| 研究課題/領域番号 |
11450139
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・機器工学
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
皆方 誠 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (80174085)
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| 研究分担者 |
符 徳勝 産業技術総合研究所, 中部センター, 研究員
石川 賢司 四日市大学, 総合政策学部, 教授 (50022140)
FU Desheng National Institute of AIST Researcher
野村 卓志 静岡文化芸術大学, 情報学部, 助教授 (90172816)
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| 研究期間 (年度) |
1999 – 2001
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| 研究課題ステータス |
完了 (2001年度)
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| 配分額 *注記 |
13,900千円 (直接経費: 13,900千円)
2001年度: 2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
2000年度: 4,900千円 (直接経費: 4,900千円)
1999年度: 6,900千円 (直接経費: 6,900千円)
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| キーワード | 電子ビーム照射 / 電荷分布モデル / LiTaO3 / 調和組成 / 分極反転しきい値 / P-Eヒステリシスカーブ / クーロン相互作用 / ナノメータサイズ分極反転 / LiTaO_3 / 大容量高密度メモリ / LiNbO_3 / 核形成しきい値 / 広がりしきい値 / ガードリング |
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| 研究概要 |
本研究では、以下のような研究成果が得られた。
1)電子ビーム描画法による電荷分布の観察:結晶表面に蓄積した電荷分布と結晶に注入した電荷分布の様相をSEMを用いて測定することができた。これより「砂時計型電荷分布モデル」を証明できた。また、電荷分布形成機構の新たな知見を得た。
2)クーロン相互作用の定量化:コントロールリング(内径50μm、幅10μm)とその中央に描画した微小四角形パターン間に働くクーロン相互作用を定量的に検討した。まず、理論式を導出してから実験を行った。その結果、クーロン力一定の条件下では反転サイズがほぼ等しくなり、リング幅やドーズ量を変化させた場合にはクーロン力が大きくなり、計算から予想される定量的関係を満足することが証明できた。
3)FCE(Full Cover Electrode)法の実験的検討:提案した微小周期分極反転-FCE法を用いてパルス電界印加実験を行った。電極とレジスト直下の電界強度比E/ERが大きいほど分極反転は有利であること、周期4μmおよび1μm径の分極反転実験を試み良好な結果を得た。
4)AFMによるPZT薄膜の観察:(011)配向PZTを作製し、AFMを用いて100nm程度の分極反転を作製できた。コヒーレント検出測定を行い反転観察ができた。
5)超広帯域光変調器:2.8Vの駆動電圧で40Gbit/sの伝送速度をもつ超広帯域光変調器を世界で初めて開発した。変調帯域は50GHz、消光比25dB、20年間の安定寿命が見込める。共同開発中のNGK(株)が今後商品化を進める予定。
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