| 研究課題/領域番号 |
11792001
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| 研究種目 |
地域連携推進研究費
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
固体物性Ⅰ(光物性・半導体・誘電体)
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| 研究機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 |
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研究代表者 |
金光 義彦 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 助教授 (30185954)
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| 研究分担者 |
長村 俊彦 株式会社ユニソク, 研究開発部, 部長(研究職)
櫛田 孝司 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 教授 (00013516)
服部 賢 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 助教授 (00222216)
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| 研究期間 (年度) |
1999 – 2001
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| 研究課題ステータス |
完了 (2001年度)
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| 配分額 *注記 |
7,300千円 (直接経費: 7,300千円)
2001年度: 7,300千円 (直接経費: 7,300千円)
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| キーワード | 走査顕微鏡 / オージェ分析 / トンネル顕微鏡 / 集束イオンビーム / 近接場顕微鏡 / 走査型顕微鏡 / 表面構造 / 電子エネルギー分析器 |
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| 研究概要 |
本研究では、オージェ元素分析機能と走査トンネル顕微機能という表面分析観察において不可欠ともいえる2つの重要な機能を併せ持つ新しいタイプの超小型分析装置開発・評価を行った。この装置の実現のために、走査トンネル顕微鏡を基本とした観測部に、表面内殻電子励起用の電子線源としての機能をもつ特殊な探針および試料から放出されたオージェ電子のエネルギー分析装置が必要であると考え、それらの設計・製作を行った。特殊探針については、電子軌道解析プログラムや集束イオンビーム描画装置等による計算・試作・評価を繰り返した後、探針が作る局所的な強い電場の影響(今までの問題点)を取り除くことのできる、引き出し電極を兼ねたシールド機能付き特殊探針を作成することに成功した。電子エネルギー分析器については、阻止電位型エネルギー分析タイプよりも信号対雑音比や感度の点で優位にある円筒鏡型エネルギー分析タイプを採用し、シールド機能付き特殊探針の背後に設置することにより、試料基板表面から各元素のオージェ電子を正確な運動エネルギーで観測し得ることを確認した。同時に、走査トンネル顕微鏡機能の正常動作も確認し、ここに同一システム、即ちトンネル顕微鏡モードとオージェ分析モードで測定可能な走査オージェ分析トンネル顕微鏡の試作が完成した。この開発した装置に、さらに探針周囲にレンズ電極を施すことによりオージェ分光測定の空間分解能が著しく向上することが分かった。これらの研究成果により、従来にはない超小型の走査オージェ分析トンネル顕微鏡のプロトタイプを開発することができ、それは新しい分析機器の発展に寄与するものと考えられる。
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