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エヴァネセント波分光法を用いたプラズマ励起種表面計測の研究

研究課題

研究課題/領域番号 11640392
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 物理学一般
研究機関山梨大学

研究代表者

桜井 彪  山梨大学, 工学部, 教授 (00092841)

研究分担者 井上 行夫  山梨大学, 工学部, 助手 (80020494)
研究期間 (年度) 1999 – 2001
研究課題ステータス 完了 (2001年度)
配分額 *注記
3,700千円 (直接経費: 3,700千円)
2001年度: 400千円 (直接経費: 400千円)
2000年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
1999年度: 2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
キーワードエヴァネセント波 / レーザー分光 / バリアー放電 / プラズマディスプレイパネル / 凖安定励起原子 / 誘電体壁表面 / 壁粒子束 / プラズマデイスプレイパネル / 準安定励起原子 / 壁電位 / 壁電場 / 半導体レーザー / エヴァネセント波分光 / 誘導体表面
研究概要

1.プラズマと誘電体壁との相互作用は非常に重要であるにもかかわらず、実験による直接測定が困難であり、未解決の課題が多く残っている。本研究ではプラズマ内の誘電体壁における準安定励起原子の振る舞いを外部から計測する技術として、エヴァネッセント波レーザー分光法を開発し、この方法をプラズマ励起種と壁との相互作用の解明の新たな実用可能技術として確立した。
2.上記分光法の一つであるレーザー誘起エヴァネッセント波蛍光法(LIEF法)を最近注目されているバリアー型放電セル(Arガス圧力1〜50Torr封入)に適用し、Arの準安定励起原子の誘電体壁での密度やその時間特性を測定し、壁での粒子束を明らかにした。バリアー放電では二次電子放出など誘電体壁が直接放電に係わっており、これらの測定結果はバリアー放電に関する大きな知見を与えるものである。
3.LIEF法をプラズマディスプレイパネル(PDP)放電に適用し、マイクロ放電セル内誘電体バリアー上の準安定励起原子密度の測定にはじめて成功した。その結果、時間平均値として1x10^<12>cm^<-3>という高い値を得ているPDPの実用化に向けてさらなる高効率化を目指すとき、誘電体材料や電極構造の影響を明らかにする必要がある。このため、排気台脱着可能型の模擬PDPを製作し、直接LIEF法を適用する計画を推進している。
4.準安定励起原子の壁での反射等の相互作用の情報を直接的に測定する手段として、新たにクロスビーム型のLIEF法を提案した。その可能性を示すために原子同士の衝突効果の少ない低気圧(1Torr)のバリアー放電セルを準備し、今後の研究成果が気体できる。

報告書

(4件)
  • 2001 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2000 実績報告書
  • 1999 実績報告書
  • 研究成果

    (29件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (29件)

  • [文献書誌] T.Sakurai: "New method for measuring plasmas on a surface by laser"Intern. Workshop on Basic Aspects of Non-equilibrium Plasmas Interacting with Surface. OP-6. 29 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 櫻井 彪: "エヴァネセント光を用いた表面近傍のプラズマ診断とマイクロプラズマへの応用"プラズマ・核融合学会誌. 76. 449-454 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Sakurai: "Behaviors of excited atoms on a dielectric surface in a plasma measured by evanescent-wave laser spectroscopy"6th Intern. Conf. on Near Field Optics and Related Techniques. Tup9. 185 (2000)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Sakurai: "Excited atoms in the vicinity of a surface in a barrier dischangre measured by evanescent-wave laser spectroscopy"thin solid films. 374. 157-161 (2000)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Yoshizawa: "A barrier type micro-discharge in two dimensional array in high pressures"Proceed. Plasma Symposium 2001/18^<th> Symposium on Plasma Processing. 667-668 (2001)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] R.Okamura: "Measurement of electric field on a dielectric surface in a plasma by evanescent-wave laser spectroscopy"Proceed. Plasma Symposium 2001/18^<th> Symposium on Plasma Processing. 151-152 (2001)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 櫻井 彪: "プラズマ・固体境界でのミクロ反応場の解析"科学研究費"プラズマを用いたミクロ反応場の創生と応用の新展開に関する総合的研究(基盤研究(c)(1)"報告書. 72-78 (2001)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Sakurai: "Ar metastable atoms on a dielectric surface in a barrier discharge measured by evanescent-wave laser spectroscopy"Proceed. 25^<th> Intern. Conf. on Phenomena in Ionized Gases. 4. 297-298 (2001)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Sakurai: "Behavior of Ar Metastable atoms on a dielectric surface in a barrier and PDP discharges measured by evanescent laser spectroscopy"Proceed. 10^<th> Intern. Symposium on Laser-aided Plasma Diagnostics. 24-28 (2001)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Sakurai: "Measurement of Ar metastables near a dielectric surface in barrier and plasma display panel discharges"J. Appl. Phys.. 91. (2002)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Sakurai: "New method for measuring plasmas on a surface by laser,"Intern. Workshop on Basic Aspects on Non-equilibrium Plasmas Intsracting with Surface. OP-6, 29. (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Sakurai: "Sakurai/Behaviors of excited atoms on a dielectric surface in a plasma measured by evanescent-wave laser spectroscopy"6th Intern. Gonf. On Near Field Optics and Related Technique. Tup 9, 185. (2000)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Sakurai: "Excited atoms in the vicinity of a surface in a barrier discharge measured by evanescent-wave laser spectroscopy"thin solid films. Aol. 374. 157-161 (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S. Yoshizawa: "A barrier type micro-discharge in two dimensional array in high pressures"Proceed. Plasma Symposium 2001/18th Symposium on Plasma Prosessing. 667-668 (2001)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] R. Okamura: "Measurement of electric field on a dielectric surface in a plasma by eva nescent-wave laser spectroscopy,"Proceed. Plasma 25 Symposium; 2001/18th Symposium on Plasma Processing. 151-152 (2001)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Sakurai: "Ar metastable atoms on a dielectric surface in a barrier discharge measured by evanescent-wave laser spectroscopy,"Proceed. 25th Intern. Conf. On Phenomena in Ionized Gases. vol. 4. 297-298 (2001)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Sakurai: "Behavior of Ar metastable atoms on a dielectric surface in a barrier and PDP discharges measured by evanaescent-wave laser spectroscopy"Proceed. 10th Intern. Symposium on Laser-aided Plasma Diagnostics. 24-28 (2001)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Sakurai: "Measurement of Ar metastables near a dielectric surface in barrier and plasma display panel discharges,"JV Appl. Phys.. Vol91, No.4 (to be published). (2002)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takeki Sakurai: "New method for measuring plasmas on a surface by laser"Intern. Workshop on Basic Aspects of Non-equilibrium plasmas Interacting with Surfaces, JAPAN. 06-2. 29 (2000)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 桜井 彪: "エヴァネセント光を用いた表面近傍のプラズマ診断とマイクロプラズマへの応用"プラズマ・核融合学会誌. 76巻. 449-454 (2000)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Takeki Sakurai: "Excited atous in the vicinity of a surface in a barrier dishurge measared by evanescent-wave laser spectroscopy"thin solid films. 374. 157-161 (2000)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Takeki Sakurai: "Ar metastable atoms on a dielectric surface in a barrier dirrier discharge measured by evanescent-wave laser spectroscopy"Procecd. 25th Intern. Conf. on phenomena in Ionged Gases. 4巻. 297-298 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Takeki Sakurai: "Baliavior of Ar metastable atoms on a dielectnic surface in barrier descharge and PDP discharge measured by evanescent laser spectroscopy"Proceed. 10th Symp. on Laser-aided Plasma Diagnostics. 24-28 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] T.Sakurai: "Measurement of Ar metastables near a dielectric sarface in barrier and plasma display panel discharges"J. Appl. Phys. 91巻8号. (2002)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Takeki Sakurai: "New method for measuring plasmas on a surface by laser"Intern.Workshop on Basic Aspects of Non-equilibrium plasmas Interacting with Surfaces Japan. 06-2. 29 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 桜井彪: "エヴァネセント光を用いた表面近傍のプラズマ診断とマイリロプラズマへの応用"プラズマ・核融合学会誌. 76巻. 449-454 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Takeki Sakurai: "Excited atavus in the vicinity of a surface in a barrier discharge measured by evanescent-wave laser spectroscopy"thin solid films. 374. 157-161 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Takeki Sakurai: "New method for measuring plasmas on a surface by laser"Internat. Workshop on Basic Aspects of Non-equilibrium plasmas Interacting with Surfaces, Japan. 06-2. 29-29 (2000)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 桜井 彪: "エヴァネセント光を用いた表面近傍のプラズマ診断とマイクロプラズマへの応用"プラズマ・核融合学会誌. 76巻・5号. (2000)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書

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公開日: 1999-04-01   更新日: 2016-04-21  

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