| 研究課題/領域番号 |
12555179
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 展開研究 |
|---|
| 研究分野 |
無機材料・物性
|
|---|
| 研究機関 | 近畿大学 |
|---|
研究代表者 |
峠 登 近畿大学, 理工学部, 教授 (00081315)
|
|---|
| 研究分担者 |
中村 浩一郎 日本板硝子(株)技術研究所, 関西センター, 主任研究員
西井 準治 独立行政法人, 産業技術総合研究所・関西センター・光技術研究部門, 室長
野間 直樹 近畿大学, 理工学部, 講師 (70208388)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2000 – 2001
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2001年度)
|
| 配分額 *注記 |
5,600千円 (直接経費: 5,600千円)
2001年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
2000年度: 3,800千円 (直接経費: 3,800千円)
|
|---|
| キーワード | ゾルーゲル法 / 化学修飾 / 光感応性 / 微細パターニング / 回折格子 / 蛍光性薄膜 / 強誘導体 / 反射防止効果 / 回析格子 / 強誘電体 / 反射防止膜 / ゾル-ゲル法 / 蛍光膜 / 強誘電体膜 / 無機・有機ハイブリッド |
|---|
| 研究概要 |
本研究では、マイクロパタ-ニングが可能である光感応性ゲル膜を用いて、新しい光機能素子を形成するためのプロセスを確立することを目的として行ったものであり、以下の成果を得た。
1)導波路型強誘電体薄膜の作製:RFスパッタ法によって作製したITO薄膜上に化学修飾法で形成したPZTおよびPLZT薄膜の強誘電特性とITO作製条件の関係を明らかにした。
2)蛍光体を含む光感応性ゲル膜の作製とパターニング: Eu^<3+>添加光感応性ZrO_2ゲル膜は、光によるパターニングが可能であることを明らかにした。
3)二次元回折格子の作製と反射防止機能:光感応性ZrO_2ゲル膜に二光束干渉露光法を適用し、周期0.5μmの一次元および二次元回折格子を作製した。また、アイランド型二次元回折格子が可視光領域で高い反射防止効果を示すことを明らかにした。
4)光感応性ゲル膜のメタクリル酸添加効果: Zr-アルコキシドをβ-ジケトンとメタクリル酸で化学修飾することにより、クラックフリーで得られるゲル膜の限界膜厚が増大し、光感応性も向上することを見いだした。
5)水酸基置換芳香族ケトンを用いた光感応性ゲル膜の作製とレーザ描画:水酸基置換芳香族ケトンを化学修飾剤に用いてZrO_2ゲル膜を作製し、それらの光感応性・パターニング特性について検討を行った。その結果、He-Cdレ-ザ(波長:442nm)によるパタ-ンの直接描画に成功した。
6)光感応性ゲル膜を用いた選択着色コーテイング:マスクを通して察外線を照射した光感応性ゲル膜上に、色素を含むSiO_2ゲル膜を形成したのち、水でリンスを行うと、ZrO_2ゲル膜の紫外線未照射部分にのみ色素を含むSiO_2ゲル膜が残り、選択的に着色させることができた。
7)分子軌道法による化学修飾された金属アルコキシドの電子状態:様々な置換基を有するβ-ジケトンで安定化したチタンアルコキシドについて、DV-Xα分子軌道法を用いて計算を行つた結果、光を吸収したときに電子が主に遷移すると思われるLUMO付近の軌道は、キレ-ト環内のC-Oに関する反結合性の軌道であることがわかった。
|
