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歪みを考慮した結晶成長理論

研究課題

研究課題/領域番号 12640380
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 物性一般(含基礎論)
研究機関慶應義塾大学

研究代表者

齋藤 幸夫  慶應義塾大学, 理工学部, 教授 (20162240)

研究期間 (年度) 2000 – 2003
研究課題ステータス 完了 (2003年度)
配分額 *注記
3,600千円 (直接経費: 3,600千円)
2003年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
2002年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
2001年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
2000年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
キーワード歪み / ステップ間相互作用 / 弾性格子模型 / ヘテロエピタキシー / 動的不安定性 / 成長様式 / 格子不整合 / 格子模型 / ステップ間斥力 / ステップの不安定性 / 微斜面 / ヘテロエピタキシ / 結晶成長理論 / ステップ間反発力 / 結晶成長 / 表面 / 弾性歪み / ステップ / 吸着原子 / 連続弾性体
研究概要

清浄で平坦な表面が原子レベルで観測できるようになり、ヘテロエピタキシーでの特異面の様々の成長様式や微斜面上のステップの形状不安定性などが見出された。これら表面ナノ構造の自己組織化は結晶の弾性歪みにより引き起こされる。その解析にはこれまで連続弾性体が用いられているが、原子一個の着脱が問題となる結晶成長では、原子レベルの弾性論が必要である。この研究では弾性格子模型の提案を行い、数値計算でステップなど表面欠陥間の相互作用を求め、連続体近似の適用限界を調べた。また、歪みを介した相互作用が、ステップの動的不安定性などに及ぼす効果を検証した。
歪みによる相互作用は長距離に及ぶが、基板が薄いと厚み程度で遮蔽されてしまう。一方、基板を厚くすると、長い数値計算が必要となる。この困難は、基板に対して弾性格子グリーン関数を導入することで回避された。その結果、例えば吸着島の両縁にあるステップと溝の両縁にあるものとでは短距離ではその相互作用が異なり、大きな有限サイズ効果を示すことが分かった。また、十分離れるとステップ間の相互作用は連続体から予測された1/r^2則を示すが、強度は表面緩和のせいで小さくなった。模型を二次元ヘテロ構造に適用して、被覆率と最低エネルギー状態の関係を系統的に調べ、格子不整合によっては新しい様式が可能であることを見出した。
そのほか。Si(001)表面で表面再構成のために生じた二種類のステップが成長中蛇行不安定性を生じ、微傾斜面上に深い溝構造を作ることを示した。また、Si(111)表面の表面構造相転移付近で、二相共存が可能となることで生じるステップ蛇行不安定性を見出した。

報告書

(5件)
  • 2003 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2002 実績報告書
  • 2001 実績報告書
  • 2000 実績報告書
  • 研究成果

    (48件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (48件)

  • [文献書誌] M.Sato: "Instabilities of steps induced by the drift of adatoms and effect of the step permeability"Physical Review B. 62. 8452-8472 (2000)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Sato: "Instabilities of permeable steps induced by the drift of adatoms"Surface Review and Letters. 7. 607-611 (2000)

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  • [文献書誌] Y.Saito: "Two-dimensional elastic lattice model with spontaneous stress"Physical Review B. 63. 045422 1-045422 9 (2001)

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  • [文献書誌] M.Sato: "Growth of permeable step bunches formed by drift of adatoms"Surface Science. 493. 480-486 (2001)

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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Uemura: "Elastic interaction in a two-dimensional discrete lattice model"Journal of the Physical Society of Japan. 70. 743-752 (2001)

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  • [文献書誌] 齋藤幸夫: "歪みを考慮した二次元弾性格子模型"日本結晶成長学会誌. 29. 8-11 (2002)

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  • [文献書誌] 佐藤正英: "表面拡散の異方性と吸着原子のドリフトによる、ステップバンチング"日本結晶成長学会誌. 29. 28-33 (2002)

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  • [文献書誌] H.Uemura: "Equilibrium shape of a heteroepitaxial island"Journal of the Physical Society of Japan. 71. 1296-1307 (2002)

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  • [文献書誌] M.Sato: "Step bunching induced by drift of adatoms with anisotropic surface diffusion"Journal of Crystal Growth. 237-239. 43-46 (2002)

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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Sato: "Step wandering induced by the drift of adatoms in a conserved system"Physical Review B. 65. 245427 1-245427 6 (2002)

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  • [文献書誌] R.Kato: "Step wandering due to the gap in diffusion coefficient on the upper and the lower terraces"Surface Science. 522. 64-74 (2003)

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  • [文献書誌] M.Sato: "Repulsion-mediated step wandering on a Si(001) vicinal face"Physical Review B. 67. 125408 1-125408 7 (2003)

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  • [文献書誌] Y.Saito: "Two-Dimensional nucleation with edge and corner diffusion"Journal of the Physical Society of Japan. 72. 2008-2014 (2003)

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  • [文献書誌] H.Uemura: "Equilibrium morphology in two-dimensional heteroepitaxy on an elastic substrate"Journal of the Physical Society of Japan. 72. 2856-2865 (2003)

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  • [文献書誌] R.Kato: "Step Wandering due to the structural differences on the upper and the lower terraces"Surface Science. 550. 149-165 (2004)

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  • [文献書誌] 齋藤幸夫: "裳華房フィジックスライブラリー「結晶成長」"裳華房. 158 (2002)

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  • [文献書誌] M.Sato: "Instabilities of steps induced by the drift of Adatoms and effect of the step permeability"Physical Review B. 62. 8452-8472 (2000)

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  • [文献書誌] M.Sato: "Instabilities of permeable steps induced by the drift of adatoms"Surfed Reviews and Letters. 7. 607-611 (2000)

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  • [文献書誌] Y.Saito: "Two-dimensional elastic lattice model with spontaneous stress"Physical Review B. 63. 045422-1-045422-9 (2001)

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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Sato: "Growth of permeable step bunches formed by drift of adatoms"Surface Science. 493. 480-486 (2001)

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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Uemura: "Elastic interaction in a two-dimensional discrete lattice model"Journal of the Physical Society of Japan. 70. 743-752 (2001)

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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Saito: "Two dimensional elastic lattice model with the effect of strain (in Japanese)"Journal of the Japanese Association of Crystal Growth. 29. 8-11 (2002)

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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Sato: "Step bunching induced by the anisotropic Surface diffusion and adatom drift (in Japanese)"Journal of the Japanese Association of Crystal Growth. 29. 28-33 (2002)

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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Uemura: "Equilibrium shape of a heteroepitaxial Island"Journal of the Physical Society of Japan. 71. 1296-1307 (2002)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Sato: "Step bunching induced by drift of adatoms with anisotropic surface diffusion"Journal of Crystal Growth. 237-239. 43-46 (2002)

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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Sato: "Step wandering induced by the drift of adatoms in a conserved system"Physical Review B. 65. 245427-1-245427-6 (2002)

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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] R.Kato: "Step wandering due to the gap in diffusion coefficient on the upper and the lower terraces"Surface Science. 522. 64-74 (2003)

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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Sato: "Repulsion-mediated step wandering on a Si(001) vicinal face"Physical Review B. 67. 125408-1-125408-7 (2003)

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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Saito: "Two-dimensional nucleation with edges and corner diffusions"Journal of the Physical Society of Japan. 72. 2008-2014 (2003)

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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Uemura: "Equilibrium morphology in two-dimensional heteroepitaxy on an elastic substrate"Journal of the Physical Society of Japan. 72. 2856-2865 (2003)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] R.Kato: "Step wandering due to the structural difference on the upper and the lower terraces"Surface Science. 550. 149-165 (2004)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Sato: "Repulsion-Mediated Step Wandering on a Si(001) Vicinal Face"Physical Review B. 67・12. 125408-1-125408-7 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Saito: "Two-Dimensional Nucleation with Edge and Corner Diffusion"Journal of Physical Society of Japan. 72・8. 2008-2014 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] H.Uemura: "Equilibrium Morphology in Two-Dimensional Heteroepitaxy on an Elastic Substrate"Journal of Physical Society of Japan. 72・11. 2856-2865 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] R.Kato: "Step Wandering Due to the Structural Difference of the Upper and the Lower Terraces"Surface Sciences. 550・1-3. 149-165 (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] M.Sato: "Step bunching induced by drift of adatoms with anisotropic surface diffusion"Journal of Crystal Growth. 237-239・Part1. 43-46 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] H.Uemura: "Equilibrium Shape of a Heteroepitaxial Island"Journal of Physical Society of Japan. 71・5. 1296-1307 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Sato: "Step Wandering induced by the drift of adatoms in a conserved system"Physical Review B. 65. 245427-1-245427-6 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] R.Kato: "Step Wandering due to the Gap in Diffusion Coefficient on the Upper and the Lower Terraces"Surface Sciences. 522. 64-74 (2003)

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      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Sato: "Step repulsion Mediates Wandering on a Si(001) Vicinal Face"Physical Review B. 67(To appear). (2003)

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      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Sato: "Growth of Permeable Step Bunches Formed by Drift of Adatoms"Surface Science. 493. 480-486 (2001)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] M.Sato: "Step bunching induced by drift of adatoms with anisotropic surface diffusion"Journal of Crystal Growth. (2002)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 齋藤幸夫: "歪みを考慮した二次元弾性格子模型"日本結晶成長学会誌. 29. (2002)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 佐藤正英: "表面拡散の異方性と吸着原子のドリフトによるステップバンチング"日本結晶成長学会誌. 29. (2002)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Saito: "Two-dimensional elastic lattice model with spontaneous stress"Physical Review B. 63・1. 045422-1-045422-9 (2001)

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      2000 実績報告書
  • [文献書誌] H.Uemura: "Elastic interaction in a two-dimensional discrete lattice model"Journal of Physical Society of Japan. 70・3. (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] M.Sato: "Instabilities of steps induced by the drift of adatoms and effect of the step permeability"Physical Review B. 62・12. 8452-8427 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] M.Sato: "Instabilities of permeable steps induced by the drift of adatoms"Surface Reviews and Letters. 7・5&6. 607-611 (2000)

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      2000 実績報告書

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公開日: 2000-04-01   更新日: 2016-04-21  

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