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半導体レーザのFM特性を用いたクローズドループ縞走査干渉計

研究課題

研究課題/領域番号 11450024
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 応用光学・量子光工学
研究機関群馬大学

研究代表者

芳野 俊彦  群馬大学, 工学部, 教授 (90013169)

研究分担者 横田 正幸  群馬大学, 工学部, 助手 (80323335)
高橋 佳孝  群馬大学, 工学部, 助教授 (30216767)
研究期間 (年度) 1999 – 2000
研究課題ステータス 完了 (2000年度)
配分額 *注記
13,400千円 (直接経費: 13,400千円)
2000年度: 4,200千円 (直接経費: 4,200千円)
1999年度: 9,200千円 (直接経費: 9,200千円)
キーワード光計測 / 帰還干渉計 / ヘテロダイン干渉法 / 半導体レーザFM特性 / 干渉縞解析 / 位相シフト法
研究概要

・平成11年度
干渉計の安定化を図るために半導体レーザの注入電流に対する帰還回路系を作成した。これにより帰還回路のゲインを微調整して帰還を行うことが可能となり、帰還ループの安定度を様々なゲイン値に対して測定した。結果としてフィゾー干渉計のミラー間隔を変化させた場合に最適な帰還ループのゲイン値を得ることができ、ミラー間隔d=8.6cmの場合における最適な注入電流への帰還量は、約2mA程度と比較的小さいことがわかった。また安定化にはゲイン値よりもビート信号波形の雑音を取り除くことの方がより重要で、雑音の少ないビート信号が得られればゲイン値による安定度の変化はそれほど大きくないこともわかった。
・平成12年度
平成12年度は、まず位相検波計を高速化するために新たに高速位相検波ボードを導入した。これにより約1kHz程度まで応答速度が向上した。この結果、従来より高い利得での帰還が可能となり、干渉計位相安定性を向上させることができた。次に、干渉計のミラーにスピーカーを取り付けて振動させることにより、干渉計に外乱を加えた状態での位相シフト実験と干渉縞取り込みによる表面形状計測を行った。振動を加えた状態においても安定して90°ピッチの4段階位相シフトを行うことができ、干渉計のミラーに用いたビームスプリッタ表面の形状測定の再現性を、スピーカー振動無し、有りの場合で比較した所、それぞれλ/150、λ/60程度であることが分かった。これにより本研究で提案した干渉計が温度変化や半導体レーザの周波数変化、またはより実用的な振動のある状態においても十分な再現性を持って測定することが可能であることを実験的に確認することができた。

報告書

(3件)
  • 2000 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1999 実績報告書
  • 研究成果

    (3件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (3件)

  • [文献書誌] T.Yoshino and H.Yamaguchi: "Closed Loop Phase Shifting Interferometry Using a Laser Diode"Opt.Lett.. 23. 1575-1578 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Yoshino and H.Yamaguchi: "Closed Loop Phase Shifting Interferometry Using a Laser Diode"Opt.Lett.. Vol.23. 1575-1578 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Yoshino and H. Yamaguchi: "Closed Loop Phase Shifting Interferometry Using Laser Diode"Opt. Lett.. 23. 1575-1578 (1998)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書

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公開日: 1999-04-01   更新日: 2016-04-21  

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