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電子シャワー法による高機能性鉄系化合物薄膜の創製

研究課題

研究課題/領域番号 12650722
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 材料加工・処理
研究機関東京理科大学

研究代表者

湯本 久美  東京理科大学, 基礎工学部, 教授 (50103073)

研究期間 (年度) 2000 – 2001
研究課題ステータス 完了 (2001年度)
配分額 *注記
3,400千円 (直接経費: 3,400千円)
2001年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
2000年度: 2,700千円 (直接経費: 2,700千円)
キーワード電子シャワー / セメンタイト / 耐食性 / 磁気特性 / 硬さ / Ni添加 / 酸化鉄 / 窒化鉄 / 炭化鉄 / 薄膜
研究概要

最近、超鉄鋼材料の作製や低環境負荷鉄鋼材料へのセメンタイト(Fe_3C)の有効利用等が考えられている。しかし、鉄は最も古くから使われている材料であるが、その酸化物、窒化物、炭化物の基礎的特性は充分解明されていない。
我々は電子シャワー法で初めてFe3C単相膜の作製に成功した。そしてFe_3Cの硬さ(Hv1180)および硬さの温度依存性を求めいる。Fe_3Cは準安定相で、室温放置でも表面がアモルファス化した酸化膜になることを見出した。Fe_3Cの耐食性は鉄の2倍程であまり高くないが、このアモルファス酸化膜のために鉄は腐食しなくなった。つまり、室温放置によりFe_3Cは鉄の保護膜になった。薄膜だけでなく、パーライト内のFe_3Cも室温で表面が酸化した。従って、Fe_3Cの特性評価には充分注意を要する。
(Fe,Ni)_3C膜が作製でき、Ni/Fe=0.05-0.1では飽和磁束密度が純粋なFe_3Cに比べ1.4倍、キュウリー温度は20-30℃増加、硬さは1.3倍になることを初めて見出した。つまり、第三元素添加によりFe3Cの特性が改善することが分かった。しかし、これ以上Niの割合を増すとNiは固溶出来ないため特性は低下した。(Fe,Ni)_3C膜の耐食性はFe_3Cとほぼ同じであるが、金属のNiが混在してくると耐食性は著しく低下した。
真空蒸着法、活性化反応蒸着法で作製したα-Fe_2O_3膜は密着性が悪いため、鉄の保護膜にならなかった。しかし、電子シャワー蒸着法で作製したα-Fe_2O_3膜は全く剥離せず保護膜になり得た。さらに、鉄に電子シャワー照射すると鉄が錆びなくなることを見出した。多分、鉄表面にFeOが形成しているためと思われる。今後、鉄の新しい防食方法として期待できる。

報告書

(3件)
  • 2001 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2000 実績報告書
  • 研究成果

    (14件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (14件)

  • [文献書誌] 山晦善裕, 湯本久美: "αFe_2O_3からFe_3O_4薄膜への柑対変化に及ほすフィラメントの加熱効果"表面技術協会. 52. 348-351 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 湯本久美, 山崎善裕, 李松姫: "電子シャワー蒸着法による鉄の炭化、窒化、酸化膜の作製"プラズマ応用科学. 8. 51-58 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yumoto, Y.Nagamine: "Corrosion Resistance and Natural Oxidation of Cementite Films Prepared by Electron Shower"Advance in Applied Plasma Science. 3. 251-256 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yumoto, Y.Nagamine, J.Nagahama, M.Shimotomai: "Corrosion and stability of cementite films prepared by electron shower"Surface Engineering, Surface Instrumentation & Vacuum Technology.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S. J. Li, M. Takano, M. Suzuki, H. Yumoto and M. Ishihara,: "Fe4N Thin Films Nitriding of Iron Films Prepared by Electron Shower"Journal of The Surface Finishing Society of Japan. Vol.49,No.10. 1095-1099 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yumoto, Y.Yamazaki and S. J. Li: "Synthesis of Carbide, Nitride and Oxide Films by Electron Shower PVD Method"Applied Plasma Science. Vol.8. 51-58 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H Yumoto andY. Nagarriine: "Corrosion Resistance and Natural Oxidation of Cementite Films Prepared by Electron Shower"Advance in Applied plasma Science. Vol.3. 251-256 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yumoto, Y. Nagamine, J. Nagahama and M. Shimotomai: "Corrosion and stability of cementite films prepared by electron shower"Surface Engineering, Surface Instrumentation & Vacuum Technology.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2001 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 山崎 善裕, 湯本 久美: "αFe_2O_3からFe_3O_4薄膜への相対変化に及ぼすフィラメントの加熱効果"表面技術協会. 52. 348-351 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 湯本 久美, 山崎 善裕, 李 松姫: "電子シャワー蒸着法による鉄の炭化、窒化、酸化膜の作製"プラズマ応用科学. 8. 51-58 (2000)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] H.Yumoto, Y.Nagamine: "Corrosion Resistance and Natural Oxidation of Cementite Films Prepared by Electron Shower"Advance in Applied Plasma Science. 3. 251-256 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] H.Yumoto, Y.Nagamine, J.Nagahama, M.Shimotomai: "Corrosion and stability of cementite films prepared by electron shower"Surface Engineering,Surface Instrumentation & Vacuum Technology.

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 湯本久美,山崎善裕,李松姫: "電子シャワー蒸着法による鉄の炭化,窒化,酸化膜の作製"プラズマ応用科学. (発表予定).

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 山崎善裕,湯本久美: "αFe_2O_3からFe_3O_4薄膜への相変態に及ぼすフィラメントの加熱効果"表面技術. (発表予定).

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書

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公開日: 2000-04-01   更新日: 2016-04-21  

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