ウォータジェットと集束イオンビームとを併用した広スケールレンジ3次元微細形状創成

• 研究課題/領域番号: 12305012
• 研究種目: 基盤研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 機械工作・生産工学
• 研究機関: 東京工業大学
• 研究代表者: 伊東 誼 東工大, 工学部, 教授 (60016441)
• 研究期間 (年度): 2000
• 研究課題ステータス: 完了 (2000年度)
• 配分額: 21,800千円 (直接経費: 21,800千円); 2000年度: 21,800千円 (直接経費: 21,800千円)