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MPD(電磁プラズマ加速)アークジェットを用いた超稠密セラミック膜の生成

研究課題

研究課題/領域番号 11555255
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 航空宇宙工学
研究機関大阪大学

研究代表者

吉川 孝雄  大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 教授 (00029498)

研究分担者 森本 進治  石川島播磨重工業(株), 技術研究所, 部長(研究者)
安井 利明  大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 助手 (10263229)
田原 弘一  大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 助教授 (20207210)
研究期間 (年度) 1999 – 2001
研究課題ステータス 完了 (2001年度)
配分額 *注記
5,300千円 (直接経費: 5,300千円)
2001年度: 1,400千円 (直接経費: 1,400千円)
2000年度: 3,900千円 (直接経費: 3,900千円)
キーワードMPDアークジェット / 電磁加速 / ローレンツカ / プラズマ流 / ムライト / ジルコニア / 窒化チタン / プラズマ溶射 / プラズマジェット / 電磁気力 / セラミックス
研究概要

本研究では、電磁プラズマ加速アークジェット発生装置を用いた、セラミックス(ムライト、ジルコニア、窒化チタン)の成膜が研究された。放電電流は5から15kA、放電持続時間は0.6msecであり、数百発の放電により成膜を行った。その結果、すべての膜において、PVD法並の緻密質皮膜をPVD法に比べ高速に成膜できることがわかった。それぞれの成膜において最適条件が存在することが確かめられた。
さらに、その生膜過程を調べるために、各種のプラズマ診断を行った結果、プラズマはガス種、放電電流値にかかわらず、陽極ノズル延長線の内側では下流に向かうにつれて径方向外側に徐々に広がり、特に中心軸付近では、陰極ジェット内ではほとんど軸に平行に流れた。しかしながら、ノズル延長線の外側ではプラズマが半径方向外側に大きく膨張することがわかった。それゆえ、プラズマ流はノズル延長線によって内部流と外部流に区分できることがわかった。探針側定によって見積もられた噴出プラズマ流中の電子温度、電子密度は共にガス種、放電電流値に依存せず、同じ下流軸方向位置では径方向外側に向けて小さくなった。内部流内では広がりノズルに沿ったスムーズなプラズマ膨張がなされ、その熱エネルギーが運動エネルギーにスムーズに変換されていくので、電子温度・密度は下流方向に低下していくと推定された。一方、外部流内では径方向外側への激しい膨張が起こり、極度に電子温度・密度の低下が低下し、その低下は境界からの離れるにつれて激しくなると推測された。こうして、効率よく加速されたプラズマ中をセラミックス粒子が飛行することが予想された。

報告書

(4件)
  • 2001 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2000 実績報告書
  • 1999 実績報告書
  • 研究成果

    (30件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (30件)

  • [文献書誌] 田原弘一他: "電磁加速プラズマ溶射法の開発とそのセラミックスコーティングへの応用"日本溶射協会. 35. 107-114 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 柴田哲司他: "電磁加速プラズマ発生装置のセラミックス成膜への応用"プラズマ応用科学. 6. 23-29 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 柴田哲司他: "窒化チタン反応性成膜用電磁プラズマ加速装置の開発"溶接学会論文集. 19. 465-471 (2001)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Tetsuji Shibata et al.: "Plasma Flow Characteristics of Electromagnetic Acceleration Plasma Jet Generator for Titacnium -Nitrick Reactive Spray Coatings"Proc. 15th Int. Symp. Plasma Chemistry. 6. 2219-2224 (2001)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hirokazu Tahara et al.: "Exhaust Plume Charocteristics of Quasi-Steady MPD Throters"27th Int. Electric Propulsion Conf.. 1. 1-9 (2001)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 白崎篤司他: "基板に衝突する希薄流のモンテカルロシミュレーション"プラズマ応用科学. 9. 9-16 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hirokazu Tahara et al.: "Electromagnetic Acceleration Plasma Spraying for Ceramic Coatings"Proc. United Thermal Spray Conf., Dusseldorf. 715-719 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hirokazu Tahara et al.: "Electromagnetic Acceleration Plasma Spraying"Proc. 14th Int. Symp. Plasma Chemistry, Prague. (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hirokazu Tahara et al.: "Exhaust Plume Characteristics of a Supersonic Ammonia or Nitrogen/Hydrogen-Mixture Plasma jet Generator under a Low Pressure Environment"Proc. 14th Int. Symp. Plasma Chemistry, Prague. (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hirokazu Tahara et al.: "In-Flight Characteristics of Ceramic Particles Through a Supersonic Nitrogen Plasma Jet Generator with an Expansion Nozzle"Proc. 14th Int. Symp. Plasma Chemistry, Prague. (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Tetsuji Shibata et al.: "Development of an Electromagnetic Acceleration Plasma Generator for Titanium Nitride Coatings"Proc. 2nd Int. Symp. Appl. Plasma Sci. Osaka. 239-244 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Tetsuji Shibata et al.: "Development of an Electromagnetic Acceleration Plasma Generator for Zirconia and Titanium Nitride Coatings"Proc. 26th Int. Electric Propulsion Conf., Kita-Kyusyu. (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Tetsuji Shibata et al.: "An Electromagnetic Acceleration Plasma Generator for Titanium Nitride Reactive Spray Coatings"Proc. 1st Int. Thermal Spray Conf., Montreal. 951-955 (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hirokazu Tahara et al.: "Diagnostic Measurement of Supersonic Ammonia and Nitrogen/Hydrogen-Mixture DC Plasma Jets for Nitriding under a Low Pressure Environment"Proc. 1st Int. Thermal Spray Conf., Montreal. 21-28 (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Tetsuji Shibata et al.: "Development of Electromagnetic Acceleration Plasma Generator for Titanium Nitride Coatings"Vacuum. 59. 203-209 (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 柴田 哲司 他: "窒化チタン反応性成膜用電磁加速プラズマアークジェット装置の開発"溶接学会論文集. 19・3. 465-471 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Tetsuji Shibata et al.: "Plasma Flow Characteristics of Electromagnetic Acceleration Plasma Jet Generators for Titanium-Nitride Reactive sprmy Coatings"Proc.15th Int.Symp.Plasma Chemistry. 6. 2219-2224 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Hirokazu Tahara et al.: "Exhaust Plume Characteristics of Quasi-Steady MPD Thrusters"27th Int.Electric Propulsion Conf.. 1. 1-9 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 白崎 篤司 他: "基板に衝突する希薄流のモンテカルロシミュレーション"プラズマ応用科学. 9. 9-16 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 田原 弘一 他: "準定常MPD推進機の噴出プラズマの状態"日本航空宇宙学会誌. (印刷中). (2002)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Tetsuji Shibata et al.: "An Electromagnetic Acceleration Plasma Generator for Titanium Nitride Reactive Spray Coatings"Proc.1st Int.thermal Spray Conf.(ITSC2000), Montreal, Quebec. 1・1. 951-955 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Hirokazu Tahara et al.: "Diagnostic Measurement of Supersonic Ammonia and Nitrogen/Hydrogen-Mixture DC Plasma Jets for Nitriding"Proc.1st Int.Thermal Spray Conf.(ITSC2000), Montreal, Quebec. 1・1. 21-28 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Tetsuji Shibata et al.: "Development of Electromagnetic Acceleration Plasma Generator for Titanium Nithride Coatings"Vacuum. 59.1. 203-209 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 柴田哲司 他: "窒化チタン反応性成膜用電磁加速プラズマ装置の開発"溶接学会論文集. (印刷中). (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Hirokazu Tahara et al: "Near-Substrate Plasma Characteristics of a Supersonic Ammonia and Nitrogen/Hydrogen-Mixture DC Plasma Jet"Proc.16th Int.Symp.Plasma Chemistry. (in press). (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Hirokazu Tahara et al.: "Plasma Flow Characteristics of Electromagnetic Acceleration Plasma Generators for Titanium-Nitride Reactive Spray Coatings"Proc.16ht Int.Symp.Plasma Chemistry. (in press). (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Hirokazu Tahara et al.: "Electromognetic Acceleration Plasma Spraying"Proc.14th Int.Symp.Plasma Chemistry. 5. 1977-1981 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Tetsuji Shibata et al.: "Development of an Electromoenetic Acceleration Plasma Generator for Zirconia and Pltonium Nitride Coatings"Proc.26th Int.Electric Propulsion Conf.. 99-197. 1-10 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Kazunori Mitsuo et al.: "Cathode Jet of Magnetoplasmadynanic Thrusters"Proc.26th Int.Electric Propulsion Conf.. 99-173. 1-10 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Kazunori Mitsuo et al.: "Arc Structure in a Coaxial Magnetoplosmadynamic Channel"Proc 26th Int.Electric Propulsion Conf.. 99-179. 1-10 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書

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公開日: 2000-04-01   更新日: 2016-04-21  

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