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極低摩擦を示す超格子固体潤滑膜の創成とトライボロジー

研究課題

研究課題/領域番号 12450069
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 設計工学・機械要素・トライボロジー
研究機関日本工業大学

研究代表者

三宅 正二郎  日本工業大学, 工学部, 教授 (70229813)

研究期間 (年度) 2000 – 2002
研究課題ステータス 完了 (2002年度)
配分額 *注記
9,700千円 (直接経費: 9,700千円)
2002年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
2001年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
2000年度: 7,300千円 (直接経費: 7,300千円)
キーワード固体潤滑膜 / ナノ周期積層膜 / 超格子膜 / 軟質金属 / カーボン / 二硫化モリブデン / トライボロジー / 硬さ / 軟質金属膜 / ナノ周]期積層膜 / トライボケミカル反応
研究概要

1.ナノ周期固体潤滑膜の開発;ナノ周期積層膜の硬さ増大メカニズムを明らかにし、新しい固体潤滑膜のモデルを提案した。具体的には、低せん断抵抗が期待できる材料をナノ周期で積層し、従来の単層膜や混合膜材料では得られなかった低摩擦を示す新しいナノ周期固体潤滑積層膜を開発した。(1)カーボン膜と窒化ホウ素膜ナノ周期固体潤滑積層膜;耐熱性向上が期待できる数nm周期の(C/BN)n積層膜を形成した。200℃の高温環境下による摩擦試験では、4nm周期の積層膜が最も低い摩擦係数を示すことを明らかにした。(2)銀・金膜のナノ周期導電性固体潤滑積層膜;導電性を示すナノ周期固体潤滑積層膜として、AgおよびAu膜を構成要素とする積層膜を形成した。積層により、摩擦係数は減少し、摩擦耐久性は著しく向上する。電気抵抗率評価では、単層膜の抵抗率が著しく増加するのに対し、摩擦後もほとんど変化せず、電気抵抗の安定性に優れた固体潤滑膜が得られている。(3)二硫化タングステン/二硫化モリブデンナノ周期固体潤滑積層膜;MoS_2およびWS_2の積層膜を取り上げた。その結果、大気中でμ=0.04の低摩擦が安定して得られている。更に、単層膜に比べ摩擦耐久性は6倍以上増大した。(4)ナノ加工実現;積層膜の欠陥の進展が層間で抑止される現象を活用し、層毎のナノ加工を実現した。
2.ナノコンポジット薄膜 三次元構造を有するナノコンポジットの基礎的検討として各種金属をカーポン膜中に分散させた金属添加DLC膜の形成とトライボロジー特性の評価を行った。ナノインデンテーションおよび原子間力顕微鏡(AFM)を用いたマイクロ摩耗試験で評価したところチタンを適切な量添加したDLC膜が優れた機械特性を示した。さらに金属添加により境界潤滑特性を改善できた。特にチタン添加DLC膜ではμ=0.04以下の低摩擦を示し、自動車の摺動部に応用し低摩擦を実現できる可能性がある。

報告書

(4件)
  • 2002 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2001 実績報告書
  • 2000 実績報告書
  • 研究成果

    (29件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (29件)

  • [文献書誌] S.Miyake, J.Kim: "Nanoprocessing of Carbon and Boron Nitride Nanoperiod Multilayer Films"Jpn.J.Appl.Phys. 42・3. 322-325 (2003)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Miyake: "Improvement of Mechanical Properties of Nanometer Period Multilayer films at Interfaces of Each Layer"J.of Vac.Sci.& Technol.B. 21・2. 785-789 (2003)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Miyake, K.Matuzaki: "Mechanical Nanoprocessing of Layered Crystal Structure Materials by Atomic Force Microscopy"Jpn.J.Appl.Phys. 41・9. 5706-5712 (2002)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 金鐘得, 三宅正二郎, 伴雅人: "フッ化炭素プラズマ処理シリコン含有ダイヤモンドライクカーボン膜の機械特性"表面技術. 53・12. 933-938 (2002)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 斉藤喬士, 三宅正二郎, 渡部修一: "金属添加DLC膜のスクラッチ特性"表面技術. 53・9. 606-611 (2002)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 三宅正二郎, 斉藤喬士, 渡部修一, 林栄一, 中丸隆: "耐熱性高分子材料のトライボロジー特性に対するダイヤモンドライクカーボン(DLC)形成の効果"表面技術. 52,12. 878-882 (2001)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shojiro Miyake and Jongduk Kim: "Nanoprocessing of Carbon and Boron Nitride Nanoperiod Multilayer Films"Jpn. J. Appl. Phys.. Vol.42,3B. L322-L325 (2003)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shojiro Miyake: "Improvement of mechanical properties of nanometer period multilayer films at interfaces of each layer"J. of Vac. Sci. & Technol.. B21,2. 785-789 (2003)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shojiro Miyake and Keijyu Matsuzaki: "Mechanical Nanoprocessing of Layered Crystal Structure Materials by Atomic Force Microscopy"Jpn. J. Appl. Phys.. 41,9. 5706-5712 (2002)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Jongduk Kim, Shojiro Miyake and Masato Ban: "Mechanical properties of fluorinated carbon plasma treated silicon containing diamond like carbon (DLC) films"J. Surface Finishing Soc. of Japan. 53,12. 933-938 (2002)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Tadashi Saitou, Shojiro Miyake and Shuichi Watanabe: "Scratch properties of metal containing DLC films"J. Surface Finishing Soc. of Japan. 52,9. 606-611 (2001)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shojito Miyake, Tadashi Saitou and Shuichi Watanabe, Aiichi Hayashi and Takashi Nakamaru: "Effects of DLC coating on tribological properties of heat-resistant polymers"J. Surface Finishing Soc. of Japan. 52,12. 878-882 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Miyake, J.Kim: "Nanoprocessing of Carbon and Boron Nitride Nanoperiod Multilayer Films"Jan. J. Appl. Phys. 42・3. 322-325 (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] S.Miyake: "Improvement of Mechanical Properties of Nanometer Period Multilayer films at Interfaces of Each Layer"j. of Vac. Sci. & Technol. B. 21・2. 785-789 (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 金鐘得, 三宅正二郎, 伴雅人: "フッ化炭素プラズマ処理シリコン含有ダイヤモンドライクカーボン膜の機械特性"表面技術. 53・12. 933-938 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] S.Miyake, K.Matuzaki: "Mechanical Nanoprocessing of Layered Crystal Structure Materials by Atomic Force Microscopy"Jpn. J. Appl. Phys. 41・9. 5706-5712 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 斉藤喬士, 三宅正二郎, 渡部修一: "金属添加DLC膜のスクラッチ特性"表面技術. 53・9. 606-611 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 関根幸男, 三宅正二郎, 渡部修一, 野城淳一: "ナノ周期固体潤滑積層膜のトライボロジー"機械学会 2002年度 年次大会講演文集. 111-112 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 木島進, 斉藤喬士, 渡部修一, 三宅正二郎: "金属添加DLC膜のトライボロジー特性"表面技術協会2001春予稿集. 247-248 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 鈴木健二, 斉藤喬士, 渡部修一, 三宅正二郎: "各種金属を添加したDLC膜のスクラッチ特性"表面技術協会2001春予稿集. 249-250 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 関根幸男, 三宅正二郎, 渡部修一: "RFスパタリングによる超格子固体潤滑膜の形成とトライボロジー"トライボロジー会議2001春予稿集. 361-362 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 斉藤喬士, 三宅正二郎, 渡部修一, 橋爪 剛: "ダイヤモンドライクカーボン膜形成プラスチックのトライボロジー"日本機械学会2001年度年次大会,福井.講演論文集(Vol.III). 97 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 関根幸男, 三宅正二郎, 渡部修一, 野城淳一: "二硫化タングステン/二硫化モリブデン積層膜のトライボロジー"トライボロジー会議2002春予稿集. (発表予定). (2002)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 三宅正二郎, 斉藤喬士, 渡部修一, 林栄一, 中丸隆: "耐熱性高分子材料のトライボロジー特性に対するダイヤモンドライクカーボン(DLC)形成の効果"表面技術(表面技術協会). 52, 12. 878-882 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Sekine S.Miyake and S.Watanabe: "Deposition and tribology of carbon and boron nitride super lattice solid lubricating films,"Synopses of Int.Tribology Conf.Nagasaki. 66,8. 386 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 関根幸男,三宅正二郎,渡部修一: "軟質金属とカーボン膜を積層させた超格子薄膜のトライボロジー"日本機械学会年次大会講演論文集. II00-1. 399-400. (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 木島進,斉藤喬士,渡部修一,三宅正二郎: "金属添加DLC膜のトライボロジー特性"表面技術協会2001春予稿集. (発表予定). (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 鈴木健二,斉藤喬士,渡部修一,三宅正二郎: "各種金属を添加したDLC膜のスクラッチ特性各種金属を添加したDLC膜のスクラッチ特性"表面技術協会2001春予稿集. (発表予定). (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 関根幸男,三宅正二郎,渡部修一: "RFスパタリングによる超格子固体潤滑膜の形成とトライボロジー"トライボロジー会議2001春東京予稿集. (発表予定). (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書

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公開日: 2000-04-01   更新日: 2016-04-21  

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