| 研究課題/領域番号 |
11554012
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 展開研究 |
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| 研究分野 |
固体物性Ⅰ(光物性・半導体・誘電体)
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
伊藤 正 大阪大学, 基礎工学研究科, 教授 (60004503)
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| 研究分担者 |
枝松 圭一 大阪大学, 基礎工学研究科, 助教授 (10193997)
村松 宏 セイコーインスツルメンツ(株), 基盤技術部, 専門課長(研究職)
松村 宏 セイコーインスツルメンツ(株), 基板技術部, 専門課長(研究職)
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| 研究期間 (年度) |
1999 – 2001
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| 研究課題ステータス |
完了 (2001年度)
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| 配分額 *注記 |
14,000千円 (直接経費: 14,000千円)
2001年度: 3,500千円 (直接経費: 3,500千円)
2000年度: 4,900千円 (直接経費: 4,900千円)
1999年度: 5,600千円 (直接経費: 5,600千円)
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| キーワード | 近接場光学顕微鏡(SNOM) / 微粒子配列結晶 / フォトニックバンド / ナノスケール分光 / SNOMの解像度 / プローブ制御の非光化 / SNOMの低温化 / ナノスケール光加工 / 共鳴効果 / 表面における分子移動 / 近接場光学顕微鏡 / SNOM / プローブの非光化 / 走査型近接場光学顕微鏡 |
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| 研究概要 |
近接場光学顕微鏡(SNOM)のナノスケール分光と高機能化を研究した。
1.ポリスチレン微小球配列結晶の近接場効果
(1)結晶のフォトニックバンドに共鳴する波長をはさんで、SNOM透過光像が反転した。長波長側は球の周辺部、短波長側は球の中心部が明るい。共鳴付近では全体に広がった。この様子は計算でも再現できる。
(2)照射モードと集光モードにおけるSNOM像は一致した。計算との比較によると、SNOMプローブは2次元面内に平行な偏光成分を主に検知している。
(3)微小球の直径、プローブの開口径、光波長の3つの要素により、SNOM像は大きく変化するので、プローブの解像度を知る方法として有効である。
(4)反応性イオンエッチングによって配列位置は変えずに微小球の大きさを削ると、フォトニックバンド幅が減少した。微小球に固有なWGモードの球間重なり積分の変化が原因であり、結晶中の電子のバンド構造形成と類似ている。
2.高機能化
(1)プローブの縦方向の位置制御用に水晶振動子を用い、非光化プローブを作製した。
(2)クライオスタット内にSNOM装置を設置し、試料を熱伝導で約100Kまで冷やした。
(3)ストレートタイプのプローブを用いて、偏光度測定の感度を向上させ、サブミクロンサイズのペリレン微結晶の方位を決定した。
(4)石英ファイバープローブを用いた紫外光近接場測定や、バネ定数の小さなプローブにより基板に密着力の弱い微結晶試料の測定を可能とした。
3.ナノスケール光加工
(1)ペリレン微結晶表面への近接場光照射により直径100nm以下、深さ数10nmの穴を光加工できた。光生成された表面励起子が表面分子の蒸発又は光分解を引き起こすものと解釈される。
(2)加工後の微結晶表面形状に経時変化が見られる。AFM観察により室温における表面分子の平均拡散速度は2-3nm/minと求まった。
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