| 研究課題/領域番号 |
12355024
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 展開研究 |
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| 研究分野 |
金属物性
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| 研究機関 | 北海道大学 (2003)
東京大学 (2000-2002) |
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研究代表者 |
市野瀬 英喜 北海道大学, エネルギー先端工学研究センター, 教授 (30159842)
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| 研究分担者 |
柴山 環樹 北海道大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (10241564)
幾原 雄一 東京大学, 工学部, 教授 (70192474)
須賀 唯知 東京大学, 先端科学研究センター, 教授 (40175401)
高橋 平七郎 Hokkaido Univ., Center for Advanced Research of Energy Conversion Materials, Prof. (80001337)
岩本 知広 東京大学, 工学部附属総合試験所, 助手 (60311635)
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| 研究期間 (年度) |
2000 – 2003
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| 研究課題ステータス |
完了 (2003年度)
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| 配分額 *注記 |
45,010千円 (直接経費: 37,300千円、間接経費: 7,710千円)
2003年度: 7,670千円 (直接経費: 5,900千円、間接経費: 1,770千円)
2002年度: 7,670千円 (直接経費: 5,900千円、間接経費: 1,770千円)
2001年度: 18,070千円 (直接経費: 13,900千円、間接経費: 4,170千円)
2000年度: 11,600千円 (直接経費: 11,600千円)
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| キーワード | レーザーガン / 量子効果原子剥離 / 無損傷超薄片 / 紫外域レーザー / 完全平滑表面 / 電子顕微鏡観察用超薄片 / 原子構造評価技術 / 同調照射 / 平滑表面 / 波長同調照射 / SiC超薄片 / ダイヤモンド超薄片 |
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| 研究概要 |
ナノテクノロジーに不可欠な電子顕微鏡情報の、原子構造情報の質と信頼度を格段に向上させることにより、電子デバイスの開発、設計、製造の各過程などをめくら撃ち手探り状態から解放し、他方では、現在米国に独占されている、電子顕微鏡観察用薄片化技術市場を奪還することを狙う。高速イオンではなく波長分散の小さい、短波長の電磁波を用い、物質の結合エネルギーに同調照射させることによって、物質に損傷を与えることなく原子間結合を切断し、表面近傍の原子を順次剥離することをめざす。すでに、レーザーパワーの超精密制御系と微小領域への精密照射光学系の開発、適用物質範囲の拡大は、相当の進展を見た(レーザースキャン技術)。即ち、(1)イオンガンとレーザーガン両備量子効果原子剥離反応薄片化研究機システムを構築した。これを用いて、下の実験を通してエネルギー密度や光学パラメータのを最適化のデータを収集した。(2)λ=19ナノメートルにレーザー波長を固定して、シリコンカーバイド(2原子共有結合物質)、ダイヤモンド(単原子共有結合物質)、について薄片加速度を検証し既知のシリコンと比較検討し、最適な条件を、パルス幅、エネルギー密度、照射回数、について絞り込むことが出来た。また(3)表面から飛散する原子が一つずつ飛び出しているのか、集団で飛び出しているのか、そうだとすれば原子集団の規模はどの程度かという、表面性状に直接関わる詳細な情報の収集を始め、ある程度の指針を得た。(4)これと並行して、製品につながるプロトタイプの設計が終了した。今後は、JSTのプロジェクトに引き継ぎ具体的に商品化を図る予定である。
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