| 研究分担者 |
笹川 和彦 弘前大学, 理工学部, 助教授 (50250676)
祖山 均 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (90211995)
神谷 庄司 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (00204628)
竹内 正浩 住ベテクノリサーチ(株), 研究部, 副技師長(研究職)
巨 陽 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手 (60312609)
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| 研究概要 |
1.電磁波理論による集束・反射の理論的解明 はじめに操作性を考慮し,透過型ではなく,一つのセンサによる計測・評価が実現可能な反射型集束センサを開発した。さらに電磁波理論により,材料の微小な界面でのマイクロ波の反射を解析し,欠陥の寸法・形状と電磁特性との関連でマイクロ波の応答の特徴を理論的に解明した。
2.はく離の高分解能検出と評価 電子パッケージのリードフレームと封止樹脂間のはく離を対象例として取り上げてその検出と評価を行った。検証用のはく離試験片を用いて,はく離部と密着部のそれぞれに対するマイクロ波の反射強度と位相変化を実験観察し,1.の成果を踏まえ,はく離検出とはく離領域の高分解能評価に適した計測量を抽出することができた。
3.イメージングシステムの構築 被検査物に対するマイクロ波センサの二次元的なスキャニングにより,被検査物の各点での欠陥情報を画像化する高速システムを構築した。
4.分解能のさらなる向上を図った集束センサの改良 試作した反射型集束センサについて,センサの形状,設置位置の最適化を行い,スタンドオフ距離を維持したまま空間分解能をさらに向上させることに成功した。
5.薄膜・コーティングの厚さおよび基板に対する界面付着状態の評価へのマイクロ波の応用 液晶,太陽電池等に広く使用されている導電性薄膜の非接触型新規評価法について検討した。またマイクロ波による太陽電池用シリコン薄膜の割れの非破壊検出が可能であることを確認した。
6.イメージングシステムのコンパクト化に関する検討 開発したイメージングシステムの成果を踏まえ,大型機器・構造物への応用が期待され,実用化ができるようなコンパクトイメージングシステムの基本設計を行った。新規走査型センサを考案し,小型化・低価格・汎用性が高いという特徴を実現できるよう検討を行った。
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