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電子線トモグラフィ法による高周波微小空間漏れ磁界の3次元画像化計測

研究課題

研究課題/領域番号 12650421
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 計測工学
研究機関長岡技術科学大学

研究代表者

松田 甚一  長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (30029087)

研究分担者 和田森 直  長岡技術科学大学, 工学部, 教務職員 (60303179)
加藤 和夫  長岡技術科学大学, 工学部, 助教授 (80115104)
研究期間 (年度) 2000 – 2001
研究課題ステータス 完了 (2001年度)
配分額 *注記
3,600千円 (直接経費: 3,600千円)
2001年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
2000年度: 2,800千円 (直接経費: 2,800千円)
キーワード磁気ヘッド / 高周波漏れ磁界 / 3次元磁場計測 / 電子線位置検出 / 反射電子ビーム / 偏向量計測 / 再構成アルゴリズム / 電子線トモグラフィ
研究概要

本研究では、サブミクロンオーダーのギャップを持つ高密度記録用磁気ヘッドのヘッド極近傍における高周〓分布の高精度3次元計測技術の実現を目的としている。以下に、本研究の主な成果を示す。
(平成12年度)1.高周波電子ビーム偏向計測装置の設計・試作ならびに計測電子回路系の設計・試作:試〓ならびに高精度電子ビーム位置検出器からなる高精度高周波電子ビーム偏向計測装置を設計・試作、パル〓ムの偏向量を正確に計測するための同期回路系を設計・試作した。そして、これらを現有の3次元静磁界計測〓込み、本研究で目的とする計測システムを構築した。2.高周波電子線トモグラフィの再構成アルゴリズムの開〓気ヘッド表面に電子ビームを直接に入射し、反射した電子ビームの高周波磁界による偏向量計測データから〓法に基づき、実際に磁気ヘッドギャップ近傍に広がる高周波漏れ磁界分布を3次元的に再構成するためのア〓開発した。さらに、コンピュータ・シミュレーション手法により、本アルゴリズムによる高精度3次元計測の可能性〓3.基礎実験:上述の1、2で構築した本計測システムを用いた評価実験を実施し、電子ビーム位置検出精度、〓などについて、その妥当性を確認した。(平成13年度)4.ハードディスク用磁気ヘッドの磁界分布計測:前年度〓を踏まえて、ギャップ幅0.4μmのハードディスク用磁気ヘッドを対象とした計測実験を実施し、そのギャップ極〓磁界計測に成功した。本研究より、最終的な目標である高周波磁界分布の3次元計測実験までには至らなか〓構築した計測システムおよび磁界分布再構成アルゴリズムの実用化へのメドがついたと確信している。

報告書

(3件)
  • 2001 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2000 実績報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (10件)

  • [文献書誌] 松田甚一 他2名: "反射形電子線トモグラフィ法による微小空間磁界計測"平成12年度 電子情報通信学会信越支部大会講演論文集. 297-298 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 山本昇平, 足利俊幸, 加藤和夫, 松田甚一: "反射形電子線トモグラフィ法による微小空間磁界計測"平成13年度 電子情報通信学会信越支部大会講演論文集. 151-152 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 足利俊幸, 山本昇平, 加藤和夫, 松田甚一: "反射形電子線トモグラフィ法における磁界分布再構成アルゴリズム"平成13年度 電子情報通信学会信越支部大会講演論文集. 153-154 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S. Yamamoto, T. Ashikaga, J. Matsuda: "Measurement of the stray magnetic fields by reflection electron tomography"The Shin-Etsu Chapter of The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. 297-298 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S. Yamamoto, T. Ashikaga, K. Kato, J. Matsuda: "Measurement of the stray magnetic fields by reflection electron tomography"The Shin-Etsu Chapter of The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. 151-152 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Ashikaga, S. Yamamoto, K. Kato, J. Matsuda: "Reconstruction algorithm of the stray magnetic fields by reflection electron tomography"The Shin-Etsu Chapter of The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. 151-152 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 松田甚一 他2名: "反射形電子線トモグラフィ法による微小空間磁界計測"平成12年度 電子情報通信学会信越支部大会講演論文集. 297-298 (2000)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 山本 昇平, 足利 俊幸, 加藤 和夫, 松田 甚一: "反射形電子線トモグラフィ法による微小空間磁界計測"平成13年度 電子情報通信学会信越支部大会講演論文集. 151-152 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 足利 俊幸, 山本 昇平, 加藤 和夫, 松田 甚一: "反射形電子線トモグラフィ法における磁界分布再構成アルゴリズム"平成13年度 電子情報通信学会信越支部大会講演論文集. 153-154 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 松田甚一 他2名: "反射形電子線トモグラフィ法による微小空間磁界計測"平成12年度電子情報通信学会信越支部大会講演論文集. 297-298 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書

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公開日: 2000-04-01   更新日: 2016-04-21  

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