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光音響顕微鏡システムによる新素材内部欠陥の高速3次元計測法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 12750393
研究種目

奨励研究(A)

配分区分補助金
研究分野 計測工学
研究機関金沢工業高等専門学校

研究代表者

南出 章幸  金沢工業高等専門学校, 電気工学科, 講師 (20259849)

研究期間 (年度) 2000 – 2001
研究課題ステータス 完了 (2001年度)
配分額 *注記
1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
2001年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
2000年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
キーワード光音響顕微鏡システム / 3次元計測 / 非破壊検査 / 材料評価 / 拡張同時多周波数計測法
研究概要

(1)拡張同時多周波数計測法を使う3次元画像化の検討
光音響信号の新しい高速測定法(拡張同時多周波数計測法)を提案し、この拡張同時多周波数計測法を3次元画像計測に適用するために見直しを図った。
(2)拡張同時多周波数計測法を導入するためのハードウェアの構築
拡張同時多周波数計測法を光音響顕微鏡システムに組み込むため、(1)レーザダイオード、(2)光を強度変調するためのマルチファンクションシンセサイザと音響光学変調器、(3)信号を観測するためにBoxcar積分器を組み込んだ。また、(4)レーザを走査するためのDCモータとそのコントロラーを購入し、X-Yステージに取り付けた。
(3)計測・制御処理ソフトの開発
(2)で構築した新しいシステムを正確に動作させるための計測・制御処理ソフトを開発した。プログラムはデバッグが簡単なVisual BASICを使用した。
(4)画像処理ソフトの開発
得られたデータを視覚的に検証しやすいように、ワイヤーフレームおよび階調表示方によりデータを出力させるプログラムを作成した。
(5)モデルサンプルの評価
黒鉛ブロックに人工的に作成した内部傷を新しい3次元画像測定法を使って評価した。内部傷がはっきりと観測でき、しかも深さ方向の情報も得られることが明らかとなった。さらに、測定時間も従来の1/10程度にまで抑えることができた。

報告書

(2件)
  • 2001 実績報告書
  • 2000 実績報告書

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公開日: 2000-04-01   更新日: 2016-04-21  

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