| 研究概要 |
現在一般的に使用されている切削および研削などの加工装置では,ミリメートル以上の広領域にナノメートルレベルの振幅で制御された凹凸を作ることは困難である.また,SPMを用いた微細凹凸の作成においては,ピエゾアクチュエータを駆動機構に用いているため走査できる領域が狭く,ミリメートルレベルの広領域は加工できない.そこで,本研究では表面テクスチャを作成するCAD/CAMシステムを内蔵した表面テクスチャ作成装置を開発し,ミリメートルオーダーの領域内にナノメートルオーダーの制御された振幅をもつ表面凹凸の作成を行った.その作成した装置の仕様は以下となる.また,この装置を用いて作成したテクスチャ表面を評価した結果,その寸法精度はおおよそ1μmと良好な結果を得た.
(1) 装置仕様
1)テクスチャ作成可能領域:1μm〜10mm
2)テクスチャ形状パターン:規則テクスチャ(ドット,ラインによるもの)不規則テクスチャ(CCDカメラによるテクスチャ画像によるもの)
3)加工深さ:1ラインあたりサブミクロンレベルで加工
4)加工可能材質:金属,セラミックス
この作成したテクスチャ作成システムは次ページに示す学会にて発表を行ったとともに,地元の金型メーカーで試験的にテクスチャ作成を行い,射出成形金型における転写性の研究に活用している.
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