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圧電場を用いたニアフィールド顕微鏡(複素誘電率顕微鏡)の研究

研究課題

研究課題/領域番号 12750026
研究種目

奨励研究(A)

配分区分補助金
研究分野 表面界面物性
研究機関静岡大学

研究代表者

近藤 淳  静岡大学, 工学部, 助手 (10293606)

研究期間 (年度) 2000 – 2001
研究課題ステータス 完了 (2001年度)
配分額 *注記
2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
2001年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
2000年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
キーワードエバネッセント圧電場 / ニアフィールド顕微鏡 / 弾性表面波 / 音響電気相互作用 / 液体フロー系 / 自己較正型レシオメトリック法 / 複素誘電率 / イオン分布 / 圧電結晶 / 圧電場 / 圧電ポテンシャル / 密度と粘度の分離
研究概要

本研究は,圧電効果によって生じる圧電場を利用し,圧電結晶表面近傍の媒質を調べる顕微鏡の開発である.具体的には,弾性表面波(以下SH-SAW)伝搬に伴って発生する圧電ポテンシャルをプローブとし,伝搬面表面と接する媒質(特に液体)の情報を検出すること目的としている.液体中に含まれる情報を検出する手法として,自己較正型レシオメトリック法を考案した.これは,1つの過渡応答波形の立上り・立下り間の時間差を2つ取り出し,その比をとる方法である.この結果,実験環境に依存した情報を低減することができ,液体の情報のみを効果的に摘出することが可能となった.次に,システムの大幅な改良を行った.従来では1回の測定に50分かかる.そこで,複素誘電率に対して高感度な30MHZのSH-SAWセンサを利用し,流量を変えて測定した.また,フローセルの配置についても検討した.その結果,従来とは逆さまにした配置により,溶液内に含まれるイオンの情報が波形に表れることが分かった.例えば,市販のミネラルウォータの場合,ボトルの上側には1価のイオンが,また底部には2価のイオン多くあり,ボトル内で均一に分散していないことが判明した.このような現象は,センサ表面に局在したエバネッセント場である圧電場を用いることによりはじめて観測された.
以上のように,本研究により,圧電場を用いたニアフィールド顕微鏡の有効性が確認された.今後は,本システムの実用化を目指した研究を行う.

報告書

(2件)
  • 2001 実績報告書
  • 2000 実績報告書
  • 研究成果

    (12件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (12件)

  • [文献書誌] J. Kondoh et al.: "Simultaneous detection of density and viscosity using surface acoustic wave liquid-phase sensors"Japanese. J. Appl. Phys.. 40・5B. 3713-3717 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] J. Kondoh et al.: "DEVELOPMENT OF SURFACE ACOUSTIC WAVE LIQUID SENSING SYSTEM AND APPLICATION FOR JAPANESE TEA MEASUREMENTS"2001 IEEE Frequency Control Symposium. 497-501 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 近藤 他: "弾性表面波センサを用いたイオン溶液識別システム-ニューラルネットワークを用いたイオン溶液の識別と水評価への応用-"第22回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム. 22. 349-350 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 近藤 他: "フロー系弾性表面波液体分析システムを用いたイオン溶液の測定-自己較正型レシオメトリック法による応答波形解析-"第46回音波の物性と化学討論会. 46. 25-27 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] Jun Kondoh et al.: "Flow Injection Analysis with Surface Acoustic Wave Sensor - Identification of Electrolytes Based on Transient Responses -"Int. Conf. on New Piezoelectric Materials and High Performance Acoustic Wave Devices. 76. 167-172 (2002)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] J. Kondoh et al.: "FLOW INJECTION SYSTEM WITH SURFACE ACOUSTIC WAVE SENSOR FOR LIQUID MEASUREMENTS"9^<th> International Meeting on Chemical Sensors. (講演決定).

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] J.Kondoh et al.: "Estimation of Components and Concentration in Mixture Solutions of Electrolytes Using a Liquid Flow System with SH-SAW Sensor"Sensors and Actuators A. 83. 34-39 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] J.Kondoh et al.: "Simultaneous detection of density and viscosity using surfase acoustic wave liquid-phase sensors"Jpn.J.Appl.Phys.. (in press). (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] J.Kondoh et al.: "Development of Surface Acoustic Wave Liquid Sensing System and Application For Japanese Tee Measurements"IEEE Frequency Symposium. (講演決定). (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 近藤淳 他: "すべり弾性表面波センサを用いた密度と粘度の分離計測"電子情報通信学会超音波研究会資料. US2000-67. 1-6 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 近藤淳 他: "SAW発振回路搭載型SAWセンサシステムの開発"弾性波素子技術第150委員会第71回研究会資料. 89-94 (2000)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書
  • [文献書誌] 近藤淳 他: "ニューラルネットワークによるSH-SAWセンサ過渡応答波形を用いたイオン溶液の識別"日本音響学会春季研究発表会資料. 1037-1038 (2001)

    • 関連する報告書
      2000 実績報告書

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公開日: 2000-04-01   更新日: 2016-04-21  

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