• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

ウィナーモデルに基づく非線形システムの同定,制御とその統合化に関する理論と応用

研究課題

研究課題/領域番号 12650445
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 制御工学
研究機関大阪大学

研究代表者

藤井 隆雄  大阪大学, 基礎工学研究科, 教授 (70029510)

研究分担者 金子 修  大阪大学, 基礎工学研究科, 助手 (00314394)
増淵 泉  広島大学, 工学部, 助教授 (90283150)
研究期間 (年度) 2000 – 2001
研究課題ステータス 完了 (2001年度)
配分額 *注記
3,600千円 (直接経費: 3,600千円)
2001年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
2000年度: 2,800千円 (直接経費: 2,800千円)
キーワードウィナーモデル / 非線形システム同定 / 故障診断 / 部分空間法 / ILQ制御法 / 状態観測器 / モデル最適化 / 熱プロセス / ウィーナーモデル / 部分空洞化 / 非線形システム / システム同定 / 拡張カルマンフィルタ
研究概要

本研究では、広いクラスの非線形性を記述できるウィナーモデルをもとに、新たな非線形システム同定法を提案した。具体的に本同定法は,一般の同定入力を前提とし,モデルパラメータの初期値の推定方法と非線形最小二乗法に基づく最適化アルゴリズムの二段階構成になる。さらに、以上の非線形システム同定の結果を用いて、非線形システム制御を行うために必要な制御系構築、サーボ系設計法、オブザーバ設計法を導出した.具体的に本研究では、ウィナーモデルの構造的特徴より、拡張カルマンフィルター用いるとウイナーモデルの線形部が制御可能となることに着目し、ILQ設計理論を適用してウィナーモデルの線形部の出力を制御し、間接的に非線形システムの出力を制御する。そして、数値例でこの手法の妥当性を確認した。提案した同定と制御手法を半導体熱プロセス制御に応用した。具体的には、実験装置で実現可能な温度範囲まで同定実験をし、その同定結果に基づくウイナーモデルを求めた。そして、そのモデルをもとに目標応答が達成できる制御系を設計し、制御実験を行った。設計通りの制御結果が得られた。これより、制御効果を確認した。さらに、制御対象のパラメータ変動に対する制御系を改良した。具体的に、拡張カルマンフィルタの代わりにロバスト性が強いSliding Mode状態観測器を用いてウィナーモデルのパラメータ変動が吸収できた。以上と並行して、ウィナーモデルに基づくロバスト制御に関連する故障診断アルゴリズムを導出した。具体的には、ウィナーモデルの逐次同定法を開発し、オンラインでモデルパラメータ変動を推定する。その推定結果をもとに対象システムの特異値変動を求める。その結果を用いると、システムの緩やかな変化が検知できる。従来研究と違い、システム内部の変化が定式化可能となった。さらに、本研究では、ロバスト制御に関連する故障基準と信頼性基準を導出し、より高いレベルの知能制御系が構築できた。

報告書

(3件)
  • 2001 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2000 実績報告書
  • 研究成果

    (24件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (24件)

  • [文献書誌] Caizhong Tian: "Nonlinear system identification and state estimation using the Wiener model"Proc. of the 31st ISCIE Internatiohal Symposium on Stochastic Systems Theory and its Applications. 61-66 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 田 才忠: "ウイナー型非線形システム同定とその熱プロセスシステム同定への応用"第22回Dynamic System Theoryシンポジウム資料. 107-110 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Caizhong Tian: "Nonlinear System Identification and Control of Rapid Thermal Processing Using the Wiener model"Proc. of the 3rd Asian Control Conference. (CD-ROM). (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Caizhong Tian: "Nonlinear System Identification of Rapid Thermal Processing"Proc. of IFAC SYSID 2000. (CD-ROM). (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Caizhong Tian: "半導体製造における熱プロセスの非線形システム同定と制御"システム制御情報学会論文誌. 14-3. 124-130 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Keita Suzuki: "Fault Detection for Robust Control Systems"Proc. of the 33rd ISCIE International Symposium on Stochastic Systems Theory and Its Applications (2001). (to appear). (2002)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 戸田 崇文: "模型ヘリコプタ動特性のウィナー型非線形モデル同定"2001年度計測自動制御学学会関西支部シンポジウム. 101-104 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 國中 威志: "連続時間表現によるデスクリプタシステムの部分空間同定法"第44回自動制御連合講演会予稿集. 606-607 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Caizhong Tian and Takao Fujii: "Nonlinear system identification and state estimation using the Wiener model"Proc. of the 31st ISCIE International Symposium on Stochastic Systems Theory and its Applications. 61-66 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Caizhong Tian and Takao Fujii: "Identification of Wiener model and its application to rapid thermal processing systems"Proc. of the 22nd Dynamical System Theory Symposium. 107-110 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Caizhong Tian and Takao Fujii: "Nonlinear system identification and control of rapid thermal processing using Wiener model"Proc. of the 3rd Asian Control Conference. (CD-ROM). (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Caizhong Tian and Takao Fujii: "Nonlinear system Identification of Rapid Thermal Processing"Proc. of IFAC SYSID 2000. (CD-ROM). (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Caizhong Tian and Takao Fujii: "Nonlinear model identification and control of a rapid thermal processing system for semiconductor manufacturing"Trans. of ISCIE. Vol.14, No.3. 124-130 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Keita Suzuki, Caizhong Tian and Takao Fujii: "Fault Detection for Robust Control Systems"Proc. of the 33rd ISCIE International Symposium on Stochastic Systems Theory and Its Applications. (to appear). (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takafumi Toda and Izumi Masubuchi: "Wiener model identification of RC-helicoptor dynamics"Proc. of Symposium on Kansai chapter of SICE. 101-104 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takeshi Kuninaka, Osamu Kaneko and Takao Fujii: "System identification for descriptor systems in continuous time"Proc. of the 44th Japan Joint Automatic Control Conference. 606-607 (2002)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] C.Tian: "Nonlinear System Identification of Rapid Thermal Processing"Proc. of system Identification 2000, Elsevier Science. 581-586 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 田 才忠: "半導体製造における熱プロセスの非線形システム同定と制御"システム制御情報学会論文誌. 14巻3号. 124-130 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] K.Suzuki: "Fault Detection for Robust Control Systems"Proc. of the 33rd ISCIE International Symposium on Stochastic Systems Theory and Its applications. (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Caizhong Tian: "Nonlinear system identification and state estimation using the Wiener model"Proc.of the 31st ISCIE International Symposium on Stochastic Systems Theory and its Applications. 61-66 (1999)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Caizhong Tian: "Nonlinear System Identification of Rapid Thermal Processing"Proc.of IFAC SYSID 2000. (CD-ROM). (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Caizhong Tian: "Nonlinear System Identification and Control of Rapid Thermal Processing Using the Wiener model"Proc.of the 3rd Asian Control Conference. (CD-ROM). (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] Caizhong Tian: "半導体製造における熱プロセスの非線形システム同定と制御"システム制御情報学会論文誌. 14-3. 124-130 (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 増淵泉: "1入出力q-Markov COVERの解集合のパラメータによる陽な表示"計測自動制御学会論文集. 36-4. 335-339 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書

URL: 

公開日: 2000-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi