| 研究課題/領域番号 |
12450129
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 九州工業大学 |
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研究代表者 |
山崎 二郎 九州工業大学, 工学部, 教授 (40108668)
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| 研究分担者 |
竹澤 昌晃 九州工業大学, 工学部, 助手 (20312671)
本田 崇 九州工業大学, 工学部, 助教授 (70295004)
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| 研究期間 (年度) |
2000 – 2001
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| 研究課題ステータス |
完了 (2001年度)
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| 配分額 *注記 |
13,700千円 (直接経費: 13,700千円)
2001年度: 4,200千円 (直接経費: 4,200千円)
2000年度: 9,500千円 (直接経費: 9,500千円)
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| キーワード | 陽極酸化 / 微細加工 / 高アスペクト比 / 磁気マイクロマシン / 磁歪振動 / マイクロモータ / 磁歪 |
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| 研究概要 |
本研究の目的は、陽極酸化アルミナ皮膜を利用した磁性体の超高アスペクト比微細加工技術の確立、世界最小直径の磁歪振動マイクロモータの実現とその医用応用を開拓することである。
微細孔を有するアルミナ皮膜は機械的に非常に堅牢である。厚膜にしてもほとんど機械的歪みを生じないため、厚膜レジストとして非常に適した機械的性質を持っている。陽極酸化浴の温度、組成、pHをコンピュータ制御して長時間一定に保つことで300μm厚みの均一なアルミナ皮膜を得た。水素を発生させることによりバリア層面からアルミナ皮膜を基板から剥離し、静水圧を利用してポアにエッチング液を流通することで、サイドエッチが小さいアスペクト比60の微細孔を得た。これを磁性体でメッキ充填することで反磁界がほとんど無視できるナノワイヤの作製に成功した。
直径100μmの高アスペクト比アモルファスワイヤの磁歪に起因する磁気弾性共鳴の共鳴姿態を考察し、ワイヤの共鳴運動を阻害しない回転機構造を採用することで3000rpmの高速回転マイクロモータを実現できた。さらに、高速回転の減速機構を考察して高トルク化を実現した。このマイクロモータは横置き型でも高速回転が可能であり、水中でも回転可能であることを確認した。これにより本マイクロモータはカテーテルや医用マイクロポンプへの応用が期待される。
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