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アブレーションプルーム中微粒子の外部電磁界による発生・成長・挙動の制御

研究課題

研究課題/領域番号 11558054
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 プラズマ理工学
研究機関佐世保工業高等専門学校

研究代表者

川崎 仁晴  佐世保工業高等専門学校, 電気工学科, 助教授 (10253494)

研究分担者 阿部 久雄  長崎県窯業技術センター, 専門研究員
須田 義昭  佐世保工業高等専門学校, 電気工学科, 教授 (20124141)
研究期間 (年度) 1999 – 2001
研究課題ステータス 完了 (2001年度)
配分額 *注記
5,700千円 (直接経費: 5,700千円)
2001年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
2000年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
1999年度: 3,800千円 (直接経費: 3,800千円)
キーワードパルスレーザデポジション法 / 外部電磁界 / 変調電磁界 / 微粒子 / クラスター / ドロップレット
研究概要

本研究は,アブレーションプルーム中微粒子の外部電磁界による発生・成長・挙動の制御を目的としている。昨年度までに,外部磁界による,薄膜上に堆積される微粒子(ドロッフレット)の密度の減少に成功した。本年度は,パルスレーザデポジション法により3インチ以上の大面積基板上に均一な薄膜が作成可能であることを明らかにした。さらにこの方法を用いて様々な薄膜の作製を行った。本年度作製した薄膜は,SiC, cBN, CN, SnO_2など様々など多岐にわたった。SiC薄膜の作製では,これまで困難であった基板温度800度における結晶性SiC薄膜の作製に成功した。cBN薄膜の作製では,イオンビームやバイアス電圧を加えることにより,hBNターゲットを用いた場合でもcBN薄膜の作製が可能であることを明らかにした。CN薄膜の作製でも同様に,イオンビームやバイアス電圧を加えることにより,Cターゲットを用いて,C-N結合を含む薄膜の作製が可能であることを明らかにした。ガスセンサに用いられるSnO_2薄膜の作製にも成功し,高い結晶性を持つ薄膜ガスセンサの作製に成功した。また,この薄膜を用いてセンサ特性の計測も行っており作製条件によっては十分な感度が得られることが分かった。
以上の成果は,JJAP(日)やThin Solid Films(米)等のジャーナルに報告し,従来得られなかった重要な知見を得たものとして,世界的に高い評価を得た。今後は本年度できなかった,プラズマプルーム中の発光種やラジカル分布,微粒子の発生・成長・挙動の様子をゲートを付けたICCDカメラによりin-situ測定し,その発生・成長機構を定量的に解明すること行う予定である。

報告書

(4件)
  • 2001 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2000 実績報告書
  • 1999 実績報告書
  • 研究成果

    (30件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (30件)

  • [文献書誌] Yoshiaki Suda: "Characteristics of Silicon Carbide Thin Films Prepared by Using Pulsed Nd : YAG Laser Deposition Method"Grain Boundary Engineering in Ceramics. 118巻. 535-542 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroharu Kawasaki: "Characterization of Tantalum Nitride Thin Films Fabricated by Pulsed Nd : YAG Laser Deposition Method"Jpn. J. Appl. Phys.. 40巻. 2391-2394 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Kazuya DOI: "Crystalline Chronium Carbide Thin Films Grown by Pulsed Nd : YAG Laser Deposition"Mater. Res. Soc.. 617号. J7.8.1-J7.8.5 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroharu Kawasaki: "Tantalum nitride thin films synthesized by pulsed Nd : YAG laser deposition method"Mater. Res. Soc.. 617号. J3.22.1-J3.22.5 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshiaki Suda: "Formation and properties of carbon nitride thin films by pulsed Nd : YAG laser deposition"Jpn. J. Appl. Phys.. 40巻. 1061-1063 (2001)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshiaki Suda: "Cubic Boron Nitride Thin Films by Ion Beam Assisted Pulsed Nd : YAG Laser Deposition"IEEE Transaction. IIT2000号. 785-788 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshiaki Suda: "Characteristics of Silicon Carbide Thin Films Prepared by Using Pulsed Nd : YAG Laser Deposition Method"Grain Boundary Engineering in Ceramics. Vol. 118. 535-542 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroharu Kawasaki: "Characterization of Tantalum Nitride Thin Films Fabricated by Pulsed Nd : YAG Laser Deposition Method"Jpn. J. Appl. Phys.. Vol. 40. 2391-2394 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Kazuya Doi: "Crystalline Chronium Carbide Thin Films Grown by Pulsed Nd : YAG Laser Deposition"Mater. Res, Soc.. Vol. 617. J7.8.1-J7.8.5 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroharu Kawasaki: "Tantalum Nitride Thin Films Synthesized by Pulsed Nd : YAG Laser Deposition Method"Mater. Res, Soc.. Vol. 617. J3.22.1-J3.22.5 (2001)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshiaki Suda: "Formation and Properties of Carbon Nitride Thin Films by Pulsed Nd : YAG Laser Deposition"Jpn. J. Appl. Phys.. Vol. 40. 1061-1063 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshiaki Suda: "Cubic Boron Nitride Thin Films by Ion Beam Assisted Pulsed Nd : YAG Laser Deposition"IEEE Transaction IIT2000. 785-788 (2001)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshiaki Suda: "Characteristics of Silicon Carbide Thin Films Prepared by Using Pulsed Nd : YAG Laser Deposition Method"Grain Boundary Engineering in Ceramics. 118巻. 535-542 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Hiroharu Kawasaki: "Characterization of Tantalum Nitride Thin Films Fabricated by Pulsed Nd : YAC Laser Deposition Method"Jpn. J. Appl. Phys.. 40巻. 2391-2394 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Kazuya DOI: "Crystalline Chronium Carbide Thin Films Grown by Pulsed Nd : YAG Laser Deposition"Mater. Res. Soc.. 617号. J7.8.1-J7.8.5 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Hiroharu Kawasaki: "Tantalum nitride thin films synthesized by pulsed Nd : YAG laser deposition method"Mater. Res. Soc.. 617号. J3.22.1-J3.22.5 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Yoshiaki Suda: "Formation and properties of carbon nitride thin films by pulsed Nd : YAG laser deposition"Jpn. J. Appl. Phys.. 40巻. 1061-1063 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Yoshiaki Suda: "Cubic Boron Nitride Thin Films by Ion Beam Assisted Pulsed Nd : YAG Laser Deposition"IEEE Transaction. IIT2000号. 785-788 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Yoshiaki Suda: "Characterization of Crystalline TiC Films Grown by Pulsed Nd : YAG laser Deposition"Jpn.J.Appl.Phys.. 39. 4575-4576 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Hiroharu Kawasaki: "Effects of Ion Beam Energy on the Formation of Cubic Boron Nitride Thin Films by Pulsed Nd : YAG Laser Deposition"Jpn.J.Appl.Phys.. 39. 4525-4578 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Yoshiaki Suda: "Formation and Properties of TiC Thin Films by Pulsed Nd : YAG Laser Deposition"Thin Solid Films. 374. 282-286 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Hiroharu Kawasaki: "Effects of Cross-magnetic Field on Thin Film Preparation by Pulsed Nd : YAG Laser Deposition"Thin Solid Films. 374. 278-281 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Yoshiaki Suda: "Characteristics of Silicon Carbide Thin Films Prepared by Using Pulsed Nd : YAG Laser Deposition Method"Grain Boundary Engineering in Ceramics,. 118. 535-542 (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Hiroharu Kawasaki: "Characterization of Tantalum Nitride Thin Films Fabricated by Pulsed Nd : YAG Laser Deposition Method"Jpn.J.Appl.Phys.. (印刷中).

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Kazuya DOI: "Preparation of Crystalline Chromium Carbide Thin Films Synthesized by Pulsed Nd : YAG Laser Deposition"Jpn.J.Appl.Phys.. (印刷中).

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Hiroharu Kawasaki: "Tantalum nitride thin films synthesized by pulsed Nd : YAG laser deposition method"Material Research Sociaty. (印刷中).

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Yoshiaki Suda: "Formation and properties of carbon nitride thin films by pulsed Nd : YAG laser deposition,"Jpn.J.Appl.Phys.. (印刷中).

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Hiroharu Kawasaki: "Chromium Carbide Thin Films Synthesized by Pulsed YAG Laser"Jpn. J. Appl. Phys. 38. 3619-3621 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Hiroharu Kawasaki: "Silicon Carbide Thin Films Synthesized By Pulsed Yag Laser"J. Korea, Phys. Soc.. 3. S88-S91 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Hiroharu Kawasaki: "Effects of Ion Beam Energy on the Formation of Cubic Boron Nitride Thin Films by Pulsed Nd: YAG Laser Deposition"Jpn. J. Appl. Phys. (発表予定). (2000)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書

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公開日: 1999-04-01   更新日: 2016-04-21  

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