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化合物半導体表面における光誘起構造変化

研究課題

研究課題/領域番号 11640314
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 固体物性Ⅰ(光物性・半導体・誘電体)
研究機関大阪市立大学 (2000)
名古屋大学 (1999)

研究代表者

金崎 順一  大阪市立大学, 工学部, 助教授 (80204535)

研究期間 (年度) 1999 – 2000
研究課題ステータス 完了 (2000年度)
配分額 *注記
3,300千円 (直接経費: 3,300千円)
2000年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
1999年度: 2,600千円 (直接経費: 2,600千円)
キーワード化合物半導体 / 表面 / レーザー / 光誘起構造変化 / 光誘起脱離 / インジウムリン / トンネル顕微鏡 / フェムト秒非共鳴イオン化分光法 / フェムト秒非共鳴イオン化分光 / 電子励起効果
研究概要

代表的III-V族化合物半導体であるInPの表面において発生する光誘起構造変化の特徴を明らかにし、かつ、その機構を解明することを目的として、微視的構造変化をトンネル顕微鏡(STM)を用いて直接観察するとともに、新たにフェムト秒非共鳴イオン化分光法を構築し、光照射によるすべての脱離種の同時高感度検出を行った。STMによる観察の結果、表面バンド間遷移に共鳴した460nmのレーザー光を真空劈開(110)表面に照射すると、(1)電子的結合切断により、(2)表面最外層のP副格子に(3)vacancyが発生すること、また、光パルスの繰返し照射により、(4)表面In-P鎖の方位[110](表面状態が大きな分散を示す方位)に選択的に伸びたvacancy stringが効率的に成長する事が判明した。完全格子サイトおよびvacancy隣接サイトにおける電子的結合切断の効率は、励起強度に対して非線形な増大を示し、その振る舞いは2正孔局在効率の励起強度依存性とよい一致を示した。この結果は、2正孔局在がこの表面における電子的結合切断の主要な過程である事を強く示唆している。さらに実験結果を詳細に解析し、この表面で観測される効率的vacancy stringの生成は、表面励起状態の[110]方位への効率的輸送とvacancy隣接サイトでの凝縮によりうまく説明できることがわかった。この結果より、誘起される構造変化の形態が表面の構造的・電子的性質と密接に関連しているといえる。
さらにこの表面で誘起される電子的励起結合切断についての知見を得るため、光脱離する粒子の同時高感度検出を行った。その結果、(1)主要な脱離種はP原子である事、(2)脱離収量は照射強度に対して非線形に増大する事、さらに、脱離収量の照射dose依存性及び脱離原子の速度分布の結果を詳細に解析し、(3)脱離P原子には速度分布の異なる2つの成分が存在する事を明らかにした。STMにより得られた知見と比較検討することにより、これらの成分が表面テラス上のPサイトでの結合切断に伴う脱離とvacancy隣接サイトでの結合切断に伴う脱離に対応することが明らかとなった。

報告書

(3件)
  • 2000 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1999 実績報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (18件)

  • [文献書誌] N.Itoh: "Laser-Induced Desorption from STM-Selected Semiconductor Sites"Progress in Surface Science. 61・1. 1-19 (1999)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 金崎順一: "半導体表面構造の光誘起変化と構成原子の脱離"固体物理. 34巻・8号. 657-668 (1999)

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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tanimura: "Laser-Induced Electronic Bond Breaking and Structural Changes on Semiconductor Surfaces"Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE). 3618. 26-36 (1999)

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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tanimura: "Laser-Induced Electronic Instability on Semiconductor Surfaces of Si (111)-(7x7) and InP (110)-(1x1)"Proceedings of the 25th International Conference on Physics of Semiconductors. (2001)

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  • [文献書誌] J.Kanasaki: "Laser-Induced Electronic Desorption from Inp (110) Surfaces Studied by Femtosecond Non-Resonant Ionization Spectroscopy"Physical Review B. (2001)

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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.Kanasaki and K.Tanimura: "Photo-Induced Structural Changes of Semiconductor Surfaces and Desorption of Constituent Atoms (in Japanese)"Solid State Physics. Vol.34, no.8. 657-668 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Itoh, J.Kanasaki, and J.Xu: "Laser-Induced Desorption from STM-Selected Semiconductor Sites"Progress in Surface Science. Vol.61, no.1. 1-19 (1999)

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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tanimura and J.Kanasaki: "Laser-Induced Electronic Bond Breaking and Structural Changes on Semiconductor Surfaces"SPIE. Vol.3618 (invited paper). 26-35 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tanimura, J.Kanasaki, and K.Ishikawa: "Laser-Induced Electronic Instability on Semiconductor Surfaces of Si (111)-(7x7) and InP (110)-(1x1)"Proceedings of the 25^<th> International Conference on Physics of Semiconductors_.

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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.Kanasaki, N.Mikasa, and K.Tanimura: "Laser-Induced Electronic Desorption from InP Surfaces Studied by femtosecond Non-Resonant Ionization Spectroscopy"Physcal Review B.. (to be published).

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      2000 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Itoh: "Laser-Induced Desorption from STM-Selected Semiconductor Sites"Progress in Surface Science. 61・1. 1-19 (1999)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 金崎順一: "半導体表面構造の光誘起変化と構成原子の脱離"固体物理. 34巻・8号. 657-668 (1999)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] K.Tanimura: "Laser-Induced Electronic Bond Breaking and Structural Changes on Semiconductor Surfaces"Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE). 3618. 26-36 (1999)

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      2000 実績報告書
  • [文献書誌] K.Tanimura: "Laser-Induced Electronic Instability on Semiconductor Surfaces of Si (111) - (7x7) and InP (110) - (1x1)"Proceedings of the 25th International Conference on Physics of Semiconductors. (2001)

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      2000 実績報告書
  • [文献書誌] J.Kanasaki: "Laser-Induced Electronic Desorption from InP (110) Surfaces Studied by Femtosecond Non-Resonant Ionization Spectroscopy"Physical Review B. (2001)

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      2000 実績報告書
  • [文献書誌] N.Itoh: "Laser-Induced Desorpion from STM-Selected Semiconductor Sites"Progress in Surface Science. 61・1. 1-19 (1999)

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      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 金さき順一: "半動体表面構造の光誘起変化と原子の脱離"固体物理. 34巻・8号. 657-668 (1999)

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      1999 実績報告書
  • [文献書誌] K.Tanimura: "Laser-Induced Electronic Bond Breaking and Structural Changes on Semiconductor Surfaces"Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing IV,Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers(SPIE). 3618. 26-36 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書

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公開日: 1999-04-01   更新日: 2020-05-15  

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