| 研究課題/領域番号 |
11167265
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| 研究種目 |
特定領域研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 審査区分 |
理工系
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
梶山 千里 九州大学, 大学院・工学研究院, 教授 (60037976)
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| 研究分担者 |
田中 敬二 九州大学, 大学院・工学研究院, 助手 (20325509)
菊池 裕嗣 九州大学, 大学院・工学研究院, 助教授 (50186201)
高原 淳 九州大学, 有機化学基礎研究センター, 教授 (20163305)
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| 研究期間 (年度) |
1999 – 2000
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| 研究課題ステータス |
完了 (2000年度)
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| 配分額 *注記 |
4,100千円 (直接経費: 4,100千円)
2000年度: 2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
1999年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
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| キーワード | 有機超薄膜 / ナノファブリケーション / 走査フォース顕微鏡 / 結晶性単分子膜 / アゾベンゼン誘導体 / 光異性化 |
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| 研究概要 |
本研究では、有機薄膜の極微小情報素子としての可能性を探索するため、光・電場と分子の化学構造との刺激-応答のシンクロ現象を利用した有機薄膜の新規微細加工法を提案した。
走査フォース顕微鏡を用いた結晶性脂肪酸単分子膜への超微細電圧印加加工を行った。実験手順として、まず(1)膜が破壊しないような弱い引力領域でで試料表面を観察した後、(2)探針-試料間に電圧を印加することにより膜分子を排除しピットを作製した。また、(3)複数個のピットを作製する場合には、探針を所定の場所に移動させた後、再び(2)の操作を行った。最後に(4)ピット系形成後の単分子膜観察を行った。
Si3N4製の円錐探針・矩形型カンチレバーに白金を0.5-1.0nmスパッタコートした探針を用いて観察とナノ加工を行った。導電性のシリコンウエハー上に一層移し取ったアラキジン酸カドミウム単分子膜に、電圧5V(探針側_+)を10秒間印加して、直径約10nmのナノピットを作成することに成功した。本実験に基づき、孔径数十ナノメートルのピットを任意な場所に再現性よく作製することができた。
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