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シリコンクラスターの表面反応と薄膜成長過程の分子シミュレーション

研究課題

研究課題/領域番号 12450082
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 熱工学
研究機関東京大学

研究代表者

丸山 茂夫  東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (90209700)

研究分担者 井上 満  東京大学, 大学院・工学系研究科, 助手 (30010854)
松本 洋一郎  東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (60111473)
河野 正道  東京大学, 工学部・附属総合試験所, 助手 (50311634)
研究期間 (年度) 2000 – 2002
研究課題ステータス 完了 (2002年度)
配分額 *注記
15,000千円 (直接経費: 15,000千円)
2002年度: 3,800千円 (直接経費: 3,800千円)
2001年度: 5,400千円 (直接経費: 5,400千円)
2000年度: 5,800千円 (直接経費: 5,800千円)
キーワード薄膜成長過程 / シリコンクラスター / 分子シミュレーション / 化学反応 / FT-ICR質量分析装置 / 金属クラスター / 核生成
研究概要

シリコン原子10〜30個よりなるクラスター(Si_n)とエチレンや一酸化窒素の化学反応実験をレーザー蒸発・超音速膨張クラスター源付きFT-ICR(フーリエ変換イオンサイクロトロン共鳴質量分析装置)によって行った.シリコンクラスターとエチレンとの化学反応については,レーザーアニーリングによる効果などを含めて従来知られている実験範囲を広げた実験データを取得した.また,一酸化炭素との反応によって,Si_n^++NO→Si_<n-1>N^++SiOのシリコン原子の引き抜き反応が一定のシリコンクラスターで選択的に起こること,また,この反応の後に,シリコンクラスターサイズによっては,反応熱によってクラスターの解離が起こることを明らかとした.さらに,シリコンクラスターの反応との比較として,Fe, Co, Niなどの金属クラスターの反応実験を行い,クラスターサイズに依存する水素分子脱離などの現象について検討した.
一方,小さなシリコンクラスターの幾何学構造などを比較的よく表現するTersoffポテンシャルを用いた分子動力学法シミュレーションによって,シリコンの結晶化過程を検討した.アモルファス構造あるいは液体のシリコンクラスター(原子数4000〜8000)の中央部に初期条件としてシード原子結晶を埋め込み,シード原子数や温度を様々に変化させたシミュレーションによって,結晶成長の様子を観察した.これらの結果に基づき,結晶核成長速度や臨界核サイズなどを古典核生成モデルなどと比較した.また,得られた結晶構造は多くの場合,双晶欠陥を有し,これが故に(111)面を形成しながら結晶成長が起こっていることが明らかとなった.また,双晶欠陥の故に,5回対称性をもつ準結晶などの様々な多面体のナノスケール結晶構造を得ることができた.

報告書

(4件)
  • 2002 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2001 実績報告書
  • 2000 実績報告書
  • 研究成果

    (28件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (28件)

  • [文献書誌] M.Kohno, S.Inoue, A.Yabe, S.Maruyama: "FT-ICR Studies of Precursor Clusters of Single Wall Carbon Nanotubes (SWNTs)"Micro. Thermophys. Eng.. 7-1. 33-39 (2003)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Kohno, S.Inoue, R.Kojima, S.Chiashi, S.Maruyama: "FT-ICR Studies of Laser Vaporized Clusters from Ni/Co and Ni/Y Loaded Graphite Samples"Physica B. 323,1-4. 272-274 (2002)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Maruyama: "Endohedral Metallofullerene in Gas Phase"Endofullerenes : A New Family of Carbon Clusters. 273-293 (2002)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Maruyama: "FT-ICR Reaction Experiments and Molecular Dynamics Simulations of Precursor Clusters for SWNTs"Perspectives of Fullerene Nanotechnology. 131-142 (2002)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Maruyama, M.Kohno, S.Inoue: "Chemical Reaction of Metal-Carbon Binary Cluster Anions by FT-ICR Mass Spectrometer"Fullerene 2000 : Chemistry and Physics of Fullerenes and Carbon Nanomaterials. 309-319 (2002)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Inoue, M.Kohno, S.Maruyama: "A Study of Precursor Clusters of Single-Walled Carbon Nanotubes (SWNTs) by FT-ICR Mass Spectrometer"Proc. 6^<th> ASME-JSME Thermal Engineering Joint Conference. 13-13 (2003)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M. Kohno, S. Inoue, A. Yabe and S. Maruyama: "FT-ICR Studies of Precursor Clusters of Single Wall Carbon Nanotubes (SWNTs)"Micro. Thermophys. Eng.. 7, no. 1. 33-39 (2003)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M. Kohno, S. Inoue, R. Kojima, S. Chiashi and S. Maruyama: "FT-ICR Studies of Laser Vaporized Clusters from Ni/Co and Ni/Y Loaded Graphite Samples"Physica B. 323, no. 1-4. 272-274 (2002)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S. Maruyama: "Endohedral Metallofullerene in Gas Phase"Endofullerenes : A New Family of Carbon Clusters. 273-293 (2002)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S. Maruyama: "FT-ICR Reaction Experiments and Molecular Dynamics Simulations of Precursor Clusters for SWNTs"Perspectives of Fullerene Nanotechnology. 131-142 (2002)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S. Maruyama, M. Kohno and S. Inoue: "Chemical Reaction of Metal-Carbon Binary Cluster Anions by FT-ICR Mass Spectrometer"Fullerene 2000 : Chemistry and Physics of Fullerenes and Carbon Nanomaterials. 309-319 (2000)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S. Inoue, M. Kohno and S. Maruyama: "A Study of Precursor Clusters of Single-Walled Carbon Nanotubes (SWNTs) by FT-ICR Mass Spectrometer"6th ASME/JSME Thermal Engng. Conf., Hawaii,. 13-13 (2003)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Kohno, S.Inoue, R.Kojima, S.Chiashi, S.Maruyama: "FT-ICR Studies of Laser Vaporized Clusters from Ni/Co and Ni/Y Loaded Graphite Samples"Physica B. 323,1-4. 272-274 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] S.Maruyama: "Endohedral Metallofullerene in Gas Phase"Endofullerenes : A New Family of Carbon Clusters. 273-293 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Kohno, S.Inoue, A.Yabe, S.Maruyama: "FT-ICR Studies of Precursor Clusters of Single Wall Carbon Nanotubes (SWNTs)"Micro. Thermophys. Eng.. 7-1. 33-39 (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 河野正道, 井上修平, 丸山茂夫: "金属添加炭素試料からのクラスター生成と化学反応"日本機械学会論文集(B編). (掲載予定). (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 井上修平, 河野正道, 丸山茂夫: "FT-ICRによるシリコンクラスターと一酸化窒素の化学反応"日本機械学会論文集(B編). (掲載予定). (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] S.Inoue, M.Kohno, S.Maruyama: "A Study of Precursor Clusters of Single-Walled Carbon Nanotubes (SWNTs) by FT-ICR Mass Spectrometer"Proc. 6^<th> ASME-JSME Thermal Engineering Joint Conference. 13-13 (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Kohno: "FT-ICR Studies of Laser Vaporized Clusters from Ni/Co and Ni/Y Loaded Graphite Samples"Physica B. (掲載予定). (2002)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] S.Maruyama: "Endohedral Metallofullerene in Gas Phase"Endofullerenes : A New Family of Carbon Clusters. (掲載予定). (2002)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] T.Kimura: "Molecular dynamics simulation of water droplet in contact with platinum surface"Proc. 12th Int. Heat Transfer Conf.. (掲載予定). (2002)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] S.G.Kandlikar: "Measurement and Molecular Dynamics Simulation of Contact Angle of Water Droplet on a Platinum Surface"HTD (Am. Soc. Mech. Eng.) (Proc. ASME Heat Transfer Division 2001). 369-1. 343-348 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] S.Maruyama: "FT-ICR Reaction Experiments and Molecular Dynamics Simulations of Precursor Clusters for SWNTs"Perspectives of Fullerene Nanotechnology. 131-142 (2002)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Matsumoto: "Multi-scale analysis of non-equilibrium hypersonic rarefied gas flows"Computational Fluid Dynamics JOURNAL. 9-1. 459-470 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] S.Maruyama: "Chemical Reaction of Metal-Carbon Binary Cluster Anions by FT-ICR Mass Spectrometer."Proceeding of Fullerene 2000 : Chemistry and Physics of Fullerenes and Carbon Nanomaterials. 309-319 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 丸山茂夫: "ランタン・炭素混合クラスターの生成と化学反応"東京大学工学部附属総合試験所年報. 59巻. 171-176 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 丸山茂夫: "固体面での液滴核生成と気泡核生成の分子動力学シミュレーション"混相流. (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 木村達人: "固体面での凝縮核生成の分子動力学シミュレーション"Thermal Science and Engineering. 8巻5号. 7-13 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書

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公開日: 2000-04-01   更新日: 2016-04-21  

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