmuir吸着モデルから期待される結果である。
上述の電気的特性についての実験結果を踏まえ、化学量論的組成に極めて近いLT-GaAs層およびそのAlAs/GaAsMQw構造を成長し、量子閉じ込め効果による励起子が観測されるかどうかphotoluminescence(PL)分光実験で調べた。その結果、通常の条件、すなわち高温で成長したものにくらべ強度は幾分弱いが、量子閉じ込め効果による励起子ピークが、液体ヘリウム温度、さらには室温で初めて観察された。

報告書

(1件)
  • 1999 実績報告書
  • 研究成果

    (1件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (1件)

  • [文献書誌] A. Suda: "Surface atomic process of incorporation of excess aesenic in molecular beam epitaxy of GaAs"Surf. Sci.. (in print).

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書

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公開日: 1999-04-01   更新日: 2016-04-21  

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