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反射型偏光レーザ顕微鏡の開発とウエハ上高分子皮膜の応力評価

研究課題

研究課題/領域番号 11555036
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 機械材料・材料力学
研究機関東京電機大学

研究代表者

新津 靖  東京電機大学, 工学部, 教授 (70143659)

研究分担者 五味 健二  東京電機大学, 工学部, 助手 (60281408)
池田 輝樹  日本分光株式会社, 技術部・次長
一瀬 健輔 (一瀬 謙輔)  東京電機大学, 工学部, 教授 (10057226)
TERUKI Ikeda  JPSI Co., Research Division, Sub-Leader.
池田 照樹  日本分光技術部, 次長
研究期間 (年度) 1999 – 2001
研究課題ステータス 完了 (2001年度)
配分額 *注記
7,800千円 (直接経費: 7,800千円)
2001年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
2000年度: 3,000千円 (直接経費: 3,000千円)
1999年度: 3,500千円 (直接経費: 3,500千円)
キーワード応力測定 / レーザー光弾性 / 皮膜 / 光弾性変調器 / 反射型光弾性 / レーザ- / 皮膜応力 / 光弾性 / レーザー / 偏光計測 / 高分子膜
研究概要

本研究は,金属などに塗布された高分子皮膜および薄膜の微小領域に作用する応力を定量的に計測する技術を確立するため,皮膜が形成されている基板材料でレーザ光を反射させる方式の光弾性応力計測装置(反射型偏光レーザ顕微鏡:仮称)の試作を目的としている.研究代表者らが開発したレーザー光弾性実験法は、縞解析ではなく、光の強度計測から材料の複屈折位相差を求める方法であり、位相差の測定分解能は1nmまで可能である。これは、従来型の光弾性法の100倍以上の分解能に相当する。このため、厚さ数ミクロンの高分子フィルムの応力も測定可能になる。今回、計画した共焦点型の光学系は、位置調整などの技術的問題があり現時点で完成していないが、改良を重ねることで今後十分可能になると考えられる.
[1]反射型レーザー光弾性実験装置の試作
物質を透過後、鏡面で光を反射させて往復させ、その光を無偏光ビームスプリッタで誘導して材料内の光学的異方性を計測する装置を試作した。
[2]共焦点型光学系の試作と調整
試験片の表面と反射面からの反射光を分離するために共焦点型光学系を設計・試作し調整を行った.しかしながら、共焦点の位置合わせが困難なため、十分な表面反射の除去ができなかった.
[3]ガラスの応力分布計測
片面にAlコートを施したガラス板の引張試験片を試作し,引張荷重を作用させた.このガラスに生じた複屈折位相差の分布を反射型偏光レーザ顕微鏡で計測し主応力差の分布を求めることができた.計測結果から,反射型偏光レーザ顕微鏡を用いた応力評価の姜当性を確認した.
[4]表面反射光の影の評価
片面のAlコートの濃度を変化させた試験片を複数用意し、表面反射光の影響の違いを調べた.その測定結果から表面反射光を差し引くことで、より正確な応力測定が可能なことがわかった.
[5]ポリ塩化ビニルデン薄膜の応力測定
厚さ10μmの透明高分子フィルムの応力を測定する方法を提示し、実際に測定を行った。そして、光弾性定数に異方性があることを確認した。

報告書

(4件)
  • 2001 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2000 実績報告書
  • 1999 実績報告書
  • 研究成果

    (15件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (15件)

  • [文献書誌] 新津 靖, 一瀬謙輔, 五味健二: "反射型偏光レーザ顕微鏡の開発と皮膜の応力評価への応用"東京電機大学総合研究所年報. No.18. 103-108 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 新津 靖, 一一瀬謙輔, 五味健二: "反射型レーザ光弾性実験装置の開発と皮膜内応力評価の可能性"日本機械学会材料力学部門講演会講演論文集. No.99-16. 79-80 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 石井 伸威, 新津 靖, 一瀬謙輔, 五味健二: "反射型レーザ光弾性法による薄膜内部応力測定装置の開発"日本機械学会講演論文集. No.99-1Vol.III. 177-178 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 島 靖郁, 新津 靖, 山下大輔: "反射型レーザ光弾性実験装置の開発"日本機械学会講演論文集(平成13年度材料力学部門講演会講演論文集). No.01-16. 155-156 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yasushi Niitsu, Kensuke Ichinose and Kenji Gomi: "Development of a Reflecting Type Laser Micro-polariscope and Stress Evaluation of Film"Annual Report Res. Inst. For Tech TDU. No.18. 103-108 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Nobutaka Ishi, Kenji Goim, yasushi Niitsu and Kensuke Ichinose: "Development of the measuring System for Thin Film Internal Stress by Reflectig Laser Photoelasticity"Proc. Of JSME Conference. No.99-1-3. 177-178 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yasufumi Shima, Daisuke Yamashita and Yasushi nitsu: "Effect of the Reflected Light from the Surface of a Material on measurement with Reflecting Type Laser Phoroelasticity"Proc. Of JSME Conference. No.01-16. 155-156 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yasushi Niitsu: "Solid Modeling with Polygon Data of Mathematica"Proc. Of 4th Int. Mathematica Symposium (Symbolic Computation). 369-374 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Yasushi Niitsu, Sohta Yamamoto: "Stress Evaluation of {110} Si Wafer by Raman Spectroscopy"International Electronic Packaging 2001. CD-ROM. 6 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 島 靖郁, 新津 靖, 山下大輔: "反射型レーザ光弾性実験装置の開発"日本機械学会講演論文集(平成13年度材料力学部門講演会講演論文集). No.01-16. 155-156 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] K.GOMI.Y.NIITSU and K.ICHINOSE: "Crystal Gliding on GaAs Wafer at high Temperature"日本機械学会年次大会講演論文集. 00-1,III. 245-246 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 新津靖,一瀬謙輔,五味健二: "反射型レーザ顕微鏡の開発と皮膜の応力評価への応用"東京電機大学総合研究所年報. No.18. 103-108 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Y. niitsu and K. Gomi: "Development of scanning Type Infrared Laser Photoelasticity and Evaluation of Residual Stress in {100} GaAs Wafers"Proc. of Advanced in Electronic Packaging. ASME-EEP-Vol.26-1. 833-839 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Y. Niitsu and T. Ikibe, Y. Ohkubo, T. Ikeda: "Stress Evaluation of (100) Si Wafer by raman Spectroscopy"Proc. of Advanced in Electronic Packaging. ASME-EEP-Vol.26-1. 859-866 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 池辺朋,新津靖,鈴木栄一,池田照樹,大久保優晴: "レーザラマン分光法によるシリコン単結晶の応力評価"日本機械学会論文集. Vol.65,No.638A. 2157-2162 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書

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公開日: 1999-04-01   更新日: 2016-04-21  

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