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高純度^<28>Si同位体バルク結晶成長

研究課題

研究課題/領域番号 11875008
研究種目

萌芽的研究

配分区分補助金
研究分野 応用物性・結晶工学
研究機関慶應義塾大学

研究代表者

伊藤 公平  慶應義塾大学, 理工学部, 講師 (30276414)

研究期間 (年度) 1999 – 2000
研究課題ステータス 完了 (2000年度)
配分額 *注記
1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
2000年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
1999年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
キーワード半導体 / 同位体 / 単結晶成長 / バルク / シリコン
研究概要

半導体用シリコン(Si)は人類が作製した単結晶として最も純度が高く、最も結晶性の優れた材料と言っても過言ではない。それゆえに、現在の超高集積回路が実現された。しかし、地球上に存在するすべてのSi中には^<28>Si、^<29>Si、^<30>Siの3種類の安定同位体が存在し、それぞれの組成比は92.2%(^<28>Si)、4.7%(^<29>Si)、3.1%(^<30>Si)と常に一定である。異なる同位体が同一結晶内に存在するということは、結晶を構成する原子の質量にばらつきがあることを意味し、また、核スピン(^<29>Si同位体のみが核スピンを有する)の分布にもばらつきがあることを意味する。従来、シリコン中の同位体組成を変化させて「質量分布」や「核スピン分布」を制御した例はほとんどなかった。
本研究では^<28>Si安定同位体純度を99.92%まで高めた半導体シリコン(Si)バルク単結晶の成長に世界に先駆け成功した。^<28>Siバルク単結晶の熱伝導度は、通常のSiの熱伝導度と比較して室温で60%、100℃で40%向上することが確認され、将来のLSI基板材料として大きな期待が寄せられている。また、^<28>Siバルク単結晶は、量子コンピュータを実現する材料、アボガドロ定数を精確に決定する世界アボガドロ定数標準、ビッグバン理論の検証に関する宇宙物理学研究用センサー、無重力空間における溶融実験に大きな進歩を及ぼす材料として期待されている。本研究で成長された結晶は上記各方面の研究・開発に利用されることになる。

報告書

(2件)
  • 2000 実績報告書
  • 1999 実績報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (4件)

  • [文献書誌] 伊藤公平: "次世代コンピュータのためのシリコン単結晶"パリティ. 8月号vol.15. 34-35 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 伊藤公平: "同位体制御による高熱伝導度シリコン基板の開発-現状と展望-"μTechnology Business. 11月号. 27-30 (1999)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] K.Takyu,K.M.Itoh,K.Oka,N.Saito,V.I.Ozhogin: "Growth and Characterization of the Isoropically Enriched ^<28>Si Bulk Single Crystal"Jpn.J.Appl.Phys.. 38. L1493-L1495 (1999)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] K.Takyu,et.al.: "Growth and Characterization of the Isotopically Enriched ^<28>Si Bulk Single Crystal"Japanese Journal of Applied Physics. 38. L1493-L1495 (1990)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書

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公開日: 1999-04-01   更新日: 2016-04-21  

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