超小型超音波振動子によるマイクロマシン用高出力アクチュエータの研究

• 研究課題/領域番号: 11750177
• 研究種目: 奨励研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 機械力学・制御
• 研究機関: 山形大学
• 研究代表者: 青柳 学 山形大, 工学部, 助手 (80231786)
• 研究期間 (年度): 1999
• 研究課題ステータス: 完了 (1999年度)
• 配分額: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円); 1999年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)