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セラミック機能素子のバイオミメティック合成・形態制御

研究課題

研究課題/領域番号 12450350
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 無機工業化学
研究機関名古屋大学

研究代表者

河本 邦仁  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授 (30133094)

研究分担者 増田 佳丈  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助手 (20324460)
米澤 徹  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (90284538)
徐 元善  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (30242829)
研究期間 (年度) 2000 – 2001
研究課題ステータス 完了 (2001年度)
配分額 *注記
14,500千円 (直接経費: 14,500千円)
2001年度: 5,300千円 (直接経費: 5,300千円)
2000年度: 9,200千円 (直接経費: 9,200千円)
キーワード自己組織膜 / サイト選択析出 / 薄膜 / マイクロパターニング / 二酸化チタン / 酸化亜鉛 / ハイドロキシアパタイト / 酸化ジルコニウム / 選択析出 / TiO2 / チタンアルコキシド / 分子認識 / マイクロデバイス
研究概要

メチル基/シラノール基にパターン化した自己組織膜(OTS-SAM)をN2雰囲気下でTDD溶液に浸漬することにより、シラノール基上にのみ選択的にアモルファスTiO2薄膜を析出させることに成功した。このパターン解像度はおよそ2.1%であり、液相析出法における値(約28.0%)およびデバイス作製の基準値(5%)を下回るものであった。また、大気中での加熱により400℃でアナターゼ相に、1000℃でルチル相に相転移し、この際パターン精度に大きな変化はなく、高い解像度を持ったアナターゼ型TiO2のマイクロパターンが作製できた。析出したアモルファス膜の誘電特性を評価したところ、誘電体薄膜に典型なC-V特性を示した。また、I-V特性から見積もられたリーク電流は1.3×10-7A/cm2(at 1V)と低い値であった。これらの特性は、この薄膜のMOS-FETゲート酸化膜への適用の可能性を示している。一方、TDD溶液とパターン化OTS-SAMを窒素雰囲気下、90℃で2時間保持することにより、TDD分子を気相を介して基板上へと運び、シラノール基上へのアモルファスTiO2薄膜の選択析出を実現した。この薄膜もまた、加熱処理により400℃でアナターゼ相に、1000℃でルチル相に、相転移し、その際の解像度の劣化は見られなかった。さらに、フェニル基/シラノール基にパターン化したSAM上のフェニル基上に酸化亜鉛の析出を促進する触媒金属粒子を吸着させ、これをテンプレートとして酸化亜鉛のサイト選択析出を水溶液中で実現した。また、この酸化亜鉛の発光特性も確認している。また、アミノ基/シラノール基にパターン化したSAMを用いて、水溶液中で均一核生成により作製したハイドロキシアパタイト粒子を、静電相互作用によりアミノ基上に選択吸着させることにも成功した。その後、過飽和度の低い溶液中で結晶成長させることによりハイドロキシアパタイト薄膜のパターンを作製した。

報告書

(3件)
  • 2001 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2000 実績報告書
  • 研究成果

    (51件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (51件)

  • [文献書誌] Y.Masuda, T.Sugiyama, H.Lin, W.S.Seo, K.Koumoto: "Selective deposition and micropatterning of titanium dioxide thin film on self-assembled monolayers"Thin Solid Films. 382. 153-157 (2001)

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  • [文献書誌] Y.Masuda, W.S.Seo, K.Koumoto: "Selective Deposition and Micropatterning of Titanium Dioxide on Self-Assembled Monolayers from Gas Phase"Langmuir. 17・16. 4876-4880 (2001)

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  • [文献書誌] Y.Masuda, Y.Jinbo, T.Yonezawa, K.Koumoto: "Templated site-selective deposition of titanium dioxide on self-assembled monolayers"Chemistry of Materials. (印刷中).

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  • [文献書誌] Y.Masuda, D.J.Wang, W.S.Seo, K.Koumoto: "Fabrication of Micropatterned Dielectric Thin Films on Self-Assembled Monolayers"Key Engineering Materials. 214. 157-162 (2002)

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  • [文献書誌] D.J.Wang, Y.Masuda, W.S.Seo, K.Koumoto: "Metal-Oxide-Semiconductor (MOS) Devices Composed of Biomimetically Synthesized TiO2 Dielectric Thin Films"Key Engineering Materials. 214. 163-170 (2002)

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  • [文献書誌] 増田佳丈, 河本邦仁: "生物に学ぶセラミックスの低温合成法"化学と教育. 48・9. 556-559 (2000)

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  • [文献書誌] 増田佳丈, 河本邦仁: "自己組織膜テンプレート型パターニング"セラミックデータブック. 28・82. 47-49 (2000)

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  • [文献書誌] N.Saito, H.Haneda, W.S.Seo, K.Koumoto: "Selective Deposition of ZnF(OH) on Self-Assembled Monolayers in Zn-NH4F Aqueous Solutions for Micropatterning of Zinc Oxide"Langmuir. 17,5. 1461-1469 (2001)

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  • [文献書誌] N.Saito, H.Haneda, W.S.Seo, K.Koumoto: "Selective Deposition of ZnO through Electroless Deposition Process on Self-Assembled Monolayers"Key Engineering Materials. 214. 203-208 (2002)

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  • [文献書誌] N.Saito, H.Haneda, T.Sekiguchi, N.Ohashi, I.Sakaguchi, K.Koumoto: "Low temperature Fabrication of Light-Emitting Zinc Oxide Micropatterns Using Self-Assembled Monolayers"Advanced Materials. 14,6. 418-420 (2002)

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  • [文献書誌] P.X.Zhu, M.Ishikawa, W.S.Seo, A.Hozumi, Y.Yokogawa, K.Koumoto: "Nucleation and Growth of Hydroxyapatite on Amino Organosilane Overlayer"Journal of Biomedical Materials Research. 59,2. 294-304 (2002)

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  • [文献書誌] P.X.Zhu, Y.Masuda, K.Koumoto: "Site-Selective Adhesion of Hydroxyapatite microparticles on the charged surfaces"Journal of Colloid and Interface Science. 342,1. 31-36 (2001)

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  • [文献書誌] P.X.Zhu, Y.Masuda, K.Koumoto: "A novel Approach to Fabricate Hydroxyapatite Coating on Ti substrates in an aqueous solution"Journal of the Ceramic Society of Japan. 109,8. 676-680 (2001)

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  • [文献書誌] 諸培新, 河本邦仁: "表面修飾法によるアパタイトの人工誘導合成技術-バイオミネラリゼーションからの啓示と挑戦"日本無機材料協会誌. 7. 540-544 (2000)

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  • [文献書誌] Y.Gao, Y.Masuda, T.Yonezawa, K.Koumoto: "Site-Selective Deposition and Micropatterning of Zirconia Thin Films on Templates of Self-assembled Monolayers"Journal of the Ceramic Society of Japan. 110(印刷中). (2002)

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  • [文献書誌] Y. Masuda, T. Sugiyama, K. Koumoto et al: "Selective deposition and micropatterning of titanium dioxide thin film on self-assembled monolayers"Thin Solid Films. 382. 153-157 (2001)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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  • [文献書誌] Y. Masuda, W. S. Seo, and K. Koumoto: "Selective Deposition and Micropatterning of Titanium Dioxide on Self-Assembled Monolayers from a Gas Phase"Langmuir. 17(16). 4876-4880 (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y. Masuda, Y. Jinbo, T. Yonezawa and K. Koumoto: "Templated site-selective deposition of titanium dioxide on self-assembled monolayers"Chemistry of Materials. in press.

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  • [文献書誌] Y. Masuda, D.J. Wang, W. S. Seo and K. Koumoto: "Fabrication of Micropatterned Dielectric Thin Films on Self-Assembled Monolayers"Key Engineering Materials. 214. 157-162 (2002)

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  • [文献書誌] Y. Masuda, K. Koumoto: "Metal-Oxide-Semiconductor (MOS) Devices Composed of Biomimetically Synthesized TiO2 DielectricThin Films"Key Engineering Materials. 214. 163-170 (2002)

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  • [文献書誌] Y. Masuda, K. Koumoto: "Fabrication of Ceramics at Low Temperature Using Biomimetic Process"Chemistry and Education. 48(9). 556-559 (2000)

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  • [文献書誌] Y. Masuda, K. Koumoto: "Micropatterning of Thin Films and Particles Using Self-assembled Monolyars as a Template"Ceramic Data book. 28(82). 47-49 (2000)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N. Saito, K. Koumoto et al: "Selective Deposition of ZnF(OH) on Self-Assembled Monolayers in Zn-NH4F Aqueous Solutions forMicropatterning of Zinc Oxide"Langmuir. 17(5). 1461-1469 (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Saito, K. Koumoto et al: "Selective Deposition of ZnO through Electroless Deposition Process on Self-Assembled Monolayers"Key Engineering Materials. 214. 203-208 (2002)

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  • [文献書誌] N.Saito, K. Koumoto et al: "Low-Temperature Fabrication of Light-Emitting Zinc Oxide Micropatterns Using Self-Assembled Monolayers"Advanced Materials. 14(6). 418-420 (2002)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] P. X.Zhu, K.Koumoto etal: "|ucleation and Growth of Hydroxyapatite on Amino Organosilane Overlayer"Journal of Biomedical Materials Research. 59[2]. 294-304 (2002)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] P. X. Zhu, Y. Masuda, K. Koumoto: "Site-Selective Adhesion of Hydroxyap atite icroparticles on the charged surfaces"Journal of Colloid and Interface Science. 342[1]. 31-36 (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] P. X. Zhu, Y. Masuda, K. Koumoto: "A novel Approach to Fabricate Hydroxyapatite Coating on Ti substrates in an Aqueous Solution"Journal of the Ceramic Society of Japan. 109[8]. 676-680 (2001)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] P. X. Zhu, K. Koumoto: "Artificial induction synthesis of apatite on Arface-modified substrate Inspiration and challenge based on biomineralization"Inorganic Materials Japan. 7. 540-544 (2000)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y. Gao , T.Yonezawa, K. Koumoto: "Site-selective Deposition and Microp atterning of Zirconia Thin Films on Templates of Self-assembled Monolayers"Journal of the,Ceramic Society of Japan. 110(in press). (2002)

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      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Masuda, T.Sugiyama, H.Lin, W.S.Seo, K.Koumoto: "Selective deposition and micropatterning of titanium dioxide thin film on self-assembled monolayers"Thin Solid Films. 382. 153-157 (2001)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Masuda, W.S.Seo, K.Koumoto: "Selective Deposition and Micropatterning of Titanium Dioxide on Self-Assembled Monolayers from Gas Phase"Langmuir. 17・16. 4876-4880 (2001)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Masuda, Y.Jinbo, T.Yonezawa, K.Koumoto: "Templated site-selective deposition of titanium dioxide on self-assembled monolayers"Chemistry of Materials. (印刷中).

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Masuda, D.J.Wang, W.S.Seo, K.Koumoto: "Fabrication of Micropatterned Dielectric Thin Films on Self-Assembled Monolayers"Key Engineering Materials. 214. 157-162 (2002)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] D.J.Wang, Y.Masuda, W.S.Seo, K.Koumoto: "Metal-Oxide-Semiconductor (MOS) Devices Composed of Biomimetically Synthesized TiO2 Dielectric Thin Films"Key Engineering Materials. 214. 163-170 (2002)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 増田佳丈, 河本邦仁: "生物に学ぶセラミックスの低温合成法"化学と教育. 48・9. 556-559 (2000)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 増田佳丈, 河本邦仁: "自己組織膜テンプレート型パターニング"セラミックデータブック. 28・82. 47-49 (2000)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] N.Saito, H.Haneda, W.S.Seo, K.Koumoto: "Selective Deposition of ZnF(OH)on Self-Assembled Monolayers in Zn-NH4F Aqueous Solutions for Micropatterning of Zinc Oxide"Langmuir. 17・5. 1461-1469 (2001)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] N.Saito, H.Haneda, W.S.Seo, K.Koumoto: "Selective Deposition of ZnO through Electroless Deposition Process on Self-Assembled Monolayers"Key Engineering Materials. 214. 203-208 (2002)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] N.Saito, H.Haneda, T.Sekiguchi, N.Ohashi, I.Sakaguchi, K.Koumoto: "Low temperature Fabrication of Light-Emitting Zinc Oxide Micropatterns Using Self-Assembled Monolayers"Advanced Materials. 14・6. 418-421 (2002)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] P.X.Zhu, M.Ishikawa, W.S.Seo, A.Hozumi, Y.Yokogawa, K.Koumoto: "Nucleation and Growth of Hydroxyapatite on Amino Organosilane Overlayer"Journal of Biomedical Materials Research. 59・2. 294-304 (2002)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] P.X.Zhu, Y.Masuda, K.Koumoto: "Site-Selective Adhesion of Hydroxyapatite microparticles on the charged surfaces"Journal of Colloid and Interface Science. 342・1. 31-36 (2001)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] P.X.Zhu, Y.Masuda, K.Koumoto: "A novel Approach to Fabricate Hydroxyapatite Coating on Ti substrates in an aqueous solution"Journal of the Ceramic Society of Japan. 109・8. 676-680 (2001)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 諸培新, 河本邦仁: "表面修飾法によるアパタイトの人工誘導合成技術-バイオミネラリゼーションからの啓示と挑戦"無機マテリアル学会. 7. 540-544 (2000)

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  • [文献書誌] Y.Gao, Y.Masuda, T.Yonezawa, K.Koumoto: "Site-Selective Deposition and Micropatterning of Zirconia Thin Films on Templates of Self-assembled Monolayers"Journal of the Ceramic Society of Japan. 110(印刷中). (2002)

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  • [文献書誌] Y.Masuda,W.S.Seo,K.Koumoto: "Arrangement of Nanosized Ceramic Particles on Self-Assembled Monolayers"Jph.J.Appl.Phys. 39. 4596-4600 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Masuda,W.S.Seo,K.Koumoto: "Two-dimensional arrngement of fine silica spheres in self-assembled Monolayers"Thin Solid Films.. 382. 183-189 (2001)

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      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Masuda,T.Sugiyama,K.Koumoto et al.: "Selective deposition and micropatterning of titanium dioxide thin film on Self-assembled monolayers"Thin Solid Films. 382. 153-157 (2001)

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      2000 実績報告書
  • [文献書誌] K.Koumoto,W.J.Dressick et al.: "Micropatterning of Titanium Dioxide on Self-assembled Monolayers using a Liguid-Phase Deposition Process"Chem.Mater. 11・9. 2305 (1999)

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      2000 実績報告書
  • [文献書誌] M.Ishikawa,Pei-xin Zhu,K.Koumoto et al.: "Initial Nucleation Proess of Hydroxy apatite on Organosilane Self-assembled Monolayers"Journal of the Ceramic Society of Japan. 108・8. 714-720 (2000)

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      2000 実績報告書
  • [文献書誌] W.S.Seo.,A.Hozumi,K.Koumoto et al.: "Nucleation and Growth of Hydroxy apatite on "NH_2" terminated Self-assembled Monolayers"Biomedical Materials. (印刷中).

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公開日: 2000-04-01   更新日: 2016-04-21  

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